單晶硅太陽電池?cái)U(kuò)散工藝研究.pdf

1、隨著科技水平的提高，人類對可再生能源不斷深化認(rèn)識，尤其是太陽能的開發(fā)和利用日益受到人們的重視。單晶硅太陽電池因其在轉(zhuǎn)換效率和使用壽命等方面的優(yōu)勢被廣泛的應(yīng)用在產(chǎn)業(yè)化上，各個(gè)科研機(jī)構(gòu)和產(chǎn)業(yè)化公司都在為提高單晶硅太陽電池轉(zhuǎn)換效率和降低成本而努力。本文首先介紹了太陽電池的基本原理和電性能參數(shù)，之后又系統(tǒng)的介紹了單晶硅太陽電池的生產(chǎn)工藝流程（包括清洗制絨、擴(kuò)散、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷與燒結(jié)）。其中擴(kuò)散的目的是在硅片內(nèi)部形成單晶硅太陽電

2、池的心臟PN結(jié)，在形成PN結(jié)的同時(shí)，磷的吸雜作用還能用來改善太陽電池的性能，針對這一課題，本人在實(shí)習(xí)期間從產(chǎn)線上遇到的實(shí)際問題入手，主要在單晶硅太陽電池的擴(kuò)散工藝上做了雙面磷擴(kuò)散、擴(kuò)散退火時(shí)間、擴(kuò)散方阻這三方面的研究。
　　研究結(jié)果表明:
　　與單面磷擴(kuò)散相比，雙面磷擴(kuò)散的單晶硅太陽電池在轉(zhuǎn)換效率、開路電壓(Uoc)、短路電流(Isc)等電性能參數(shù)上以及吸雜效果上均好于單面磷擴(kuò)散。
　　在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)增加擴(kuò)散的退火時(shí)間