全面推行鍍膜tpm管理

1、,全面推行鍍膜TPM管理,總經(jīng)理方針:做人、做事、經(jīng)典QCD。,,,一、日本的全員生產(chǎn)維護(hù)（TPM）,在日本得到推廣的全員維護(hù)TPM，是在生產(chǎn)維護(hù)（PM）的基礎(chǔ)上，加上全員性（T）所形成的（1971年），中島清一稱之為日本的設(shè)備綜合工程學(xué)。到1982年，日本實(shí)行TPM的企業(yè)占22.8%,TPM的意義（5條）,1、以把設(shè)備效率提到最高（綜合效率）為目標(biāo)；2、設(shè)立以設(shè)備一生為對(duì)象的PM總系統(tǒng)；3、涉及到設(shè)備的計(jì)劃、使用、保養(yǎng)等所有部門(mén)

2、；4、從企業(yè)最高領(lǐng)導(dǎo)到第一線員工全都參加；5、加強(qiáng)生產(chǎn)維修思想教育，開(kāi)展PM小組活動(dòng)，推廣TPM。,TPM 的特征是“三全”,利用最少的資金、精干人員、高效的設(shè)備、最少的材料和最優(yōu)的方法（5M），來(lái)達(dá)到產(chǎn)量高、質(zhì)量好、成本低、按期交貨、作業(yè)環(huán)境良好、沒(méi)有公害、生產(chǎn)安全、操作人員勞動(dòng)情緒飽滿和守紀(jì)律。不但考慮設(shè)備的后期管理,也要考慮前期管理,設(shè)計(jì)階段就要全面考慮可靠性、維修性和無(wú)維修設(shè)計(jì)。不僅是維修部門(mén)，凡與設(shè)備有關(guān)的規(guī)劃、設(shè)計(jì)、

3、維護(hù)和使用部門(mén)，從領(lǐng)導(dǎo)到員工都要全員參加。,二、大型鍍膜機(jī)管理的特殊規(guī)定,1、大型鍍膜機(jī)設(shè)備是反映裝備技術(shù)水平的又一個(gè)重要標(biāo)志,必須合理使用,妥善維護(hù),嚴(yán)格管理，所之經(jīng)常處于良好技術(shù)狀態(tài)。2、大型鍍膜機(jī)設(shè)備為之公司主要管理設(shè)備，公司領(lǐng)導(dǎo)直接過(guò)問(wèn)管理，如維修和變動(dòng)均需報(bào)批。3、大型鍍膜機(jī)設(shè)備實(shí)行四定：定使用人，定檢修人，定規(guī)程制度和定備件。4、大型鍍膜機(jī)設(shè)備的卡片和檔案單獨(dú)管理，隨時(shí)記錄發(fā)生的情況，準(zhǔn)確掌握運(yùn)行數(shù)據(jù)，做好記錄為維護(hù)提

4、供數(shù)據(jù)和資料。5、大型鍍膜機(jī)設(shè)備發(fā)生事故，馬上通知領(lǐng)導(dǎo)和設(shè)備課報(bào)公司，同時(shí)，由領(lǐng)導(dǎo)主持召開(kāi)現(xiàn)場(chǎng)分析會(huì)，查明原因，制定修復(fù)措施，將處理情況報(bào)公司。大型鍍膜機(jī)設(shè)備的改裝，應(yīng)經(jīng)領(lǐng)導(dǎo)批準(zhǔn)，并報(bào)公司備案。,三、維護(hù)、保養(yǎng)和修理的基本定義,1、維護(hù)：較小勞動(dòng)量、較設(shè)備維修工程包括了維護(hù)、保養(yǎng)和修理。普通的技術(shù)要求、較經(jīng)常的活動(dòng)、并由設(shè)備使用人來(lái)完成；2、保養(yǎng)：較大勞動(dòng)量、較高技術(shù)要求、要更換簡(jiǎn)單零件或元器件、定期性活動(dòng)，且需要維修人員參與來(lái)

5、完成；3、修理：是產(chǎn)品品質(zhì)降低，為使產(chǎn)品恢復(fù)到能完成規(guī)定功能而進(jìn)行的維修，保持設(shè)備的良好技術(shù)狀態(tài)。,四、 日常維護(hù)活動(dòng),日常維護(hù)活動(dòng)是有計(jì)劃地控制設(shè)備技術(shù)狀態(tài)的廣泛基礎(chǔ)。正確的使用和經(jīng)常性的高質(zhì)量維護(hù)，是保證設(shè)備預(yù)期的無(wú)故障工作的必要條件，因?yàn)樵O(shè)備設(shè)計(jì)的無(wú)故障工作時(shí)間或使用壽命（設(shè)備工作能力達(dá)到允許的極限狀態(tài)之前的實(shí)際工作時(shí)間），是以按規(guī)定條件（環(huán)境、工作方法、工作規(guī)范、經(jīng)常維護(hù)等）使用維護(hù)為前提的。而定期進(jìn)行的維修活動(dòng)（檢查、保養(yǎng)和

6、監(jiān)測(cè)）能有計(jì)劃地開(kāi)展，也是以設(shè)備的正確使用和經(jīng)常維護(hù)為依托的。,五、日常維護(hù)基本條件,1、設(shè)備操作員應(yīng)在開(kāi)機(jī)前檢查設(shè)備，確認(rèn)無(wú)異狀后，對(duì)日常潤(rùn)滑點(diǎn)進(jìn)行潤(rùn)滑，然后才能使用機(jī)器。2、按規(guī)定作日常點(diǎn)檢的，應(yīng)作好記錄。對(duì)發(fā)現(xiàn)的故障隱患，除記錄外，應(yīng)通知維修人員修理。3、按操作規(guī)程正確使用機(jī)器，運(yùn)行中注意觀察機(jī)器狀態(tài)，發(fā)生故障應(yīng)立即停機(jī)檢查和處理，不能排除故障通知維修人員處理。4、操作人員在班未15-20分鐘，周末2小時(shí)，節(jié)假日前4小時(shí)清掃

7、檫拭機(jī)器，整理工作現(xiàn)場(chǎng)達(dá)到日常維護(hù)要求。,六、日常維護(hù)活動(dòng)內(nèi)容（3項(xiàng)）,1、點(diǎn)檢：由設(shè)備使用人和維修工根據(jù)規(guī)定的間隔期按日常點(diǎn)檢表的要求逐日進(jìn)行；點(diǎn)檢項(xiàng)目通常是利用人的感官和簡(jiǎn)易手段就能檢查的。各企業(yè)應(yīng)根據(jù)本企業(yè)生產(chǎn)和設(shè)備特點(diǎn)，確定需進(jìn)行點(diǎn)檢的主要生產(chǎn)設(shè)備和各設(shè)備的點(diǎn)檢項(xiàng)目，有重點(diǎn)地進(jìn)行點(diǎn)檢。點(diǎn)檢有助于設(shè)備使用人熟悉設(shè)備的結(jié)構(gòu)和性能，有利于設(shè)備的合理使用，還能及早發(fā)現(xiàn)故障征兆，避免非計(jì)劃停機(jī)造成的損失。,,2、設(shè)備運(yùn)行中的觀察

