掃描電鏡的結(jié)構(gòu)及原理

1、掃描電鏡的結(jié)構(gòu)及原理掃描電鏡的結(jié)構(gòu)及原理一、簡介一、簡介1特點(diǎn)：掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)是電子束在樣品上進(jìn)行逐點(diǎn)掃描，獲得三維立體圖像，圖像觀察視野大、景深長、富有立體感。在觀察樣品表面形貌的同時(shí)，進(jìn)行晶體學(xué)分析及成分分析。常規(guī)的掃描電鏡分辨本領(lǐng)通常為7～10nm加速電壓在1～50kV范圍。生物樣品一般用10～20kV成像放大率幾十倍至幾十萬倍。2用途：掃描電鏡可對(duì)樣品進(jìn)行綜合分析，已成為重要分析工具，纖維、紙張、鋼鐵質(zhì)量等，觀察礦石結(jié)構(gòu)

2、、檢測催化劑微觀結(jié)構(gòu)、觀看癌細(xì)胞與正常細(xì)胞差異等。3日本日立公司產(chǎn)品S5200型為超高分辨率（ultrahighresolution）掃描電鏡，加速電壓為1kV時(shí)，分辨率可達(dá)1.8nm加速電壓為30kV時(shí)，分辨率高達(dá)0.5nm。此外，還具有獨(dú)特的電子信號(hào)探測系統(tǒng)，不但能觀察樣品三維形態(tài)結(jié)構(gòu)甚至能看到樣品的原子或分子結(jié)構(gòu)，在使用性能方面已超越任何一種常規(guī)掃描電鏡。二、掃描電鏡的結(jié)構(gòu)二、掃描電鏡的結(jié)構(gòu)掃描電鏡的組成:（1）、電子光學(xué)系統(tǒng)：組

3、成：①電子槍與透鏡系統(tǒng)；②電子探針掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)作用：產(chǎn)生直徑為幾十埃的掃描電子束，即電子探針，使樣品表面作光柵狀掃描。電子探針掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)是掃描電鏡特殊部件。采用上下兩對(duì)偏轉(zhuǎn)線圈，放在物鏡上級(jí)靴孔中，其中上下各有一對(duì)線圈產(chǎn)生X方向掃描，成為行掃，另外上下各有一對(duì)線圈產(chǎn)生Y方向掃描，成為幀掃。因要求電子探針在樣品上掃描，與電子束在顯像管熒光屏上掃描同步，通常用一個(gè)掃描發(fā)生器驅(qū)動(dòng)掃描線圈及顯像管掃描偏轉(zhuǎn)線圈。（2）電子訊號(hào)收集、處理和顯示掃

4、描電鏡束與樣品作用后可產(chǎn)生多種訊號(hào)：①二次電子②背散射電子③X射線④吸收電子⑤俄歇電子⑥陰極發(fā)光⑦電子空穴對(duì)⑧透射電子。各種訊號(hào)由特定的檢測系統(tǒng)收集檢測，形成不同電子圖像。二次電子探測器是掃描電鏡的重要部件之一，結(jié)構(gòu)圖如下：二次電子收集系統(tǒng)的組成：①柵網(wǎng)②聚焦環(huán)③閃爍體柵網(wǎng)上加250V電壓，用來吸引二次電子。通過調(diào)整聚焦環(huán)位置可改變閃爍體前加速電場分布，使二次電子比較集中打到加有12kV的高壓的閃爍體上。二次電子大部分信號(hào)穿過柵網(wǎng)，打到