全面推行鍍膜tpm管理

1、,全面推行鍍膜TPM管理,總經(jīng)理方針:做人、做事、經(jīng)典QCD。,,,一、日本的全員生產(chǎn)維護（TPM）,在日本得到推廣的全員維護TPM，是在生產(chǎn)維護（PM）的基礎上，加上全員性（T）所形成的（1971年），中島清一稱之為日本的設備綜合工程學。到1982年，日本實行TPM的企業(yè)占22.8%,TPM的意義（5條）,1、以把設備效率提到最高（綜合效率）為目標；2、設立以設備一生為對象的PM總系統(tǒng)；3、涉及到設備的計劃、使用、保養(yǎng)等所有部門

2、；4、從企業(yè)最高領導到第一線員工全都參加；5、加強生產(chǎn)維修思想教育，開展PM小組活動，推廣TPM。,TPM 的特征是“三全”,利用最少的資金、精干人員、高效的設備、最少的材料和最優(yōu)的方法（5M），來達到產(chǎn)量高、質(zhì)量好、成本低、按期交貨、作業(yè)環(huán)境良好、沒有公害、生產(chǎn)安全、操作人員勞動情緒飽滿和守紀律。不但考慮設備的后期管理,也要考慮前期管理,設計階段就要全面考慮可靠性、維修性和無維修設計。不僅是維修部門，凡與設備有關的規(guī)劃、設計、

3、維護和使用部門，從領導到員工都要全員參加。,二、大型鍍膜機管理的特殊規(guī)定,1、大型鍍膜機設備是反映裝備技術水平的又一個重要標志,必須合理使用,妥善維護,嚴格管理，所之經(jīng)常處于良好技術狀態(tài)。2、大型鍍膜機設備為之公司主要管理設備，公司領導直接過問管理，如維修和變動均需報批。3、大型鍍膜機設備實行四定：定使用人，定檢修人，定規(guī)程制度和定備件。4、大型鍍膜機設備的卡片和檔案單獨管理，隨時記錄發(fā)生的情況，準確掌握運行數(shù)據(jù)，做好記錄為維護提

4、供數(shù)據(jù)和資料。5、大型鍍膜機設備發(fā)生事故，馬上通知領導和設備課報公司，同時，由領導主持召開現(xiàn)場分析會，查明原因，制定修復措施，將處理情況報公司。大型鍍膜機設備的改裝，應經(jīng)領導批準，并報公司備案。,三、維護、保養(yǎng)和修理的基本定義,1、維護：較小勞動量、較設備維修工程包括了維護、保養(yǎng)和修理。普通的技術要求、較經(jīng)常的活動、并由設備使用人來完成；2、保養(yǎng)：較大勞動量、較高技術要求、要更換簡單零件或元器件、定期性活動，且需要維修人員參與來

5、完成；3、修理：是產(chǎn)品品質(zhì)降低，為使產(chǎn)品恢復到能完成規(guī)定功能而進行的維修，保持設備的良好技術狀態(tài)。,四、 日常維護活動,日常維護活動是有計劃地控制設備技術狀態(tài)的廣泛基礎。正確的使用和經(jīng)常性的高質(zhì)量維護，是保證設備預期的無故障工作的必要條件，因為設備設計的無故障工作時間或使用壽命（設備工作能力達到允許的極限狀態(tài)之前的實際工作時間），是以按規(guī)定條件（環(huán)境、工作方法、工作規(guī)范、經(jīng)常維護等）使用維護為前提的。而定期進行的維修活動（檢查、保養(yǎng)和

6、監(jiān)測）能有計劃地開展，也是以設備的正確使用和經(jīng)常維護為依托的。,五、日常維護基本條件,1、設備操作員應在開機前檢查設備，確認無異狀后，對日常潤滑點進行潤滑，然后才能使用機器。2、按規(guī)定作日常點檢的，應作好記錄。對發(fā)現(xiàn)的故障隱患，除記錄外，應通知維修人員修理。3、按操作規(guī)程正確使用機器，運行中注意觀察機器狀態(tài)，發(fā)生故障應立即停機檢查和處理，不能排除故障通知維修人員處理。4、操作人員在班未15-20分鐘，周末2小時，節(jié)假日前4小時清掃

7、檫拭機器，整理工作現(xiàn)場達到日常維護要求。,六、日常維護活動內(nèi)容（3項）,1、點檢：由設備使用人和維修工根據(jù)規(guī)定的間隔期按日常點檢表的要求逐日進行；點檢項目通常是利用人的感官和簡易手段就能檢查的。各企業(yè)應根據(jù)本企業(yè)生產(chǎn)和設備特點，確定需進行點檢的主要生產(chǎn)設備和各設備的點檢項目，有重點地進行點檢。點檢有助于設備使用人熟悉設備的結(jié)構和性能，有利于設備的合理使用，還能及早發(fā)現(xiàn)故障征兆，避免非計劃停機造成的損失。,,2、設備運行中的觀察

8、設備運行應嚴格遵守安全操作規(guī)程，在運行中應注意觀察設備狀態(tài)，一旦發(fā)現(xiàn)異常應 立即檢查和處理，不能解決的應及時通知維修人員。對異常情況應做好記錄。3、班未和周末維護 設備和附件，以及工作場地，在每班和每周末下班前，應該認真清理、擦拭、潤滑和打掃。,七、日常維護、保養(yǎng)做法（8條）,1、機器周圍隨時清理整潔干凈，地板上不可有油污、水或掉落地上的物料產(chǎn)品，2、機器表面檫拭清潔機器是否保養(yǎng)得好，第一個看到的就是機器表面是否經(jīng)常保持干凈，