8、設(shè)備運(yùn)行應(yīng)嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程，在運(yùn)行中應(yīng)注意觀察設(shè)備狀態(tài)，一旦發(fā)現(xiàn)異常應(yīng) 立即檢查和處理，不能解決的應(yīng)及時(shí)通知維修人員。對(duì)異常情況應(yīng)做好記錄。3、班未和周末維護(hù) 設(shè)備和附件，以及工作場(chǎng)地，在每班和每周末下班前，應(yīng)該認(rèn)真清理、擦拭、潤(rùn)滑和打掃。,七、日常維護(hù)、保養(yǎng)做法（8條）,1、機(jī)器周圍隨時(shí)清理整潔干凈，地板上不可有油污、水或掉落地上的物料產(chǎn)品，2、機(jī)器表面檫拭清潔機(jī)器是否保養(yǎng)得好，第一個(gè)看到的就是機(jī)器表面是否經(jīng)常保持干凈，

9、工具是否依規(guī)定擺放，機(jī)器表面是否擺放不該擺放的物品。3、加油潤(rùn)滑，機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)中靠潤(rùn)滑油或冷卻油來(lái)潤(rùn)滑或冷卻。潤(rùn)滑油或冷卻油種類很多,需依照規(guī)定添加,并經(jīng)常檢查系統(tǒng)(油路)是否暢通。4、機(jī)器緊固件，機(jī)器操作過(guò)程中，有否異聲或震動(dòng)情況，緊固件（螺帽等）經(jīng)常性檢查上緊。5、皮帶松動(dòng)，傳動(dòng)皮帶是否松動(dòng)或呈劣化應(yīng)更換。6、制動(dòng)開(kāi)關(guān)，所有的制動(dòng)開(kāi)關(guān)是否正常。7、安全裝置，機(jī)器安全裝置是否完整。8、放氣排水，氣動(dòng)機(jī)器 每日定時(shí)排水，下班時(shí)放

10、氣。,八、定期、周期維護(hù)（真空室內(nèi)）,鍍膜機(jī)設(shè)備保養(yǎng)指導(dǎo)書(shū),一、電子槍日常維護(hù)： 、順序：從上到下，從左至右；2、使用工具1：銅絲刷、毛刷、三角刮刀、一字或十字起、單面刀片、吸塵器、金相砂紙。3、目的：把坩堝、鉬舟內(nèi)膜料蒸發(fā)后濺在四周的殘留物清掃干凈，以免下一次蒸鍍時(shí)將殘留物蒸發(fā)到基底表面，造成鏡片損傷與報(bào)廢。4、開(kāi)機(jī)員更換鏡片時(shí)徹底打掃一次，時(shí)間為10分鐘；5、各零部件不允許噴砂，用金相砂紙打磨。6、對(duì)已變形、滑牙等螺絲

11、、螺帽應(yīng)及時(shí)更換。7、燈絲變形、或由燈絲原因引起蒸發(fā)速率、功率不穩(wěn)定時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換。8、在進(jìn)行日常更換燈絲作業(yè)時(shí)，應(yīng)注意燈絲安裝方法，檢查各連接部位是否松動(dòng)（高壓接線柱、燈絲與槍頭接觸部分等）。9、坩堝部分應(yīng)注意：1、坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)及位置是否有異常。2、坩堝是否變形。10、檢查擋板開(kāi)、閉速度，遮擋坩堝的蒸發(fā)面積。若擋板和角度板出現(xiàn)裂縫等，造成無(wú)法遮擋膜料蒸發(fā)的應(yīng)及時(shí)提報(bào)及更換。,,二、H型霍爾離子束輔助鍍膜系統(tǒng)的維護(hù)：將陽(yáng)極上的污染

12、物及可能產(chǎn)生的氧化層，用240＃砂紙輕輕打磨后用吸塵器吸掉。在使用過(guò)程中，如發(fā)現(xiàn)陽(yáng)極中間的進(jìn)氣錐及防護(hù)圈有污染物，可將防護(hù)圈取下，用金相砂紙打磨進(jìn)氣錐上的污染物，對(duì)防護(hù)圈可用240＃砂紙打磨清除。清洗陰極絕緣子時(shí)，可擰下燈絲固定螺栓，取出絕緣子用金相砂紙打磨。對(duì)污染嚴(yán)重的離子源的頂部、外圈應(yīng)整體做噴砂處理。以上部件，均需用干凈的汗衫布或無(wú)塵紙蘸無(wú)水乙醇乙醚混合物擦拭干凈。清潔完畢在安放離子源時(shí)應(yīng)注意安放位置，保證整罩的均勻性。

13、檢查聚四氟乙烯塑料王管受高溫影響是否出現(xiàn)裂縫而漏氣。聚四氟乙烯塑料王管兩頭接管口處黃銅并帽，拆下噴砂后，應(yīng)安裝正確，否則可能會(huì)松動(dòng)漏氣引起打火。離子源陰極燈絲應(yīng)安裝到位。10、檢查離子源氣流覆蓋面積是否為整個(gè)基片表面。,,三、真空計(jì)、護(hù)板、真空室、旋轉(zhuǎn)架的維護(hù)與處理：真空計(jì)在使用兩月后，在工程師指導(dǎo)下，用干凈的汗衫布蘸無(wú)水乙醇乙醚混合物擦拭。護(hù)板拆卸從外到里，從上到下，從左到右并噴砂處理。護(hù)板安裝前應(yīng)將表面沙粒清潔，按從里

14、到外，從上到下，從左到右安裝。高閥區(qū)百葉窗拆卸時(shí)，從上到下，雙手握住葉片兩側(cè)，同時(shí)用力向上取上取下，若為整體式，則拆下螺栓即可，并做噴砂處理。安裝前檢查同護(hù)板檢查方法，安裝是從上到下，雙手握住葉片兩側(cè)，對(duì)準(zhǔn)兩側(cè)葉片槽，放入即可。 6、 韓一1050機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制LF342-G6件大面48小時(shí)以上更換護(hù)板，其他件號(hào)連續(xù)或累計(jì)72小時(shí)以上的更換護(hù)板。 7、韓一1200機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制泰利斯產(chǎn)品件號(hào)48小時(shí)可更換護(hù)板。其

15、他72小時(shí)更換 8、萊寶1104機(jī)停用冷凝機(jī)時(shí)連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品件號(hào)72小時(shí)以上更換護(hù)板，使用冷凝機(jī)時(shí)連續(xù)或累計(jì)鍍制240小時(shí)以上更換護(hù)板。 9、光弛AR-1300機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品件號(hào)72小時(shí)以上時(shí)更換護(hù)板。 10、成都南光ZZS-1300機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品72小時(shí)以上更換護(hù)板。 11、北儀800機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制240小時(shí)以上產(chǎn)品件號(hào)的可更換護(hù)板。12、北儀1350機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制168小時(shí)以上產(chǎn)

