太陽電池工藝文件

1、太陽電池工藝文件太陽電池工藝文件1太陽電池工藝文件太陽電池工藝文件單晶硅片清洗工藝單晶硅片清洗工藝1.插片：1)主要原材料：?合格品單晶硅片2)工裝、設(shè)備?承片盒?清洗花籃3)工藝過程（右手操作）?每個承片盒插片25片。插片過程中對硅片進行檢驗，不合格硅片挑出。然后，每個清洗花籃中放置34個插片后的承片盒。2.超聲清洗：1)主要原材料：?油污比較嚴(yán)重的硅片?清洗劑?自來水2)工裝、設(shè)備?超聲波清洗機?承片盒?清洗花籃3)工藝過程（右手操

2、作）?表面油污比較嚴(yán)重的硅片，需要在2—5%清洗劑40℃的水溶液中，利用超聲波震蕩清洗15min。清洗功率和超聲頻率根據(jù)使用的設(shè)備調(diào)整。清洗液可以反復(fù)使用。?經(jīng)過清洗液超聲的硅片，轉(zhuǎn)移到清洗槽中，使用大量的自來水沖洗超聲后的硅片，直至無清洗液。3.3.八槽清洗機清洗八槽清洗機清洗1)主要原材料：?清潔的硅片?NaOH?自來水太陽電池工藝文件太陽電池工藝文件3離子水溶液，5min。?去除酸溶液：6槽清洗機中的第五槽，流動去離子水清洗，3m

3、in。?噴淋：6槽清洗機中的第六槽，去離子水噴淋8min。5.甩干：1)主要原材料：?清洗的硅片2)工裝、設(shè)備?甩干機?承片盒3)工藝過程（右手操作）?將承片盒裝入甩干機的卡槽內(nèi)，依據(jù)甩干機的操作說明甩干硅片。?將甩干后的硅片，連同承片盒一起送入密閉擴散間的轉(zhuǎn)移窗口，等待擴散。6.絨面的檢驗：1)主要原材料：?甩干的硅片2)工裝、設(shè)備?顯微鏡3)工藝過程（右手操作）?目視硅片表面呈均勻的灰黑色，沒有明顯的斑點。顯微鏡下，金字塔形貌均勻，