9、工具是否依規(guī)定擺放，機器表面是否擺放不該擺放的物品。3、加油潤滑，機器運轉(zhuǎn)中靠潤滑油或冷卻油來潤滑或冷卻。潤滑油或冷卻油種類很多,需依照規(guī)定添加,并經(jīng)常檢查系統(tǒng)(油路)是否暢通。4、機器緊固件，機器操作過程中，有否異聲或震動情況，緊固件（螺帽等）經(jīng)常性檢查上緊。5、皮帶松動，傳動皮帶是否松動或呈劣化應更換。6、制動開關，所有的制動開關是否正常。7、安全裝置，機器安全裝置是否完整。8、放氣排水，氣動機器 每日定時排水，下班時放

10、氣。,八、定期、周期維護（真空室內(nèi)）,鍍膜機設備保養(yǎng)指導書,一、電子槍日常維護： 、順序：從上到下，從左至右；2、使用工具1：銅絲刷、毛刷、三角刮刀、一字或十字起、單面刀片、吸塵器、金相砂紙。3、目的：把坩堝、鉬舟內(nèi)膜料蒸發(fā)后濺在四周的殘留物清掃干凈，以免下一次蒸鍍時將殘留物蒸發(fā)到基底表面，造成鏡片損傷與報廢。4、開機員更換鏡片時徹底打掃一次，時間為10分鐘；5、各零部件不允許噴砂，用金相砂紙打磨。6、對已變形、滑牙等螺絲

11、、螺帽應及時更換。7、燈絲變形、或由燈絲原因引起蒸發(fā)速率、功率不穩(wěn)定時，應及時更換。8、在進行日常更換燈絲作業(yè)時，應注意燈絲安裝方法，檢查各連接部位是否松動（高壓接線柱、燈絲與槍頭接觸部分等）。9、坩堝部分應注意：1、坩堝轉(zhuǎn)動及位置是否有異常。2、坩堝是否變形。10、檢查擋板開、閉速度，遮擋坩堝的蒸發(fā)面積。若擋板和角度板出現(xiàn)裂縫等，造成無法遮擋膜料蒸發(fā)的應及時提報及更換。,,二、H型霍爾離子束輔助鍍膜系統(tǒng)的維護：將陽極上的污染

12、物及可能產(chǎn)生的氧化層，用240＃砂紙輕輕打磨后用吸塵器吸掉。在使用過程中，如發(fā)現(xiàn)陽極中間的進氣錐及防護圈有污染物，可將防護圈取下，用金相砂紙打磨進氣錐上的污染物，對防護圈可用240＃砂紙打磨清除。清洗陰極絕緣子時，可擰下燈絲固定螺栓，取出絕緣子用金相砂紙打磨。對污染嚴重的離子源的頂部、外圈應整體做噴砂處理。以上部件，均需用干凈的汗衫布或無塵紙蘸無水乙醇乙醚混合物擦拭干凈。清潔完畢在安放離子源時應注意安放位置，保證整罩的均勻性。

13、檢查聚四氟乙烯塑料王管受高溫影響是否出現(xiàn)裂縫而漏氣。聚四氟乙烯塑料王管兩頭接管口處黃銅并帽，拆下噴砂后，應安裝正確，否則可能會松動漏氣引起打火。離子源陰極燈絲應安裝到位。10、檢查離子源氣流覆蓋面積是否為整個基片表面。,,三、真空計、護板、真空室、旋轉(zhuǎn)架的維護與處理：真空計在使用兩月后，在工程師指導下，用干凈的汗衫布蘸無水乙醇乙醚混合物擦拭。護板拆卸從外到里，從上到下，從左到右并噴砂處理。護板安裝前應將表面沙粒清潔，按從里

14、到外，從上到下，從左到右安裝。高閥區(qū)百葉窗拆卸時，從上到下，雙手握住葉片兩側(cè)，同時用力向上取上取下，若為整體式，則拆下螺栓即可，并做噴砂處理。安裝前檢查同護板檢查方法，安裝是從上到下，雙手握住葉片兩側(cè)，對準兩側(cè)葉片槽，放入即可。 6、 韓一1050機連續(xù)或累計鍍制LF342-G6件大面48小時以上更換護板，其他件號連續(xù)或累計72小時以上的更換護板。 7、韓一1200機連續(xù)或累計鍍制泰利斯產(chǎn)品件號48小時可更換護板。其

15、他72小時更換 8、萊寶1104機停用冷凝機時連續(xù)或累計鍍制產(chǎn)品件號72小時以上更換護板，使用冷凝機時連續(xù)或累計鍍制240小時以上更換護板。 9、光弛AR-1300機連續(xù)或累計鍍制產(chǎn)品件號72小時以上時更換護板。 10、成都南光ZZS-1300機連續(xù)或累計鍍制產(chǎn)品72小時以上更換護板。 11、北儀800機連續(xù)或累計鍍制240小時以上產(chǎn)品件號的可更換護板。12、北儀1350機連續(xù)或累計鍍制168小時以上產(chǎn)

16、品件號的更換護板。13、1200機旋轉(zhuǎn)架使用半個月以上的噴砂一次。 14、傘片連續(xù)或累計使用一天，1200機連續(xù)或累計使用12小時以上噴砂一次，盲板相同（各機組一天一副）。,,15、鏡圈、碟片連續(xù)或累計使用一天以上，各機組每天應送超洗退膜一次，一天一副。16、被擴散泵污染的高閥門板，真空室內(nèi)壁表面需用防靜電耐磨砂紙240＃打磨去除黃色油漬。17、污垢除去后，用抹布蘸丙酮清擦高閥門板及真空室內(nèi)壁表面，再用干凈的汗衫布蘸丙酮反