16、品件號(hào)的更換護(hù)板。13、1200機(jī)旋轉(zhuǎn)架使用半個(gè)月以上的噴砂一次。 14、傘片連續(xù)或累計(jì)使用一天，1200機(jī)連續(xù)或累計(jì)使用12小時(shí)以上噴砂一次，盲板相同（各機(jī)組一天一副）。,,15、鏡圈、碟片連續(xù)或累計(jì)使用一天以上，各機(jī)組每天應(yīng)送超洗退膜一次，一天一副。16、被擴(kuò)散泵污染的高閥門(mén)板，真空室內(nèi)壁表面需用防靜電耐磨砂紙240＃打磨去除黃色油漬。17、污垢除去后，用抹布蘸丙酮清擦高閥門(mén)板及真空室內(nèi)壁表面，再用干凈的汗衫布蘸丙酮反

17、復(fù)清擦幾遍，直到內(nèi)壁門(mén)板表面發(fā)亮即可。18、240＃水砂紙把蒸發(fā)在真空室內(nèi)壁上的膜料打磨去除，對(duì)其他吸附在內(nèi)壁表面上的殘留物，則用金相砂紙打磨去除。19、把打磨下的臟物用吸塵器吸掉，再用汗衫布蘸丙酮清擦。20、以上清潔處理和烘烤的總時(shí)間不得大于2小時(shí)，A、B班輪流更換。四、韓一1050機(jī)、1200機(jī)加熱器清潔與安裝。把三組加熱器正負(fù)極上耐高溫的電源線，用4＃內(nèi)六角扳手沿逆時(shí)針?lè)较驅(qū)⑵渌砷_(kāi)，把電源線取下。把支撐桿上固定加熱器的

18、內(nèi)六角螺栓，用6＃內(nèi)六角扳手逆時(shí)針?lè)较驅(qū)⑵渌傻揭话耄米笫滞凶〖訜崞?，右手把螺栓松開(kāi)，取下加熱器放入塑料盒內(nèi)做噴砂處理。噴砂時(shí)應(yīng)取下碘鎢燈，旋下兩頭燈絲螺栓。安裝前用軟毛刷刷一遍加熱器各部件及罩子，再用抹布蘸丙酮清擦干凈，把加熱器安裝在支撐架上后，再安裝加熱器正負(fù)極電源線，開(kāi)加熱，看是否正常。 5，不定時(shí)檢查燈組各接頭處5MM不銹綱螺絲加熱后是否松動(dòng)。6..月更換一次加熱器組進(jìn)行噴砂。7.在更換加熱器或加熱燈管時(shí)不可用尖嘴鉗

19、、鋼絲鉗等工具，用呆、套扳手進(jìn)行作業(yè)。,,五、在晶振探頭座晶振探頭維護(hù)：1、把蒸發(fā)上的膜料，用金相砂紙，從上到下打磨干凈，再用汗衫布蘸無(wú)水乙醇乙醚混合液擦拭干凈。2、把固定在旋轉(zhuǎn)架上的螺栓，用帶扳手或活動(dòng)扳手逆時(shí)針?lè)较驅(qū)⑵渌蓜?dòng)到一半的位置，用雙手托住旋轉(zhuǎn)架，一人將螺栓送開(kāi)，取下時(shí)注意不可碰到晶振探頭。3、把已做噴砂處理的旋轉(zhuǎn)架用汗衫布蘸丙酮清擦干凈，并用扳手將螺栓固定，并空機(jī)烘烤。4、晶控儀的穩(wěn)定會(huì)受水冷的一定影響（如水溫、水質(zhì)

20、），故每隔15天左右，開(kāi)機(jī)員在換班、休息后上班、或停電后上班時(shí)均要對(duì)進(jìn)出水管進(jìn)行對(duì)換沖洗，清除管內(nèi)污垢，直至與進(jìn)水質(zhì)方可重新安裝。5、如出現(xiàn)停電、停氣、停水，機(jī)組程序可能會(huì)受傳輸信號(hào)或電壓高低的影響而不穩(wěn)定，因此開(kāi)機(jī)員一定要注意晶片LIFE值變化，若有變化時(shí)，機(jī)臺(tái)晶片不能切換的必須重新更換晶片，可切換的，切換后看是否穩(wěn)定，如不穩(wěn)定，進(jìn)行更換。,,六、在更換晶片時(shí)，應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：1、晶片表面有劃痕，硬傷；邊緣有不破損，有鋸齒等。，

21、2、晶片表面有雜質(zhì)附著；如表面有光圈，印子，點(diǎn)子，表面不亮等。，3、在更換時(shí)，注意不可有其它物體碰到晶片表面；4、AR-1300機(jī)更換晶片上螺絲時(shí)，注意各螺絲力道應(yīng)對(duì)稱均勻，各機(jī)組每次更換完畢，應(yīng)在控制面板上切換檢查L(zhǎng)IFE值。5、各機(jī)組晶片LIFE值規(guī)定如下：?jiǎn)螌幽ぃ?多層膜韓一1050機(jī) ACT>485 ACT＞490韓一1200機(jī) LIFE≥9

22、7 LIFE≥97AR-1300機(jī) LIFE≥5945 LIFE≥5952ZZS-1300機(jī) LIFE≥97 LIFE≥97萊寶1104機(jī) LIFE≥94 LIFE≥96北儀800機(jī) LIFE≥38 LIFE≥75各機(jī)組在鍍制鏡片時(shí)多層曲線走勢(shì)上下波動(dòng)突然超過(guò)正負(fù)0.3，單層AL2O3正負(fù)0.3，MAF2正負(fù)0.5

23、時(shí)立即停止蒸鍍，及時(shí)提報(bào)帶班處理解決。,,七．加熱器跳閘引發(fā)離子源打火的原因1電壓不穩(wěn)定。2真空室太臟（如護(hù)板，傘片，鏡圈，碘鎢燈，碟片，底版，旋轉(zhuǎn)架，）3離子源噴砂后清洗不徹底（存有金剛砂）4離子源陰極燈絲螺栓安裝不緊，離子轟擊后螺帽松動(dòng)，燈絲變形，5燈管兩頭接線柱5MM不銹綱螺絲加熱后松動(dòng)，6聚四氟乙烯塑料王管兩頭接管口處，黃銅并帽，拆下后噴砂，如安裝不正確會(huì)松動(dòng)漏氣7聚四氟乙烯塑料王管受高溫影響可能會(huì)出現(xiàn)裂縫而漏氣

24、8燈組兩頭高溫線螺帽加溫后松動(dòng)，引起電阻大，電流小而跳閘。 9，底版至燈架兩頭高溫線螺栓并帽接口受高溫影響脫焊、變形、斷裂。,AR-1300型鍍膜機(jī)作業(yè)手順書(shū),一 開(kāi)機(jī)1、打開(kāi)冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門(mén)（先開(kāi)出水，后開(kāi)進(jìn)水），再打開(kāi)冷水機(jī)電源及泵和壓縮機(jī)的開(kāi)關(guān)。2、打開(kāi)氣源開(kāi)關(guān)。3、打開(kāi)配電箱總電源。4、打開(kāi)主控柜內(nèi)總電源及UPS電源開(kāi)關(guān)。5、按控制柜上“MAIN POWER”（主動(dòng)力電源）中的“ON”按鈕。6、按XTC

