iso146441～7潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)中文版

1、 1前言 前言 ISO 為全球各國標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體（ISO 會員團(tuán)體）的聯(lián)合會。其國際標(biāo)準(zhǔn)工作一般是由 ISO 各技術(shù)委員會執(zhí)行。每個會員團(tuán)體若對技術(shù)委員會的某一課題感興趣，均有權(quán)作為此技術(shù)委員會的代表。任何與 ISO 保持聯(lián)系的國際組織，無論是政府的還是非政府的組織， 同樣可參加此項工作。 ISO 與國際電氣技術(shù)委員會（IEC）在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面進(jìn)行緊密合作。 國際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委員會認(rèn)可后送各會員團(tuán)體進(jìn)行傳閱，以待表決。草案作為國

2、際標(biāo)準(zhǔn)頒布至少需要 75%的會員團(tuán)體投贊成票。 國際標(biāo)準(zhǔn) ISO 14644- 1 由 ISO/TC209 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會提出。 ISO 14644 在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 的總標(biāo)題下，由下述各部分組成： 第 1 部分：空氣潔凈度等級劃分 第 2 部分：為認(rèn)證與 ISO 14644- 1 連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求 第 3 部分：計量和測試方法 第 4 部分：設(shè)計、施工和啟動 第 5 部分：運行 第 6

3、部分：術(shù)語和定義 第 7 部分：增強的潔凈裝置 用戶應(yīng)注意， 第 2 至第 7 部分的標(biāo)題為第 1 部分發(fā)行時的工作標(biāo)題。 如果從工作計劃中刪除了一部分或幾部分，剩余部分可以重新編寫。 附錄 B 和 C 為 ISO 14644 的組成部分，附錄 A、D、E 和 F 僅作資料用。 3潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境— 第 1 部分： 空氣潔凈度的分級 1 范圍 范圍 ISO 14644 的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來劃

4、分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級。只有在 0.1μm- 0.5μm 的閾值（低于閾值）粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體才可供分級用。 ISO 14644 的本部分不包含 0.1μm- 0.5μm 規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級。超微粒子（＜0.1μm ）和大粒子（＞0.5μm）可分別以 U 描述符和 M 描述符來量化粒子群體。ISO 14644 的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性或生存性。 注 粒徑遵紀(jì)守

5、法增范圍內(nèi)粒子濃度的實際分布情況通常是不可預(yù)測的，并且是隨著時間而變化的。 2 定義 定義 下述定義適用于 ISO 14644 的本部分 2. 1 通則 通則 2. 1. 1 潔凈室 潔凈室 空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設(shè)和使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子，室內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。 2. 1. 2 潔凈區(qū) 潔凈區(qū) 懸浮粒子濃度受控的限定空間?？臻g的建設(shè)和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引入、產(chǎn)

6、生和滯留粒子，空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。 注：該區(qū)可以是開放式或是密閉式，可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。 2. 1. 3 設(shè)施 設(shè)施 潔凈室或一個或多個潔凈區(qū)， 連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、 空氣處理系統(tǒng)、 動力和公用設(shè)施。2. 1. 4 分級 分級 適用于一個的懸浮粒子潔凈度等級（或規(guī)定或確定該等級的過程） ，以 ISO 等級 N 來表示，它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度（以 pc/m3 空氣計） 。 注 1 此濃度