17、復清擦幾遍，直到內(nèi)壁門板表面發(fā)亮即可。18、240＃水砂紙把蒸發(fā)在真空室內(nèi)壁上的膜料打磨去除，對其他吸附在內(nèi)壁表面上的殘留物，則用金相砂紙打磨去除。19、把打磨下的臟物用吸塵器吸掉，再用汗衫布蘸丙酮清擦。20、以上清潔處理和烘烤的總時間不得大于2小時，A、B班輪流更換。四、韓一1050機、1200機加熱器清潔與安裝。把三組加熱器正負極上耐高溫的電源線，用4＃內(nèi)六角扳手沿逆時針方向?qū)⑵渌砷_，把電源線取下。把支撐桿上固定加熱器的

18、內(nèi)六角螺栓，用6＃內(nèi)六角扳手逆時針方向?qū)⑵渌傻揭话?，用左手托住加熱器，右手把螺栓松開，取下加熱器放入塑料盒內(nèi)做噴砂處理。噴砂時應取下碘鎢燈，旋下兩頭燈絲螺栓。安裝前用軟毛刷刷一遍加熱器各部件及罩子，再用抹布蘸丙酮清擦干凈，把加熱器安裝在支撐架上后，再安裝加熱器正負極電源線，開加熱，看是否正常。 5，不定時檢查燈組各接頭處5MM不銹綱螺絲加熱后是否松動。6..月更換一次加熱器組進行噴砂。7.在更換加熱器或加熱燈管時不可用尖嘴鉗

19、、鋼絲鉗等工具，用呆、套扳手進行作業(yè)。,,五、在晶振探頭座晶振探頭維護：1、把蒸發(fā)上的膜料，用金相砂紙，從上到下打磨干凈，再用汗衫布蘸無水乙醇乙醚混合液擦拭干凈。2、把固定在旋轉(zhuǎn)架上的螺栓，用帶扳手或活動扳手逆時針方向?qū)⑵渌蓜拥揭话氲奈恢茫秒p手托住旋轉(zhuǎn)架，一人將螺栓送開，取下時注意不可碰到晶振探頭。3、把已做噴砂處理的旋轉(zhuǎn)架用汗衫布蘸丙酮清擦干凈，并用扳手將螺栓固定，并空機烘烤。4、晶控儀的穩(wěn)定會受水冷的一定影響（如水溫、水質(zhì)

20、），故每隔15天左右，開機員在換班、休息后上班、或停電后上班時均要對進出水管進行對換沖洗，清除管內(nèi)污垢，直至與進水質(zhì)方可重新安裝。5、如出現(xiàn)停電、停氣、停水，機組程序可能會受傳輸信號或電壓高低的影響而不穩(wěn)定，因此開機員一定要注意晶片LIFE值變化，若有變化時，機臺晶片不能切換的必須重新更換晶片，可切換的，切換后看是否穩(wěn)定，如不穩(wěn)定，進行更換。,,六、在更換晶片時，應注意以下幾點：1、晶片表面有劃痕，硬傷；邊緣有不破損，有鋸齒等。，

21、2、晶片表面有雜質(zhì)附著；如表面有光圈，印子，點子，表面不亮等。，3、在更換時，注意不可有其它物體碰到晶片表面；4、AR-1300機更換晶片上螺絲時，注意各螺絲力道應對稱均勻，各機組每次更換完畢，應在控制面板上切換檢查LIFE值。5、各機組晶片LIFE值規(guī)定如下：單層膜： 多層膜韓一1050機 ACT>485 ACT＞490韓一1200機 LIFE≥9

22、7 LIFE≥97AR-1300機 LIFE≥5945 LIFE≥5952ZZS-1300機 LIFE≥97 LIFE≥97萊寶1104機 LIFE≥94 LIFE≥96北儀800機 LIFE≥38 LIFE≥75各機組在鍍制鏡片時多層曲線走勢上下波動突然超過正負0.3，單層AL2O3正負0.3，MAF2正負0.5

23、時立即停止蒸鍍，及時提報帶班處理解決。,,七．加熱器跳閘引發(fā)離子源打火的原因1電壓不穩(wěn)定。2真空室太臟（如護板，傘片，鏡圈，碘鎢燈，碟片，底版，旋轉(zhuǎn)架，）3離子源噴砂后清洗不徹底（存有金剛砂）4離子源陰極燈絲螺栓安裝不緊，離子轟擊后螺帽松動，燈絲變形，5燈管兩頭接線柱5MM不銹綱螺絲加熱后松動，6聚四氟乙烯塑料王管兩頭接管口處，黃銅并帽，拆下后噴砂，如安裝不正確會松動漏氣7聚四氟乙烯塑料王管受高溫影響可能會出現(xiàn)裂縫而漏氣

24、8燈組兩頭高溫線螺帽加溫后松動，引起電阻大，電流小而跳閘。 9，底版至燈架兩頭高溫線螺栓并帽接口受高溫影響脫焊、變形、斷裂。,AR-1300型鍍膜機作業(yè)手順書,一 開機1、打開冷水機外部循環(huán)水閥門（先開出水，后開進水），再打開冷水機電源及泵和壓縮機的開關。2、打開氣源開關。3、打開配電箱總電源。4、打開主控柜內(nèi)總電源及UPS電源開關。5、按控制柜上“MAIN POWER”（主動力電源）中的“ON”按鈕。6、按XTC

25、/2晶控儀開關。7、真空顯示及晶振顯示完成后，打開電腦顯示器開關。8、按電腦主機啟動鈕，啟動電腦。9、打開“POLYCOLD”電源開關；10、打開電子槍控制柜電源開關并按下“ON”按鈕。11、在PLC觸摸屏“TOGGLE SWITCH”（扳鈕開關）選項中，各開關應處于“AUTO”位置。12、確認上述操作無誤后，檢查氣壓、冷卻水進出壓力、氧壓是否正常，如果正常，進入PLC中的“PUMP DOWN/AUTO STOP”（泵啟動/