25、/2晶控儀開(kāi)關(guān)。7、真空顯示及晶振顯示完成后，打開(kāi)電腦顯示器開(kāi)關(guān)。8、按電腦主機(jī)啟動(dòng)鈕，啟動(dòng)電腦。9、打開(kāi)“POLYCOLD”電源開(kāi)關(guān)；10、打開(kāi)電子槍控制柜電源開(kāi)關(guān)并按下“ON”按鈕。11、在PLC觸摸屏“TOGGLE SWITCH”（扳鈕開(kāi)關(guān)）選項(xiàng)中，各開(kāi)關(guān)應(yīng)處于“AUTO”位置。12、確認(rèn)上述操作無(wú)誤后，檢查氣壓、冷卻水進(jìn)出壓力、氧壓是否正常，如果正常，進(jìn)入PLC中的“PUMP DOWN/AUTO STOP”（泵啟動(dòng)/

26、自動(dòng)停止）項(xiàng)，進(jìn)入“MANUL”項(xiàng)操作，按“PUMP DOWN”按鈕，啟動(dòng)抽真空系統(tǒng)。等候“WARM UP”（加熱）完成，若“WARM UP”完成，警示燈應(yīng)變?yōu)榫G色。13、約30MIN-40MIN后，“PUMP DOWN/AUTO STOP”中“WARM UP”燈亮，在PLC“EXHUST CONTROL”（抽氣控制）中模式為“AUTO”，按“CHAMBER VENT”（室體充氣）按鈕，對(duì)真空室充氣，充氣完畢，真空室門(mén)開(kāi)。,,二 鍍膜

27、1、打掃真空室：用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將電子槍坩鍋及四周、觀察窗等打掃干凈，并更換電子槍坩堝蓋板和擋板。2、檢查晶片壽命：在XTC/2顯示屏上按“1”按鈕，在界面右上角查看晶片壽命。若其值在5944KHZ以下，則應(yīng)考慮切換晶片。3、根據(jù)膜系要求裝填膜料，并與坩鍋號(hào)相對(duì)應(yīng)。當(dāng)PLC界面的“TOGGLE SWITCH”項(xiàng)中“DOME ROTATION”（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）處于“OFF”狀態(tài)時(shí)，可用遙控盒控制傘架旋轉(zhuǎn)。也可用于擋板開(kāi)閉

28、和坩鍋旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作。4、上基片架?；芪囱b鏡片部分應(yīng)蓋上盲板或貼上鋁箔，防止真空室頂部被污染。5、確定上述操作無(wú)誤后，關(guān)上真空室門(mén)。 6、進(jìn)入蒸鍍程序ACS，先在界面“PROCESS”項(xiàng)中點(diǎn)擊“SELECT”按鈕，在“DATA”文件中點(diǎn)擊“PROCESS”進(jìn)入程序單，雙擊所要蒸鍍的程序，在ACS界面中右下部分有機(jī)組泵及電子槍燈絲運(yùn)行時(shí)間記錄顯示每次必需注意是否有運(yùn)行時(shí)間到達(dá)需要維護(hù)的部位若有則應(yīng)進(jìn)行維護(hù)，若無(wú)則可點(diǎn)擊“START”

29、，進(jìn)入后，程序先開(kāi)始檢查電子槍和基片架的旋轉(zhuǎn)是否OK。若OK則開(kāi)始對(duì)燈絲預(yù)熔（若不是新?lián)Q的燈絲，可點(diǎn)擊“SKIP”跳過(guò)）。上述動(dòng)作完成后，開(kāi)始進(jìn)入等待真空度和溫度到達(dá)工藝設(shè)定值的界面，到達(dá)后，進(jìn)入自動(dòng)蒸鍍階段。在蒸鍍過(guò)程中應(yīng)觀察電子槍束斑位置及面積并隨時(shí)調(diào)整使其處于中心位置，注意氧氣減壓閥進(jìn)出氧壓高壓低于0.5MPa則應(yīng)更換氣瓶，低壓應(yīng)控制在0.03~0.04MPa之間，蒸鍍過(guò)程中應(yīng)注意蒸發(fā)速率若速率有較大波動(dòng)則停止，切換晶片后可繼續(xù)鍍

30、膜。若晶片已用完則應(yīng)中止蒸鍍充氣更換晶片,,三 關(guān)機(jī)：7、蒸鍍完畢后，按工藝要求進(jìn)行冷卻處理，自動(dòng)充氣，開(kāi)門(mén)。1、在PLC界面“EXHUST CONTEOL”項(xiàng)中按“CHAMBER EXHUST”對(duì)真空室抽氣，在“TOGGLE SWITCH”項(xiàng)中，讓各水閥處于“MANUAL”狀態(tài)，“DOME HEATER”（旋轉(zhuǎn)架加熱），“DOME ROTATION”（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）和POLYCOLD處于“OFF”狀態(tài)，2、關(guān)閉電子槍控制柜電源。

31、3、關(guān)閉POLYCOLD的閥門(mén)開(kāi)關(guān)和電源。4、在PLC的“PUMP DOWN/AUTO STOP”項(xiàng)中按“AUTO STOP”閃爍30秒后進(jìn)入確認(rèn)關(guān)機(jī)狀態(tài)。90分鐘后真空系統(tǒng)各閥門(mén)及機(jī)械泵，羅茲泵，擴(kuò)散泵等將自動(dòng)關(guān)閉。5、關(guān)閉XTC/2.電腦和顯示器。6、按控制面板上“MAIN POWER”的“OFF”按鈕。7、打開(kāi)控制柜，先關(guān)閉UPS電源，再關(guān)閉控制柜總電源。8、關(guān)閉氣動(dòng)氣源閥門(mén)。9、先關(guān)閉冷水機(jī)的泵和壓縮機(jī)，再關(guān)閉冷水

32、機(jī)電源。10、關(guān)閉配電箱，外部循環(huán)水。,ZZS-1300型鍍膜機(jī)（南光）作業(yè)手順書(shū),一、開(kāi)機(jī)1、打開(kāi)總電源。2、打開(kāi)進(jìn)水閥。3、打開(kāi)進(jìn)氣閥門(mén)（進(jìn)水閥旁）。4、打開(kāi)電控柜上方進(jìn)氣閥門(mén)。5、確定已有外部循環(huán)水，打開(kāi)冷水機(jī)水泵開(kāi)關(guān)（既電源開(kāi)關(guān)）。6、再開(kāi)冷水機(jī)壓縮機(jī)開(kāi)關(guān)。7、打開(kāi)電控柜內(nèi)電源開(kāi)關(guān)。8、將電控柜面板處晶控儀打開(kāi)。9、檢查水、電、氣是否就緒，然后將電控柜下方機(jī)組狀態(tài)旋鈕旋為自動(dòng)，按綠色“開(kāi)機(jī)”按鈕，機(jī)組維持泵

