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認(rèn)證信息

認(rèn)證類型：個(gè)人認(rèn)證

認(rèn)證主體：常**（實(shí)名認(rèn)證）

IP屬地：河北

IP屬地：河北 更新時(shí)間：2024-01-06 格式：ppt 頁(yè)數(shù)：25 大小：3.83MB 人氣指數(shù)：12 舉報(bào) 版權(quán)申訴

1、電子束與固體樣品作用時(shí)產(chǎn)生的信號(hào),掃描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)圖,,電子光學(xué)系統(tǒng),,真空系統(tǒng),,信號(hào)收集和記錄系統(tǒng),,,,,,,,SEM的主要性能,,,分辨率,,,,性能,放大倍數(shù),能分辨圖像中兩個(gè)顆粒間的最小距離,入射電子束,二次電子,俄歇電子,背散射電子,特征X射線,連續(xù)X射線,滴狀作用體積,二次電子的特點(diǎn),從樣品表面5~10nm深度激發(fā)出，其數(shù)量和原子序數(shù)沒(méi)有明顯的關(guān)系，但是它對(duì)微區(qū)表面的幾何形狀十分敏感。,表面形貌襯度原理及其應(yīng)用

2、,應(yīng)用,3、材料變形與斷裂動(dòng)態(tài)過(guò)程的原位觀察,1、斷口分析,2、表面形貌觀察,背散射電子特點(diǎn),背散射電子來(lái)自樣品表層幾百個(gè)納米的深度范圍。產(chǎn)額隨樣品原子序數(shù)增大而增多，可以用來(lái)顯示原子序數(shù)襯度，定性地用作成分分析。,原子序數(shù)襯度原理及其應(yīng)用,電子探針顯微分析,結(jié)構(gòu)與工作原理,電子探針儀的結(jié)構(gòu)示意圖見(jiàn)圖.電子探針儀除X射線譜儀外，其余部分與掃描電子顯微鏡相似。,分光晶體工作原理圖,一、波長(zhǎng)分散譜儀（WDS）,(a),約翰(Johann)

3、型聚焦法,(b) 約翰遜(Johansson)型聚焦法,直進(jìn)式波譜儀,直進(jìn)式譜儀的特點(diǎn):分光晶體從點(diǎn)光源S向外沿著一直線運(yùn)動(dòng)，X射線出射角不變，晶體通過(guò)自轉(zhuǎn)改變?角。聚焦圓的中心O在以S為中心，R為半徑的圓周上運(yùn)動(dòng)。結(jié)構(gòu)復(fù)雜，但X射線照射晶體的方向固定，使X射線穿出樣品表面過(guò)程中所走的路線相同，也就是吸收條件相同。,回轉(zhuǎn)式波譜儀,聚焦圓的中心O固定，分光晶體和檢測(cè)器在圓周上以1：2的角速度運(yùn)動(dòng)來(lái)滿足布拉格衍射條件。這種譜儀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，

4、但由于分光晶體轉(zhuǎn)動(dòng)而使X射線出射方向變化很大，在樣品表面不平度較大的情況下，由于X射線在樣品內(nèi)行進(jìn)的路線不同，往往會(huì)造成分析上的誤差。,定點(diǎn)分析譜線圖,二、能量分散譜儀（EDS）,,,,電子束在樣品表面作光柵掃描時(shí)，把X射線譜儀固定在接收某一元素特征X射線信號(hào)位置上此時(shí)在熒光屏上便可得到該元素的面分布圖像。,將譜儀固定在所要測(cè)量的某一元素特征X射線信號(hào)（波長(zhǎng)或能量）的位置上，使電子束沿著指定的路徑掃描，便可得到這一元素沿該路徑的濃度分布