26、自動停止）項，進入“MANUL”項操作，按“PUMP DOWN”按鈕，啟動抽真空系統(tǒng)。等候“WARM UP”（加熱）完成，若“WARM UP”完成，警示燈應變?yōu)榫G色。13、約30MIN-40MIN后，“PUMP DOWN/AUTO STOP”中“WARM UP”燈亮，在PLC“EXHUST CONTROL”（抽氣控制）中模式為“AUTO”，按“CHAMBER VENT”（室體充氣）按鈕，對真空室充氣，充氣完畢，真空室門開。,,二 鍍膜

27、1、打掃真空室：用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將電子槍坩鍋及四周、觀察窗等打掃干凈，并更換電子槍坩堝蓋板和擋板。2、檢查晶片壽命：在XTC/2顯示屏上按“1”按鈕，在界面右上角查看晶片壽命。若其值在5944KHZ以下，則應考慮切換晶片。3、根據(jù)膜系要求裝填膜料，并與坩鍋號相對應。當PLC界面的“TOGGLE SWITCH”項中“DOME ROTATION”（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）處于“OFF”狀態(tài)時，可用遙控盒控制傘架旋轉(zhuǎn)。也可用于擋板開閉

28、和坩鍋旋轉(zhuǎn)的動作。4、上基片架。基片架未裝鏡片部分應蓋上盲板或貼上鋁箔，防止真空室頂部被污染。5、確定上述操作無誤后，關上真空室門。 6、進入蒸鍍程序ACS，先在界面“PROCESS”項中點擊“SELECT”按鈕，在“DATA”文件中點擊“PROCESS”進入程序單，雙擊所要蒸鍍的程序，在ACS界面中右下部分有機組泵及電子槍燈絲運行時間記錄顯示每次必需注意是否有運行時間到達需要維護的部位若有則應進行維護，若無則可點擊“START”

29、，進入后，程序先開始檢查電子槍和基片架的旋轉(zhuǎn)是否OK。若OK則開始對燈絲預熔（若不是新?lián)Q的燈絲，可點擊“SKIP”跳過）。上述動作完成后，開始進入等待真空度和溫度到達工藝設定值的界面，到達后，進入自動蒸鍍階段。在蒸鍍過程中應觀察電子槍束斑位置及面積并隨時調(diào)整使其處于中心位置，注意氧氣減壓閥進出氧壓高壓低于0.5MPa則應更換氣瓶，低壓應控制在0.03~0.04MPa之間，蒸鍍過程中應注意蒸發(fā)速率若速率有較大波動則停止，切換晶片后可繼續(xù)鍍

30、膜。若晶片已用完則應中止蒸鍍充氣更換晶片,,三 關機：7、蒸鍍完畢后，按工藝要求進行冷卻處理，自動充氣，開門。1、在PLC界面“EXHUST CONTEOL”項中按“CHAMBER EXHUST”對真空室抽氣，在“TOGGLE SWITCH”項中，讓各水閥處于“MANUAL”狀態(tài)，“DOME HEATER”（旋轉(zhuǎn)架加熱），“DOME ROTATION”（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）和POLYCOLD處于“OFF”狀態(tài)，2、關閉電子槍控制柜電源。

31、3、關閉POLYCOLD的閥門開關和電源。4、在PLC的“PUMP DOWN/AUTO STOP”項中按“AUTO STOP”閃爍30秒后進入確認關機狀態(tài)。90分鐘后真空系統(tǒng)各閥門及機械泵，羅茲泵，擴散泵等將自動關閉。5、關閉XTC/2.電腦和顯示器。6、按控制面板上“MAIN POWER”的“OFF”按鈕。7、打開控制柜，先關閉UPS電源，再關閉控制柜總電源。8、關閉氣動氣源閥門。9、先關閉冷水機的泵和壓縮機，再關閉冷水

32、機電源。10、關閉配電箱，外部循環(huán)水。,ZZS-1300型鍍膜機（南光）作業(yè)手順書,一、開機1、打開總電源。2、打開進水閥。3、打開進氣閥門（進水閥旁）。4、打開電控柜上方進氣閥門。5、確定已有外部循環(huán)水，打開冷水機水泵開關（既電源開關）。6、再開冷水機壓縮機開關。7、打開電控柜內(nèi)電源開關。8、將電控柜面板處晶控儀打開。9、檢查水、電、氣是否就緒，然后將電控柜下方機組狀態(tài)旋鈕旋為自動，按綠色“開機”按鈕，機組維持泵

33、、擴散泵加熱器、維持泵相繼打開，機組開始加熱，加熱80分鐘后，機組可正常工作。10、按綠色“取件”按鈕，三聲警報后，充氣閥打開，對機組充氣，幾分鐘后，真空室門開。,,二、鍍膜1、用銅絲刷、三角刮刀、吸塵器對坩堝及坩堝周圍進行打掃，將電子槍擋板送噴砂處理。護板等更換見《護板更換周期管理》。2、將坩堝襯套作噴砂處理后，用吸塵器將附著砂粒吸掉，并用酒精擦拭，加鍍制零件所需膜料，并將襯套放入所對應坩堝位置。3、查看電控柜上MDC360晶

34、控儀上晶片壽命值，若晶片壽命〈97，則更換晶片。4、確定上述操作無誤后，雙手提傘片把手，將備好零件放于真空室旋轉(zhuǎn)架上，并檢查傘片是否放到位，有無變形，所對應比較片是否安放。5、上述過程完成后，關真空室門，確定電控柜上“室門”指示燈點亮后，說明真空室門已關閉。6、按綠色“取件”按鈕，充氣閥關閉，按綠色“真空”按鈕，機組開始抽真空。7、將旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)打到7轉(zhuǎn)/分。8、抽真空過程中，記錄機組各數(shù)據(jù)表。9、真空到8.0*10-3PA后