33、、擴(kuò)散泵加熱器、維持泵相繼打開(kāi)，機(jī)組開(kāi)始加熱，加熱80分鐘后，機(jī)組可正常工作。10、按綠色“取件”按鈕，三聲警報(bào)后，充氣閥打開(kāi)，對(duì)機(jī)組充氣，幾分鐘后，真空室門(mén)開(kāi)。,,二、鍍膜1、用銅絲刷、三角刮刀、吸塵器對(duì)坩堝及坩堝周圍進(jìn)行打掃，將電子槍擋板送噴砂處理。護(hù)板等更換見(jiàn)《護(hù)板更換周期管理》。2、將坩堝襯套作噴砂處理后，用吸塵器將附著砂粒吸掉，并用酒精擦拭，加鍍制零件所需膜料，并將襯套放入所對(duì)應(yīng)坩堝位置。3、查看電控柜上MDC360晶

34、控儀上晶片壽命值，若晶片壽命〈97，則更換晶片。4、確定上述操作無(wú)誤后，雙手提傘片把手，將備好零件放于真空室旋轉(zhuǎn)架上，并檢查傘片是否放到位，有無(wú)變形，所對(duì)應(yīng)比較片是否安放。5、上述過(guò)程完成后，關(guān)真空室門(mén)，確定電控柜上“室門(mén)”指示燈點(diǎn)亮后，說(shuō)明真空室門(mén)已關(guān)閉。6、按綠色“取件”按鈕，充氣閥關(guān)閉，按綠色“真空”按鈕，機(jī)組開(kāi)始抽真空。7、將旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)打到7轉(zhuǎn)/分。8、抽真空過(guò)程中，記錄機(jī)組各數(shù)據(jù)表。9、真空到8.0*10-3PA后

35、，可對(duì)膜料進(jìn)行手動(dòng)預(yù)熔。（附：手動(dòng)預(yù)熔操作）。10、在恒溫和設(shè)定真空度到達(dá)后，將旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)打到20轉(zhuǎn)/分。,,11、打開(kāi)質(zhì)量流量計(jì)開(kāi)關(guān)，調(diào)節(jié)進(jìn)氣量，根據(jù)各膜料充氧不同，維持不同真空度。12、打開(kāi)電子槍掃描控制電源。13、按綠色“燈絲“按鈕，調(diào)節(jié)“預(yù)置”按鈕，使燈絲電流為0.5A，電壓應(yīng)在40-50V間（如 電壓低于40V，考慮更換燈絲）。14、按手持遙控盒上“高壓”按鈕，打開(kāi)電子槍高壓。15、按MDC360晶控儀面板

36、上“START”按鈕，在程序單中選擇鍍制零件所需程序，再按“START”，開(kāi)始自動(dòng)鍍制。16、自動(dòng)鍍制開(kāi)始時(shí)，應(yīng)用手持遙控盒上X、Y位移、掃描幅度旋鈕調(diào)節(jié)光斑，使之處于膜料中心及相應(yīng)的掃描面積。17、鍍制過(guò)程中，應(yīng)監(jiān)視光斑變化，并注意電子槍燈絲電流、高壓、晶片值、充氧狀態(tài)等參數(shù)變化情況，如有異常，應(yīng)立即按MDC360晶控儀上“ABORT”按鈕，停止蒸鍍，根據(jù)情況做相應(yīng)處理。18、在鍍制MGF2膜料時(shí)，應(yīng)關(guān)閉充氧。19蒸鍍完畢，先

37、按手持遙控盒上“高壓”按鈕，關(guān)閉電子槍高壓。,,20、將X、Y掃描旋至0，關(guān)閉電子槍掃描電源。21、將“燈絲預(yù)置”旋至0，按“燈絲”按鈕，關(guān)閉電子槍燈絲電流。22、按MDC360晶控儀上“REST”按鈕，使晶控儀復(fù)位。23、將旋轉(zhuǎn)參數(shù)調(diào)節(jié)為7轉(zhuǎn)/分。24、按“鍍膜結(jié)束”按鈕，鍍后恒溫時(shí)間結(jié)束后，關(guān)閉烘烤，關(guān)烘烤后時(shí)間到達(dá)后，關(guān)機(jī)組高閥，進(jìn)入真空室冷卻階段。25、真空室內(nèi)溫度約為220℃后，按“取件”按鈕，三聲警報(bào)后，對(duì)真空室進(jìn)

38、行充氣，充氣完畢，真空室門(mén)開(kāi)（后繼作業(yè)開(kāi)始抽真空時(shí)，只需按“取件”按鈕即可），進(jìn)行取件作業(yè)。三、關(guān)機(jī)1、關(guān)真空室門(mén)，按“取件“按鈕”對(duì)真空室開(kāi)始抽氣，底真空信號(hào)亮后，按“真空”按鈕，機(jī)組停止抽氣，再按“開(kāi)始”按鈕，機(jī)組進(jìn)入擴(kuò)散泵冷卻階段，1小時(shí)后，維持泵、維持閥將自動(dòng)關(guān)閉。2、關(guān)閉電控柜面板上各儀器電源。3、關(guān)閉電控柜內(nèi)電源。4、關(guān)冷水機(jī)壓縮機(jī)，再關(guān)冷水機(jī)水泵。5、關(guān)電控柜上方進(jìn)氣閥，再關(guān)總進(jìn)氣閥。6、關(guān)進(jìn)水閥。7、關(guān)總

39、電源。,,附：手動(dòng)預(yù)熔操作1、真空度為8.0*10-3PA時(shí)，可進(jìn)入手動(dòng)預(yù)熔操作。2、將電子槍控制旋鈕調(diào)節(jié)到“手動(dòng)”狀態(tài)。3、打開(kāi)電子槍掃描電源。4、按“燈絲”按鈕，調(diào)節(jié)“燈絲預(yù)置”為0.5A。5、按手持遙控盒上“坩堝”按鈕，使坩堝轉(zhuǎn)到所要預(yù)熔膜料的位置。6、開(kāi)遙控盒上“高壓”按鈕。7、利用遙控盒上X、Y位移、掃描幅度調(diào)節(jié)旋鈕，控制光斑在膜料上做圓周運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)“束流”按鈕逐漸加大電子束流，對(duì)膜料進(jìn)行預(yù)熔。8、預(yù)熔完畢，依

40、次關(guān)閉電子槍高壓、燈絲預(yù)置、燈絲電流，并將控制旋鈕調(diào)節(jié)到“自動(dòng)”狀態(tài)。,APS-1104型鍍膜機(jī)（萊寶）作業(yè)手順書(shū),一、開(kāi)機(jī)：1、將3#、4#二個(gè)配電箱中的大空氣開(kāi)關(guān)分別合上；2、將壓縮空氣閥門(mén)打開(kāi)；3、將循環(huán)水出水閥打開(kāi)。4、再開(kāi)循環(huán)水進(jìn)水閥。5、打開(kāi)冷水機(jī)的電源開(kāi)關(guān)。6、打開(kāi)制冷開(kāi)關(guān)。7、打開(kāi)熱水機(jī)的電源開(kāi)關(guān)。8、打開(kāi)熱水機(jī)加熱開(kāi)關(guān)；(應(yīng)注意冷水機(jī)水箱中的水位，不夠要及時(shí)補(bǔ)充)9、將A1104機(jī)自備的配電箱上的電

