zeiss supra55掃描電鏡操作使用

1、ZeissSupra55(VP)掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡簡(jiǎn)明操作指南簡(jiǎn)明操作指南一、開機(jī)說(shuō)明一、開機(jī)說(shuō)明冷啟動(dòng)步驟冷啟動(dòng)步驟1、啟動(dòng)啟動(dòng)UPS打開墻上空氣開關(guān)，確認(rèn)UPS后面電池開關(guān)打開，按前面面板上On鍵至兩個(gè)綠燈亮。2、啟動(dòng)循環(huán)水冷機(jī)。啟動(dòng)循環(huán)水冷機(jī)。按On鍵，確認(rèn)水泵1和制冷指示燈亮。檢查出水口壓力在2～3bar。出水口壓力可由壓力表下方閥門調(diào)節(jié)。若有報(bào)警，檢查水位，按Res鍵。3、啟動(dòng)空氣壓縮機(jī)。啟動(dòng)空氣壓縮機(jī)。確認(rèn)空氣壓縮

2、機(jī)上啟動(dòng)閥門上開關(guān)為“I”狀態(tài)。檢查輸出氣壓為5～6bar。4、確認(rèn)主機(jī)后兩個(gè)電源開關(guān)狀態(tài)為確認(rèn)主機(jī)后兩個(gè)電源開關(guān)狀態(tài)為On。此時(shí)，主機(jī)前面板上紅燈亮。5、按下黃鍵。按下黃鍵。說(shuō)明：前級(jí)真空泵進(jìn)入工作狀態(tài)，分子泵、潘寧計(jì)和離子泵自動(dòng)順序啟動(dòng)。6、按下綠鍵。按下綠鍵。按下綠鍵后，電腦會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)，輸入計(jì)算機(jī)密碼：7、啟動(dòng)啟動(dòng)SmartSEM軟件。軟件。用戶名：system密碼：8、檢查真空值，等待真空就緒。檢查真空值，等待真空就緒。注意：注

3、意：當(dāng)SystemVacuum2105mBar時(shí)，會(huì)自動(dòng)打開CIV閥門(columnisolationvalve)，并啟動(dòng)離子泵。當(dāng)GunVacuum=5109mBar時(shí)，可啟動(dòng)燈絲。若長(zhǎng)期停機(jī)，需做烘烤。9、開啟燈絲。開啟燈絲。10、開、開TV，檢查樣品臺(tái)。，檢查樣品臺(tái)。11、裝樣品、裝樣品(見(jiàn)第二部分見(jiàn)第二部分)。12、加高壓、加高壓(EHT)。13、觀察樣品。、觀察樣品。待機(jī)狀態(tài)待機(jī)狀態(tài)1、關(guān)閉高壓關(guān)閉高壓(EHT)。2、關(guān)閉關(guān)閉

4、SmartSEM軟件。軟件。注意：注意：分兩步，先關(guān)用戶界面UserInterface，后關(guān)后臺(tái)程序EMServer。3、關(guān)Windows。4、必要時(shí)，關(guān)能譜、必要時(shí)，關(guān)能譜、EBSD。5、按下黃鍵按下黃鍵此時(shí)，電子光學(xué)系統(tǒng)、樣品臺(tái)及檢測(cè)系統(tǒng)電源關(guān)閉。電鏡真空系統(tǒng)和燈絲繼續(xù)工作。待機(jī)狀態(tài)啟動(dòng)待機(jī)狀態(tài)啟動(dòng)1、按下綠鍵。按下綠鍵。按下綠鍵后，電腦會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)，輸入計(jì)算機(jī)密碼：8、抽真空。抽真空。點(diǎn)擊Pump，等待真空就緒(留意Vacuum面板

5、上真空狀態(tài))。等待過(guò)程中，可先移動(dòng)樣品臺(tái)初步定位樣品。9、換樣完成。換樣完成。加高壓，觀察樣品三、成像初步三、成像初步1、定位樣品。定位樣品。打開TV，移動(dòng)樣品臺(tái)。升至工作距離約在5~10mm處，平移對(duì)準(zhǔn)樣品。可打開stagenavigation幫助定位。2、開高壓。開高壓。根據(jù)檢測(cè)要求和樣品特性，設(shè)定加速電壓；3、觀察樣品，定位觀察區(qū)。觀察樣品，定位觀察區(qū)。全屏快速掃描（點(diǎn)擊工具欄上）；選擇Inlens或SE2探頭；縮小放大倍數(shù)至最小

6、；聚焦并調(diào)整亮度和對(duì)比度（Tab鍵可設(shè)置粗調(diào)Coarse或細(xì)調(diào)Fine）；讀取WD數(shù)值；必要時(shí)升降樣品臺(tái)，WD常用5～10mm；移動(dòng)樣品臺(tái)X、Y，或使用CentrePoint(CtrlTab鍵)定位；聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位；4、必要時(shí)，調(diào)光闌對(duì)中。必要時(shí)，調(diào)光闌對(duì)中。選區(qū)快速掃描，Aperture面板上，選上Wobble，調(diào)ApertureX和Y，消除圖像水平晃動(dòng)。完成后取消Wobble。5、消像散。消像散。選區(qū)掃描，依次調(diào)

7、StigmationX、Y和聚焦，直到圖像最清晰。6、成像。成像。進(jìn)一步放大至～50kX、并進(jìn)一步聚焦和消像散；全屏掃描，調(diào)亮度和對(duì)比度；用BeamShift或Ctrl＋Tab定位成像位置；點(diǎn)擊Mag設(shè)置所需放大倍數(shù)；Scanning面板選擇消噪模式（一般用LineAvg）；選擇掃描速度和N值（使cycletime在40s左右為宜）；確認(rèn)Freezeon＝endframe；點(diǎn)擊Freeze；等待掃描完成。7、存儲(chǔ)。存儲(chǔ)。點(diǎn)擊鼠標(biāo)中鍵（滾

8、輪）或右鍵，彈出快捷菜單→Sendto→Tifffile；設(shè)置文件夾，取文件名，設(shè)置文件名后綴，點(diǎn)Save；同一樣品圖片再次存儲(chǔ)，直接左鍵點(diǎn)擊工具欄上按鈕。存儲(chǔ)結(jié)束后，點(diǎn)擊unfreeze，點(diǎn)擊快速掃描。四、基本應(yīng)用四、基本應(yīng)用1、制樣技巧。制樣技巧。要求樣品干燥；各樣品觀察點(diǎn)高度基本一致；確認(rèn)樣品不會(huì)脫落，并用洗耳球吹一下；高真空模式觀察需確保樣品導(dǎo)電性和接地。干燥方法：對(duì)一般潮濕樣品，直接晾干或用烘箱烘干。對(duì)生物樣品，先用液氮冷凍后