35、，可對膜料進行手動預熔。（附：手動預熔操作）。10、在恒溫和設定真空度到達后，將旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)打到20轉(zhuǎn)/分。,,11、打開質(zhì)量流量計開關，調(diào)節(jié)進氣量，根據(jù)各膜料充氧不同，維持不同真空度。12、打開電子槍掃描控制電源。13、按綠色“燈絲“按鈕，調(diào)節(jié)“預置”按鈕，使燈絲電流為0.5A，電壓應在40-50V間（如 電壓低于40V，考慮更換燈絲）。14、按手持遙控盒上“高壓”按鈕，打開電子槍高壓。15、按MDC360晶控儀面板

36、上“START”按鈕，在程序單中選擇鍍制零件所需程序，再按“START”，開始自動鍍制。16、自動鍍制開始時，應用手持遙控盒上X、Y位移、掃描幅度旋鈕調(diào)節(jié)光斑，使之處于膜料中心及相應的掃描面積。17、鍍制過程中，應監(jiān)視光斑變化，并注意電子槍燈絲電流、高壓、晶片值、充氧狀態(tài)等參數(shù)變化情況，如有異常，應立即按MDC360晶控儀上“ABORT”按鈕，停止蒸鍍，根據(jù)情況做相應處理。18、在鍍制MGF2膜料時，應關閉充氧。19蒸鍍完畢，先

37、按手持遙控盒上“高壓”按鈕，關閉電子槍高壓。,,20、將X、Y掃描旋至0，關閉電子槍掃描電源。21、將“燈絲預置”旋至0，按“燈絲”按鈕，關閉電子槍燈絲電流。22、按MDC360晶控儀上“REST”按鈕，使晶控儀復位。23、將旋轉(zhuǎn)參數(shù)調(diào)節(jié)為7轉(zhuǎn)/分。24、按“鍍膜結(jié)束”按鈕，鍍后恒溫時間結(jié)束后，關閉烘烤，關烘烤后時間到達后，關機組高閥，進入真空室冷卻階段。25、真空室內(nèi)溫度約為220℃后，按“取件”按鈕，三聲警報后，對真空室進

38、行充氣，充氣完畢，真空室門開（后繼作業(yè)開始抽真空時，只需按“取件”按鈕即可），進行取件作業(yè)。三、關機1、關真空室門，按“取件“按鈕”對真空室開始抽氣，底真空信號亮后，按“真空”按鈕，機組停止抽氣，再按“開始”按鈕，機組進入擴散泵冷卻階段，1小時后，維持泵、維持閥將自動關閉。2、關閉電控柜面板上各儀器電源。3、關閉電控柜內(nèi)電源。4、關冷水機壓縮機，再關冷水機水泵。5、關電控柜上方進氣閥，再關總進氣閥。6、關進水閥。7、關總

39、電源。,,附：手動預熔操作1、真空度為8.0*10-3PA時，可進入手動預熔操作。2、將電子槍控制旋鈕調(diào)節(jié)到“手動”狀態(tài)。3、打開電子槍掃描電源。4、按“燈絲”按鈕，調(diào)節(jié)“燈絲預置”為0.5A。5、按手持遙控盒上“坩堝”按鈕，使坩堝轉(zhuǎn)到所要預熔膜料的位置。6、開遙控盒上“高壓”按鈕。7、利用遙控盒上X、Y位移、掃描幅度調(diào)節(jié)旋鈕，控制光斑在膜料上做圓周運動，調(diào)節(jié)“束流”按鈕逐漸加大電子束流，對膜料進行預熔。8、預熔完畢，依

40、次關閉電子槍高壓、燈絲預置、燈絲電流，并將控制旋鈕調(diào)節(jié)到“自動”狀態(tài)。,APS-1104型鍍膜機（萊寶）作業(yè)手順書,一、開機：1、將3#、4#二個配電箱中的大空氣開關分別合上；2、將壓縮空氣閥門打開；3、將循環(huán)水出水閥打開。4、再開循環(huán)水進水閥。5、打開冷水機的電源開關。6、打開制冷開關。7、打開熱水機的電源開關。8、打開熱水機加熱開關；(應注意冷水機水箱中的水位，不夠要及時補充)9、將A1104機自備的配電箱上的電

41、源手柄合上（先將手柄順時針方向從“+”位置旋至“○”，再逆時針方向旋至“—”）如下圖所示；,10、開氧氣瓶和氮氣瓶閥門（高壓表>1MPa，低壓表0.1~0.2MPa）。11、先開POLYCOLD電源開關。12、再開POLYCOLD壓縮機開關。13、再打開+K1控制柜最下電源開關；14、此時+K2控制柜上的LEYCOM Ⅳ應開啟，待其啟動完畢后會出現(xiàn)報警，此時按右邊參數(shù)鍵中左下角的“ACKN”鍵消除報警。15、再按一下其下

42、部功能鍵盤中的“MANUAL”鍵，再按下用紅色標示的表示熱水的按鈕，（注意：此步驟若稍遲進行，則會出現(xiàn)報警，此時只要消除報警聲后再進行此步驟即可）。16、再按一下“RET”鍵返回；17、按下“VACUUM SELECT”鍵，再按下“HIGH”鍵，再按“RET”返回；18、按“ACT”+“0”，顯示當前泵及閥狀態(tài)。此時機組進入啟動狀態(tài)，約40分鐘后啟動完成，自動進入待命狀態(tài)。,,,,二、鍍膜：1、開門：在功能鍵盤中按下“VACUU