41、源手柄合上（先將手柄順時(shí)針?lè)较驈摹?”位置旋至“○”，再逆時(shí)針?lè)较蛐痢啊保┤缦聢D所示；,10、開(kāi)氧氣瓶和氮?dú)馄块y門(mén)（高壓表>1MPa，低壓表0.1~0.2MPa）。11、先開(kāi)POLYCOLD電源開(kāi)關(guān)。12、再開(kāi)POLYCOLD壓縮機(jī)開(kāi)關(guān)。13、再打開(kāi)+K1控制柜最下電源開(kāi)關(guān)；14、此時(shí)+K2控制柜上的LEYCOM Ⅳ應(yīng)開(kāi)啟，待其啟動(dòng)完畢后會(huì)出現(xiàn)報(bào)警，此時(shí)按右邊參數(shù)鍵中左下角的“ACKN”鍵消除報(bào)警。15、再按一下其下

42、部功能鍵盤(pán)中的“MANUAL”鍵，再按下用紅色標(biāo)示的表示熱水的按鈕，（注意：此步驟若稍遲進(jìn)行，則會(huì)出現(xiàn)報(bào)警，此時(shí)只要消除報(bào)警聲后再進(jìn)行此步驟即可）。16、再按一下“RET”鍵返回；17、按下“VACUUM SELECT”鍵，再按下“HIGH”鍵，再按“RET”返回；18、按“ACT”+“0”，顯示當(dāng)前泵及閥狀態(tài)。此時(shí)機(jī)組進(jìn)入啟動(dòng)狀態(tài)，約40分鐘后啟動(dòng)完成，自動(dòng)進(jìn)入待命狀態(tài)。,,,,二、鍍膜：1、開(kāi)門(mén)：在功能鍵盤(pán)中按下“VACUU

43、M SELECT”鍵，再按下“VENT”鍵，真空室開(kāi)始充氣，待充氣完畢后將真空室門(mén)鎖由垂直方向順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)30°左右并拉動(dòng)真空室門(mén)手柄打開(kāi)真空室門(mén)。2、處理真空室：1、FBM01控制盒的使用：開(kāi)門(mén)后可用FBM01控制盒可控制：檔板的開(kāi)啟、坩堝、及工件架的旋轉(zhuǎn)。（對(duì)應(yīng)關(guān)系請(qǐng)參見(jiàn)附注）2、清掃真空室：打開(kāi)擋板，用銅絲刷、吸塵器、三角刮刀清潔電子槍（主要是坩堝）、擋板。裝填膜料：按FBM01控制盒上的“ROTATION CR

44、UCIBLE”鍵轉(zhuǎn)動(dòng)坩堝，注意LEYCOM Ⅳ上顯示的坩堝位置，參照下表在坩堝內(nèi)加入對(duì)應(yīng)的膜料，,3、確定執(zhí)行程序號(hào)：按參數(shù)鍵中“SETP.”+“8”，顯示出“PROCESS SELSECTION AUTOMATIC MODE”頁(yè)，查看“PROCESS No”項(xiàng)執(zhí)行程序號(hào)，按“↓”鍵可將光標(biāo)移該欄，輸入程序編號(hào)，按“ENTER”確認(rèn)，再按“HOME”使光標(biāo)回到首行。4、檢查晶控片壽命值：按參數(shù)鍵中“ACT”+“8”，檢查第二通道的“

45、XTAL LIFETIME”欄的值，若小于92%，則更換晶片，真空室中間位置的晶片夾，更換方法如同HVC1050或HVC1200機(jī)。新晶片的壽命值應(yīng)≥98%。5、必要時(shí)應(yīng)檢查程序的工藝數(shù)據(jù)：按功能鍵“SETP”+“7”，再按程序編號(hào)數(shù)，按“ENTER”可顯示要執(zhí)行程序的工藝數(shù)據(jù)，與工藝文件的數(shù)據(jù)對(duì)照，無(wú)誤，可往下執(zhí)行。否則，由主管工藝員檢查或修正。,,6、關(guān)門(mén)執(zhí)行程序：在完成了2-5項(xiàng)工作后，將真空室門(mén)關(guān)上，并將手把順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)至缺

46、口位置。將主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格顯示“AUTO”或“START”并按其下方的按鍵，即可進(jìn)入自動(dòng)控制狀態(tài)。若主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格未顯示“AUTO”或“START”，則按右邊第一個(gè)鍵“RET”或“ABOUT”換屏。7、待加熱到達(dá)預(yù)設(shè)溫度進(jìn)入恒溫狀態(tài)時(shí)，打開(kāi)離子源進(jìn)氣開(kāi)關(guān)（開(kāi)關(guān)向右拔）；調(diào)節(jié)流量控制器使進(jìn)氣量控制在20sccm；,8、關(guān)門(mén)執(zhí)行程序：在完成了2-5項(xiàng)工作后，將真空室門(mén)關(guān)上，并將手把順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)至缺口位置。將主屏下排圖標(biāo)左

47、邊第一方格顯示“AUTO”或“START”并按其下方的按鍵，即可進(jìn)入自動(dòng)控制狀態(tài)。若主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格未顯示“AUTO”或“START”，則按右邊第一個(gè)鍵“RET”或“ABOUT”換屏。9、待加熱到達(dá)預(yù)設(shè)溫度進(jìn)入恒溫狀態(tài)時(shí)，打開(kāi)離子源進(jìn)氣開(kāi)關(guān)（開(kāi)關(guān)向右拔）；調(diào)節(jié)流量控制器使進(jìn)氣量控制在20sccm；,,三、鍍膜過(guò)程監(jiān)視：1、參數(shù)鍵區(qū)“ACT”+“0”，顯示真空泵及各真空閥門(mén)的工作情況；2、參數(shù)鍵區(qū)“ACT”+“1”，綠線顯示

48、真空室真空度，紅線顯示真空室溫度；3、參數(shù)鍵區(qū)“ACT”+“3”，綠線顯示蒸鍍速率，紅線顯示蒸鍍功率；主顯示屏首行顯示內(nèi)容：（見(jiàn)附件中對(duì)照表）開(kāi)機(jī)初始至高閥打開(kāi)，可顯示真空泵及各真空閥門(mén)的工作情況。高閥打開(kāi)至開(kāi)始蒸鍍，可顯示真空室真空度及顯示真空室溫度。開(kāi)始蒸鍍至蒸鍍完畢，可顯示蒸鍍速率及蒸鍍功率。蒸鍍完畢至開(kāi)門(mén)，可顯示真空泵及各真空閥門(mén)的工作情況。四、關(guān)機(jī)：1、關(guān)門(mén)：將門(mén)關(guān)上，并將門(mén)鎖順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)將門(mén)鎖上，若前次是自

