鍍膜材料特性

1、基本薄膜材料基本薄膜材料名稱：釔（名稱：釔（Y）三氧化二釔，（Y2O3）使用電子槍蒸鍍，該材料性能隨膜厚而變化，在500nm時(shí)折射率約為1.8.用作鋁保護(hù)膜其極受歡迎特別相對(duì)于800—12000nm區(qū)域高入射角而言可用作眼鏡保護(hù)膜且24小時(shí)暴露于濕氣中.一般為顆粒狀和片狀.透光范圍(nm)折射率(N)500nm蒸發(fā)溫度（℃）蒸發(fā)源應(yīng)用蒸氣成分250800017923002500電子槍防反膜，鋁保護(hù)膜名稱：二氧化鈰（名稱：二氧化鈰（CeO

2、2）使用高密度的鎢舟皿(較早使用)蒸發(fā)在200℃的基板上蒸著二氧化鈰得到一個(gè)約為2.2的折射率在大約3000nm有一吸收帶其折射率隨基板溫度的變化而發(fā)生顯著變化在300℃基板500nm區(qū)域折射率為2.45在波長短過400nm時(shí)有吸收傳統(tǒng)方法蒸發(fā)缺乏緊密性用氧離子助鍍可取得n=2.35(500nm)的低吸收性薄膜一般為顆粒狀還可用一增透膜和濾光片等.透光范圍(nm)折射率(N)500nm蒸發(fā)溫度（℃）蒸發(fā)源應(yīng)用雜氣排放量400160002

3、.35約2000電子槍防反膜，多名稱：氧化鎂名稱：氧化鎂(MgO)必須使用電子槍蒸發(fā)因該材料升華堅(jiān)硬耐久且有良好的紫外線(UV)穿透性250nm時(shí)n=1.86190nm時(shí)n=2.06.166nm時(shí)K值為0.1n=2.65.可用作紫外線薄膜材料.MGOMGF2膜堆從200nm400nm區(qū)域透過性良好但膜層被限制在60層以內(nèi)(由于膜應(yīng)力)500nm時(shí)環(huán)境基板上得到n=1.70.由于大氣CO2的干擾MGO暴露表面形成一模糊的淺藍(lán)的散射表層可成

4、功使用傳統(tǒng)的MHL折射率3層AR膜(MgOCeO2MgF2).名稱：硫化鋅名稱：硫化鋅(ZnS)折射率為2.35400—13000nm的透光范圍具有良好的應(yīng)力和良好的環(huán)境耐久性ZnS在高溫蒸著時(shí)極易升華這樣在需要的膜層附著之前它先在基板上形成一無吸附性膜層因此需要徹底清爐并且在最高溫度下烘干花數(shù)小時(shí)才能把鋅的不良效果消除.HASS等人稱紫外線(UV)對(duì)ZNS有較大的影響由于紫外線在大氣中導(dǎo)致15—20nm厚的硫化鋅膜層完全轉(zhuǎn)變成氧化鋅(

5、ZNO).透光范圍(nm)折射率(N)550nm蒸發(fā)溫度（℃）蒸發(fā)源應(yīng)用方式400140002.3510001100電子槍鉭鉬舟防反膜，升華應(yīng)有:分光膜冷光膜裝飾膜濾光片高反膜紅外膜.名稱名稱:二氧化鈦二氧化鈦(TIO2)透光范圍(nm)折射率(N)550nm蒸發(fā)溫度（℃）蒸發(fā)源應(yīng)用雜氣排放量20020001.4618002200電子槍防反膜，增透少升華無色顆粒狀折射率穩(wěn)定放氣量少和OS10等高折射率材料組合制備截止膜濾光片等.名稱名稱

6、:一氧化硅一氧化硅(SIO)透光范圍(nm)折射率(N)550nm蒸發(fā)溫度（℃）蒸發(fā)源應(yīng)用雜氣排放量60080001.55at550nm1.8at1000nm1.6at7000nm12001600電子槍鉭鉬舟冷光膜裝飾膜保護(hù)膜升華制程特性:棕褐色粉狀或細(xì)塊狀.熔點(diǎn)較低可用鉬舟或鈦舟蒸發(fā)但需要加蓋舟因?yàn)榇朔N材料受熱直接升華.使用電子槍加熱時(shí)不能將電子束直接打在材料上而采用間接加熱法.制備塑料鏡片時(shí)一般第一層是SIO可以增加膜的附著力.名稱

7、名稱:OH5(TIO2ZrO2)透光范圍(nm)折射率(N)550nm蒸發(fā)溫度（℃）蒸發(fā)源應(yīng)用雜氣排放量30080002.1約2400電子槍增透一般蒸氣成分為:ZROO2TIOTIO2呈褐色塊狀或柱狀尼康公司開發(fā)之專門加TSェート系列抗反射材料折射率受真空度蒸發(fā)速率氧氣壓力的影響很大蒸鍍時(shí)不加氧或加氧不充分時(shí)制備薄膜會(huì)產(chǎn)生吸收現(xiàn)象但是我們?cè)趯?shí)際應(yīng)用時(shí)沒有加氧也比較好用.名稱名稱:二氧化鎬二氧化鎬(ZrO2)ZrO2具有堅(jiān)硬結(jié)實(shí)及不均勻之

8、特性該薄膜有是需要烘干以便除去它的吸收其材料的純度及為重要純度不夠薄膜通常缺乏整體致密性它得益于適當(dāng)使用IAD來增大它的折射率到疏松值以便克服它的不均勻性.目前純度達(dá)到99.99%基本上解決了以上的問題.SAINTY等人成功地使用ZRO2作為鋁膜和銀膜的保護(hù)膜該膜層(指ZRO2)是在室溫基板上使用700EV氬離子助鍍而得到的.一般為白色柱狀或塊狀蒸發(fā)分子為ZROO2.透光范圍(nm)折射率(N)550nm蒸發(fā)溫度（℃）蒸發(fā)源應(yīng)用雜氣排放