43、M SELECT”鍵，再按下“VENT”鍵，真空室開始充氣，待充氣完畢后將真空室門鎖由垂直方向順時針轉(zhuǎn)動30°左右并拉動真空室門手柄打開真空室門。2、處理真空室：1、FBM01控制盒的使用：開門后可用FBM01控制盒可控制：檔板的開啟、坩堝、及工件架的旋轉(zhuǎn)。（對應關系請參見附注）2、清掃真空室：打開擋板，用銅絲刷、吸塵器、三角刮刀清潔電子槍（主要是坩堝）、擋板。裝填膜料：按FBM01控制盒上的“ROTATION CR

44、UCIBLE”鍵轉(zhuǎn)動坩堝，注意LEYCOM Ⅳ上顯示的坩堝位置，參照下表在坩堝內(nèi)加入對應的膜料，,3、確定執(zhí)行程序號：按參數(shù)鍵中“SETP.”+“8”，顯示出“PROCESS SELSECTION AUTOMATIC MODE”頁，查看“PROCESS No”項執(zhí)行程序號，按“↓”鍵可將光標移該欄，輸入程序編號，按“ENTER”確認，再按“HOME”使光標回到首行。4、檢查晶控片壽命值：按參數(shù)鍵中“ACT”+“8”，檢查第二通道的“

45、XTAL LIFETIME”欄的值，若小于92%，則更換晶片，真空室中間位置的晶片夾，更換方法如同HVC1050或HVC1200機。新晶片的壽命值應≥98%。5、必要時應檢查程序的工藝數(shù)據(jù)：按功能鍵“SETP”+“7”，再按程序編號數(shù)，按“ENTER”可顯示要執(zhí)行程序的工藝數(shù)據(jù)，與工藝文件的數(shù)據(jù)對照，無誤，可往下執(zhí)行。否則，由主管工藝員檢查或修正。,,6、關門執(zhí)行程序：在完成了2-5項工作后，將真空室門關上，并將手把順時針方向轉(zhuǎn)至缺

46、口位置。將主屏下排圖標左邊第一方格顯示“AUTO”或“START”并按其下方的按鍵，即可進入自動控制狀態(tài)。若主屏下排圖標左邊第一方格未顯示“AUTO”或“START”，則按右邊第一個鍵“RET”或“ABOUT”換屏。7、待加熱到達預設溫度進入恒溫狀態(tài)時，打開離子源進氣開關（開關向右拔）；調(diào)節(jié)流量控制器使進氣量控制在20sccm；,8、關門執(zhí)行程序：在完成了2-5項工作后，將真空室門關上，并將手把順時針方向轉(zhuǎn)至缺口位置。將主屏下排圖標左

47、邊第一方格顯示“AUTO”或“START”并按其下方的按鍵，即可進入自動控制狀態(tài)。若主屏下排圖標左邊第一方格未顯示“AUTO”或“START”，則按右邊第一個鍵“RET”或“ABOUT”換屏。9、待加熱到達預設溫度進入恒溫狀態(tài)時，打開離子源進氣開關（開關向右拔）；調(diào)節(jié)流量控制器使進氣量控制在20sccm；,,三、鍍膜過程監(jiān)視：1、參數(shù)鍵區(qū)“ACT”+“0”，顯示真空泵及各真空閥門的工作情況；2、參數(shù)鍵區(qū)“ACT”+“1”，綠線顯示

48、真空室真空度，紅線顯示真空室溫度；3、參數(shù)鍵區(qū)“ACT”+“3”，綠線顯示蒸鍍速率，紅線顯示蒸鍍功率；主顯示屏首行顯示內(nèi)容：（見附件中對照表）開機初始至高閥打開，可顯示真空泵及各真空閥門的工作情況。高閥打開至開始蒸鍍，可顯示真空室真空度及顯示真空室溫度。開始蒸鍍至蒸鍍完畢，可顯示蒸鍍速率及蒸鍍功率。蒸鍍完畢至開門，可顯示真空泵及各真空閥門的工作情況。四、關機：1、關門：將門關上，并將門鎖順時針方向旋轉(zhuǎn)將門鎖上，若前次是自

49、動開門則可跳過2步；2、在功能鍵盤中按下“VACUUM SELECT”鍵，再按下“VENT”鍵使之消去黃色；3、真空室開始抽氣，待高閥打開5分鐘后，功能鍵盤中按下“VACUUM SELECT”鍵，出現(xiàn)“HIGH”鍵按下此鍵使之消去黃色，此時高閥關閉隨后擴散泵關閉，機械泵、羅茨泵繼續(xù)工作直至擴散泵油溫降至100℃以下（擴散泵中溫度計顯示油溫）自動停止工作；4、機械泵、羅茨泵停止后關冷凍機（POLYCOLD），先關壓縮機開關，再關電源

50、開關。(參見附圖)5、按下紅色制動鈕，停機。再將此鈕拉出，再關閉+K2控制柜最下的UPS電源開關（按住“○”鍵二秒鐘）。6、關氧氣瓶閥門。7、關電源箱總電源。8、關冷水機外部循環(huán)水。關氣源。,HVC1050A鍍膜機操作手順書,一、開機1、打開電源箱總電源；2、打開冷水機外部循環(huán)水閥門；(先開出水，后開進水)3、打開氣動氣源閥門（或氣泵電源）；4、按紅色“CONTROL POWER”按鈕；5、按“IC/5”晶控儀白色

51、“ON”按鈕，打開晶控儀；6、待控制電腦自動完成啟動；復合真空計工作正常，啟動黃色“START”按鈕，機組自動開啟機械泵(RP)、羅茨泵(MBP)、擴散泵(DP1/DP2)，DP1/DP2燈閃爍，表示擴散泵處于加熱中，DP1/DP2燈穩(wěn)定時，表示擴散泵油溫度到達，可以打開高閥。(通常需50分鐘)7、打開電子槍控制柜電源；8、若有鍍需充氧的膜料，則打開氧氣瓶閥門。9、按黃色“START”按鈕，待“RV”預抽閥燈閃爍，再按黃色“ST