49、動(dòng)開(kāi)門(mén)則可跳過(guò)2步；2、在功能鍵盤(pán)中按下“VACUUM SELECT”鍵，再按下“VENT”鍵使之消去黃色；3、真空室開(kāi)始抽氣，待高閥打開(kāi)5分鐘后，功能鍵盤(pán)中按下“VACUUM SELECT”鍵，出現(xiàn)“HIGH”鍵按下此鍵使之消去黃色，此時(shí)高閥關(guān)閉隨后擴(kuò)散泵關(guān)閉，機(jī)械泵、羅茨泵繼續(xù)工作直至擴(kuò)散泵油溫降至100℃以下（擴(kuò)散泵中溫度計(jì)顯示油溫）自動(dòng)停止工作；4、機(jī)械泵、羅茨泵停止后關(guān)冷凍機(jī)（POLYCOLD），先關(guān)壓縮機(jī)開(kāi)關(guān)，再關(guān)電源

50、開(kāi)關(guān)。(參見(jiàn)附圖)5、按下紅色制動(dòng)鈕，停機(jī)。再將此鈕拉出，再關(guān)閉+K2控制柜最下的UPS電源開(kāi)關(guān)（按住“○”鍵二秒鐘）。6、關(guān)氧氣瓶閥門(mén)。7、關(guān)電源箱總電源。8、關(guān)冷水機(jī)外部循環(huán)水。關(guān)氣源。,HVC1050A鍍膜機(jī)操作手順書(shū),一、開(kāi)機(jī)1、打開(kāi)電源箱總電源；2、打開(kāi)冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門(mén)；(先開(kāi)出水，后開(kāi)進(jìn)水)3、打開(kāi)氣動(dòng)氣源閥門(mén)（或氣泵電源）；4、按紅色“CONTROL POWER”按鈕；5、按“IC/5”晶控儀白色

51、“ON”按鈕，打開(kāi)晶控儀；6、待控制電腦自動(dòng)完成啟動(dòng)；復(fù)合真空計(jì)工作正常，啟動(dòng)黃色“START”按鈕，機(jī)組自動(dòng)開(kāi)啟機(jī)械泵(RP)、羅茨泵(MBP)、擴(kuò)散泵(DP1/DP2)，DP1/DP2燈閃爍，表示擴(kuò)散泵處于加熱中，DP1/DP2燈穩(wěn)定時(shí)，表示擴(kuò)散泵油溫度到達(dá)，可以打開(kāi)高閥。(通常需50分鐘)7、打開(kāi)電子槍控制柜電源；8、若有鍍需充氧的膜料，則打開(kāi)氧氣瓶閥門(mén)。9、按黃色“START”按鈕，待“RV”預(yù)抽閥燈閃爍，再按黃色“ST

52、ART”按鈕“RV”關(guān)閉“FV1/FV2”前級(jí)閥打開(kāi)，過(guò)若干分鐘（根據(jù)設(shè)置）“LV”充氣閥打開(kāi)。充氣完畢，真空室門(mén)打開(kāi)。,,二、鍍膜1、打掃真空室：用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將電子槍外露部分、坩堝及四周、護(hù)板及觀察窗等打掃干凈，換上干凈擋板。2、檢查晶片壽命及活性值，在“IC/5”晶控儀的主顯示屏狀態(tài)，按“F2”鍵，一般只檢查第一通道“LIFE”值＞3或4，“ACT”值＜420，應(yīng)考慮換晶片，新晶片的“LIFE”值為0，“ACT

53、”值≥440，可認(rèn)為OK。否則再次清潔晶片的座、架、片等，或換過(guò)晶片。3、按膜系要求裝填膜料，對(duì)一般減反膜，主要膜料有：TIO2（5#）、ZRO2（1#）、MGF2（3#）、AL2O3（2#）；（A#為坩堝號(hào)）。旋轉(zhuǎn)坩堝用遙控盒的“POCKET CCW”和“POCKET 1STEP”紅色按鈕。對(duì)IR-CUT膜用TIO2（5#、6#）、SIO2（1#、2#、3#、4#）。4、當(dāng)裝有TIO2膜料而且高于旋轉(zhuǎn)平面時(shí)，該膜料需要鍍前手工預(yù)熔

54、，在真空室關(guān)門(mén)前將該坩堝定位在蒸發(fā)位上，并將電子槍“自動(dòng)”狀態(tài)關(guān)閉，開(kāi)關(guān)撥至“INT”。防止關(guān)門(mén)時(shí)坩堝自行轉(zhuǎn)動(dòng)，卡死膜料。而后關(guān)閉擋板。5、按《常用程序表》對(duì)照所鍍鏡片零件號(hào)，輸入程序編號(hào)。,,6、雙手提基片架把手，將基片架準(zhǔn)確放入旋轉(zhuǎn)架上卡槽內(nèi)。基片架上未裝鏡片的空位應(yīng)堵或蒙上（鋁箔），防止真空室頂部污染。7、上述事項(xiàng)完成并確定無(wú)誤后，關(guān)上真空室門(mén)。8、按黃色“START”按鈕，機(jī)組進(jìn)入抽真空、加熱狀態(tài)。9、在真空度達(dá)5*10

55、-5TORR以上可手動(dòng)預(yù)熔膜料，僅TIO2一種膜料需手動(dòng)預(yù)熔，而且預(yù)熔TIO2應(yīng)充氧。預(yù)熔完畢，將機(jī)組置于自動(dòng)控制狀態(tài)。（附1：手動(dòng)預(yù)熔操作）10、當(dāng)機(jī)組真空、溫度等滿足蒸發(fā)條件時(shí)，自動(dòng)開(kāi)始蒸鍍。應(yīng)注意觀察調(diào)整電子槍束斑位置及面積，注意觀察料面情況，并觀察控制柜面板上響應(yīng)參數(shù)，若有異常應(yīng)調(diào)整或暫停、中止。11、蒸鍍完閉按各膜系要求作鍍后烘烤、延時(shí)處理。自動(dòng)充氣、開(kāi)門(mén)。卸下基片架。,,關(guān)機(jī)1、關(guān)門(mén)，按黃色“START”按鈕。2、待

56、真空計(jì)的“A1、B2”區(qū)泛白，按紅色“POWER OFF”鍵，機(jī)組自動(dòng)將“DPI、DP2”關(guān)閉。3、手動(dòng)關(guān)閉電腦。4、關(guān)閉“IC/5”晶控儀。5、關(guān)閉電子槍控制柜電源；120分鐘后自動(dòng)將羅茨泵、機(jī)械泵及機(jī)組電源關(guān)閉。6、關(guān)閉冷水機(jī)及外部循環(huán)水。7、關(guān)閉氣源（或氣泵）。8、關(guān)閉氧氣瓶閥門(mén)。9、關(guān)閉電源箱總電源。,,附：手動(dòng)預(yù)熔1、在鍍制TIO2之類高熔點(diǎn)膜料前，需對(duì)該類膜料進(jìn)行手動(dòng)預(yù)熔，操作步驟如下：2、把電子槍開(kāi)關(guān)撥至