52、ART”按鈕“RV”關閉“FV1/FV2”前級閥打開，過若干分鐘（根據(jù)設置）“LV”充氣閥打開。充氣完畢，真空室門打開。,,二、鍍膜1、打掃真空室：用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將電子槍外露部分、坩堝及四周、護板及觀察窗等打掃干凈，換上干凈擋板。2、檢查晶片壽命及活性值，在“IC/5”晶控儀的主顯示屏狀態(tài)，按“F2”鍵，一般只檢查第一通道“LIFE”值＞3或4，“ACT”值＜420，應考慮換晶片，新晶片的“LIFE”值為0，“ACT

53、”值≥440，可認為OK。否則再次清潔晶片的座、架、片等，或換過晶片。3、按膜系要求裝填膜料，對一般減反膜，主要膜料有：TIO2（5#）、ZRO2（1#）、MGF2（3#）、AL2O3（2#）；（A#為坩堝號）。旋轉(zhuǎn)坩堝用遙控盒的“POCKET CCW”和“POCKET 1STEP”紅色按鈕。對IR-CUT膜用TIO2（5#、6#）、SIO2（1#、2#、3#、4#）。4、當裝有TIO2膜料而且高于旋轉(zhuǎn)平面時，該膜料需要鍍前手工預熔

54、，在真空室關門前將該坩堝定位在蒸發(fā)位上，并將電子槍“自動”狀態(tài)關閉，開關撥至“INT”。防止關門時坩堝自行轉(zhuǎn)動，卡死膜料。而后關閉擋板。5、按《常用程序表》對照所鍍鏡片零件號，輸入程序編號。,,6、雙手提基片架把手，將基片架準確放入旋轉(zhuǎn)架上卡槽內(nèi)?；苌衔囱b鏡片的空位應堵或蒙上（鋁箔），防止真空室頂部污染。7、上述事項完成并確定無誤后，關上真空室門。8、按黃色“START”按鈕，機組進入抽真空、加熱狀態(tài)。9、在真空度達5*10

55、-5TORR以上可手動預熔膜料，僅TIO2一種膜料需手動預熔，而且預熔TIO2應充氧。預熔完畢，將機組置于自動控制狀態(tài)。（附1：手動預熔操作）10、當機組真空、溫度等滿足蒸發(fā)條件時，自動開始蒸鍍。應注意觀察調(diào)整電子槍束斑位置及面積，注意觀察料面情況，并觀察控制柜面板上響應參數(shù)，若有異常應調(diào)整或暫停、中止。11、蒸鍍完閉按各膜系要求作鍍后烘烤、延時處理。自動充氣、開門。卸下基片架。,,關機1、關門，按黃色“START”按鈕。2、待

56、真空計的“A1、B2”區(qū)泛白，按紅色“POWER OFF”鍵，機組自動將“DPI、DP2”關閉。3、手動關閉電腦。4、關閉“IC/5”晶控儀。5、關閉電子槍控制柜電源；120分鐘后自動將羅茨泵、機械泵及機組電源關閉。6、關閉冷水機及外部循環(huán)水。7、關閉氣源（或氣泵）。8、關閉氧氣瓶閥門。9、關閉電源箱總電源。,,附：手動預熔1、在鍍制TIO2之類高熔點膜料前，需對該類膜料進行手動預熔，操作步驟如下：2、把電子槍開關撥至

57、“IHT”。3、打開電腦程序上的“蒸發(fā)源”界面，點擊上面的“自動操作”，由橙色變?yōu)榘咨?、再打開“蒸鍍參數(shù)”界面，將“APC SETUP”打開，選擇對應的充氧通道，點擊“APC Intermal”。5、按電子槍控制電源面板上的“ACC ON”按鈕，打開電子槍高壓。6、再按“FILAMENT ON”按鈕，燈絲通電流。7、調(diào)節(jié)電子槍X、Y方向的“SCAN”（面積）旋鈕，使數(shù)值為4。8、利用遙控盒，調(diào)節(jié)光斑位移（POINT）旋鈕

58、，使光斑在膜料上作圓周運動，并慢慢將束流加至400mA。9、預熔完畢后，點擊電腦程序上充氧界面的“Extemal(for pc)”,關閉充氧，再點OK。10、按電子槍控制電源面板上“Acc、Fil Off 按鈕，關閉電子槍。11、將電子槍開關撥至“EXT”。12、打開電腦程序上“蒸發(fā)源”界面，點擊“自動操作”，由白色變?yōu)槌壬?ZZSX-800型鍍膜機（北儀）作業(yè)手順書,一、目的和適用范圍本指導卡規(guī)定了使用ZZSX-800

59、型鍍膜機鍍制多層膜的操作方法及過程控制，確保所加工的產(chǎn)品滿足要求、品質(zhì)得到控制。適用范圍：光學元件事業(yè)本部ZZSX-800型鍍膜機操作。二、開機流程 ：1、開電源、氣源、水源。2、開機組電源、開機械泵、擴散泵。3、開充氣閥、開門。4、處理真空室（清潔等），關門、開機械泵、開預抽閥。5、測低真空，開羅茨泵、關預抽閥、開前級閥、開高閥。6、開烘烤、工件旋轉(zhuǎn)。7、測高真空、開膜厚儀。8、預熔膜料、并按膜系蒸鍍。9、關烘烤、

60、關旋轉(zhuǎn)、關膜厚儀。10、關真空測量、關高閥，關羅茨泵、關前級閥、關機械泵。11、降溫、充氣、開門、取工件。,,三、關機1、關擴散泵，2、等120分鐘，停機、停水、停電、停氣。四、鍍膜前準備.1、按有關膜系技術工藝文件要求，作膜料、基片、晶控儀、晶片、真空室布置、基片上傘等準備工作。4.2、晶片：由于晶片本身品質(zhì)有差異，晶控儀穩(wěn)定性不理想，無法定出晶片的使用周期。操作中一經(jīng)發(fā)現(xiàn)晶控儀顯示有失常時，應及時更換晶片；或?qū)⒕断?/p>

61、擦拭一下并清潔探頭各觸點，保持良好接觸。防止蒸鍍中因失控造成鍍膜失敗五、膜層厚度控制本卡規(guī)定用晶控儀控制膜厚。 各層膜的控制數(shù)據(jù)以及修正方法按相關膜系技術文件的規(guī)定執(zhí)行。六、操作步驟與注意事項 .1、接通水源、氣源、電源，打開機器總電源。6.2、開維持泵、擴散泵。 *因擴散泵有預熱時間，可在擴散泵開啟45分鐘后進行下一步操作。,,開充氣閥、開門、關充氣閥。6.4、處理真空室： a、用吸塵器及銅絲刷、紗

62、布、乙醇乙醚混合液清潔真空室，重點是檔板、槍體、坩堝等。 b、更換、添加膜料。 c、檢查、更換晶片。 d、安置鏡片架、注意裝夾安全可靠。 e、按技術文件規(guī)定作真空室其它處理，以及晶控儀數(shù)據(jù)設定或調(diào)整。 f、修正補償板位置的確認或更換。g、若使用電阻蒸發(fā)舟時，應緊固二端連接。當蒸發(fā)舟使用50次、層膜或變形時應及時更換，新?lián)Q上的蒸發(fā)舟應先處理干凈，并在真空狀態(tài)下空載。通電讓其發(fā)紅熱處理。經(jīng)上述處理的

63、鉬舟即可投入使用。*ZZSX×800機鉬舟尺寸20×20×4mm（或成型蒸發(fā)舟）6.5、關門、開機械泵、開預抽閥。6.6、開低真空測量在達到400Pa左右的真空度時開啟羅茨泵。6.7、在擴散泵工作1小時以上，自動壓強儀真空度≤1.3×101Pa時，關預抽閥、開前級閥、開高閥。6.8、開烘烤，烘烤溫度設定為300℃。工件慢轉(zhuǎn)動。（30V）6.9、開晶控儀，開電子槍電源。6.10、在真空室

64、真空度達技術文件規(guī)定值（一般在5~6×10-3Pa）、烘烤溫度達設定值20分鐘以上，預熔膜料，工件旋轉(zhuǎn)加快。（80V）,,6.11、按膜系要求以及技術文件規(guī)定逐層蒸鍍。6.12、關烘烤、關旋轉(zhuǎn)、關真空測量、關高閥、關晶控儀。6.13、關前級閥、關羅茨泵，并在羅茨泵停穩(wěn)后關機械泵。6.14、若不再繼續(xù)蒸鍍，則關上擴散泵，否則擴散泵不停。6.15、真空室降溫至規(guī)定值時（270℃左右），開充氣閥、開門、關充氣閥。6.16、

65、取出鏡片。6.17、若繼續(xù)操作，則重復6.4—6.16步驟操作。6.18、關門、開機械泵、開預抽閥約15分鐘左右可關預抽閥、關機械泵。6.19、停維持泵、停機組電源，停電、停氣。6.20、在擴散泵停止工作2小時以后，停水。（因循環(huán)水管道已改為金屬管道，且為了縮短開機員工作時間，允許晚班不停水直接下班。但如第二天為休息日，則開機員應在第二天上午到廠關閉循環(huán)水。）七、注意事項：7.1、真空室內(nèi)嚴禁任何油污染，任何油類物品及含油類

66、的物品、工具、紗布進入。7.2、機組在蒸鍍了30罩左右（紅膜）或累計200層膜左右時，必須徹底清洗真空室有關部件。7.3、機組在冷鍍過鏡片后，無論真空室部件是否干凈，都必須徹底清洗真空室有關部件。,,7.4、保持機組正常工作，一旦有異常應停機，排除故障后再啟動。7.5、烘烤燈管兩頭的管腳緊固螺絲每個星期一全部緊一遍，避免接觸不良產(chǎn)生打火。 7.6、機組一旦停電，應切斷總電源及各按鈕，來電后逐步啟動。7.7、機組—旦停水，應切斷

67、擴散泵，停止正常蒸鍍操作，關閉烘烤，約10分鐘后若仍停水則用備用水冷卻擴散泵。7.8、應隨時注意循環(huán)冷卻水供給情況。7.9、執(zhí)行技術文件規(guī)定的其他事項。7.10、根據(jù)專用工作記錄表，做好各罩記錄。 記錄表應記錄下列內(nèi)容：蒸鍍起止時間、膜系名稱、晶片壽命、工具因子值、設定基片溫度、蒸鍍時真空度、關門至開門時間、零件名稱、鍍件數(shù)量等。車間可結(jié)合生產(chǎn)記錄設計表格，報工程科審核后投入使用。7.11、做好機組異常情況、故障及維修記

68、錄。（專用記錄本，保存10年。）記錄內(nèi)容包括：異常情況、故障發(fā)生及排除日期、時間；異常情況及故障現(xiàn)象；自我分析；實際維修、排除記錄及說明；作業(yè)員、維修員簽名。,HVC1200A鍍膜機操作手順書,一、開機1、打開電源箱總電源；2、打開冷水機外部循環(huán)水閥門；(先開出水，后開進水)3、打開氣動氣源閥門（或氣泵電源）；4、打開機組電源，按紅色“CONTROL POWER”按鈕；5、啟動黃色“START”按鈕，機組自動開啟機械泵(RP