57、“IHT”。3、打開(kāi)電腦程序上的“蒸發(fā)源”界面，點(diǎn)擊上面的“自動(dòng)操作”，由橙色變?yōu)榘咨?、再打開(kāi)“蒸鍍參數(shù)”界面，將“APC SETUP”打開(kāi)，選擇對(duì)應(yīng)的充氧通道，點(diǎn)擊“APC Intermal”。5、按電子槍控制電源面板上的“ACC ON”按鈕，打開(kāi)電子槍高壓。6、再按“FILAMENT ON”按鈕，燈絲通電流。7、調(diào)節(jié)電子槍X、Y方向的“SCAN”（面積）旋鈕，使數(shù)值為4。8、利用遙控盒，調(diào)節(jié)光斑位移（POINT）旋鈕

58、，使光斑在膜料上作圓周運(yùn)動(dòng)，并慢慢將束流加至400mA。9、預(yù)熔完畢后，點(diǎn)擊電腦程序上充氧界面的“Extemal(for pc)”,關(guān)閉充氧，再點(diǎn)OK。10、按電子槍控制電源面板上“Acc、Fil Off 按鈕，關(guān)閉電子槍。11、將電子槍開(kāi)關(guān)撥至“EXT”。12、打開(kāi)電腦程序上“蒸發(fā)源”界面，點(diǎn)擊“自動(dòng)操作”，由白色變?yōu)槌壬?ZZSX-800型鍍膜機(jī)（北儀）作業(yè)手順書(shū),一、目的和適用范圍本指導(dǎo)卡規(guī)定了使用ZZSX-800

59、型鍍膜機(jī)鍍制多層膜的操作方法及過(guò)程控制，確保所加工的產(chǎn)品滿足要求、品質(zhì)得到控制。適用范圍：光學(xué)元件事業(yè)本部ZZSX-800型鍍膜機(jī)操作。二、開(kāi)機(jī)流程 ：1、開(kāi)電源、氣源、水源。2、開(kāi)機(jī)組電源、開(kāi)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。3、開(kāi)充氣閥、開(kāi)門(mén)。4、處理真空室（清潔等），關(guān)門(mén)、開(kāi)機(jī)械泵、開(kāi)預(yù)抽閥。5、測(cè)低真空，開(kāi)羅茨泵、關(guān)預(yù)抽閥、開(kāi)前級(jí)閥、開(kāi)高閥。6、開(kāi)烘烤、工件旋轉(zhuǎn)。7、測(cè)高真空、開(kāi)膜厚儀。8、預(yù)熔膜料、并按膜系蒸鍍。9、關(guān)烘烤、

60、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)膜厚儀。10、關(guān)真空測(cè)量、關(guān)高閥，關(guān)羅茨泵、關(guān)前級(jí)閥、關(guān)機(jī)械泵。11、降溫、充氣、開(kāi)門(mén)、取工件。,,三、關(guān)機(jī)1、關(guān)擴(kuò)散泵，2、等120分鐘，停機(jī)、停水、停電、停氣。四、鍍膜前準(zhǔn)備.1、按有關(guān)膜系技術(shù)工藝文件要求，作膜料、基片、晶控儀、晶片、真空室布置、基片上傘等準(zhǔn)備工作。4.2、晶片：由于晶片本身品質(zhì)有差異，晶控儀穩(wěn)定性不理想，無(wú)法定出晶片的使用周期。操作中一經(jīng)發(fā)現(xiàn)晶控儀顯示有失常時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換晶片；或?qū)⒕断?/p>

61、擦拭一下并清潔探頭各觸點(diǎn)，保持良好接觸。防止蒸鍍中因失控造成鍍膜失敗五、膜層厚度控制本卡規(guī)定用晶控儀控制膜厚。 各層膜的控制數(shù)據(jù)以及修正方法按相關(guān)膜系技術(shù)文件的規(guī)定執(zhí)行。六、操作步驟與注意事項(xiàng) .1、接通水源、氣源、電源，打開(kāi)機(jī)器總電源。6.2、開(kāi)維持泵、擴(kuò)散泵。 *因擴(kuò)散泵有預(yù)熱時(shí)間，可在擴(kuò)散泵開(kāi)啟45分鐘后進(jìn)行下一步操作。,,開(kāi)充氣閥、開(kāi)門(mén)、關(guān)充氣閥。6.4、處理真空室： a、用吸塵器及銅絲刷、紗

62、布、乙醇乙醚混合液清潔真空室，重點(diǎn)是檔板、槍體、坩堝等。 b、更換、添加膜料。 c、檢查、更換晶片。 d、安置鏡片架、注意裝夾安全可靠。 e、按技術(shù)文件規(guī)定作真空室其它處理，以及晶控儀數(shù)據(jù)設(shè)定或調(diào)整。 f、修正補(bǔ)償板位置的確認(rèn)或更換。g、若使用電阻蒸發(fā)舟時(shí)，應(yīng)緊固二端連接。當(dāng)蒸發(fā)舟使用50次、層膜或變形時(shí)應(yīng)及時(shí)更換，新?lián)Q上的蒸發(fā)舟應(yīng)先處理干凈，并在真空狀態(tài)下空載。通電讓其發(fā)紅熱處理。經(jīng)上述處理的

63、鉬舟即可投入使用。*ZZSX×800機(jī)鉬舟尺寸20×20×4mm（或成型蒸發(fā)舟）6.5、關(guān)門(mén)、開(kāi)機(jī)械泵、開(kāi)預(yù)抽閥。6.6、開(kāi)低真空測(cè)量在達(dá)到400Pa左右的真空度時(shí)開(kāi)啟羅茨泵。6.7、在擴(kuò)散泵工作1小時(shí)以上，自動(dòng)壓強(qiáng)儀真空度≤1.3×101Pa時(shí)，關(guān)預(yù)抽閥、開(kāi)前級(jí)閥、開(kāi)高閥。6.8、開(kāi)烘烤，烘烤溫度設(shè)定為300℃。工件慢轉(zhuǎn)動(dòng)。（30V）6.9、開(kāi)晶控儀，開(kāi)電子槍電源。6.10、在真空室

64、真空度達(dá)技術(shù)文件規(guī)定值（一般在5~6×10-3Pa）、烘烤溫度達(dá)設(shè)定值20分鐘以上，預(yù)熔膜料，工件旋轉(zhuǎn)加快。（80V）,,6.11、按膜系要求以及技術(shù)文件規(guī)定逐層蒸鍍。6.12、關(guān)烘烤、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)真空測(cè)量、關(guān)高閥、關(guān)晶控儀。6.13、關(guān)前級(jí)閥、關(guān)羅茨泵，并在羅茨泵停穩(wěn)后關(guān)機(jī)械泵。6.14、若不再繼續(xù)蒸鍍，則關(guān)上擴(kuò)散泵，否則擴(kuò)散泵不停。6.15、真空室降溫至規(guī)定值時(shí)（270℃左右），開(kāi)充氣閥、開(kāi)門(mén)、關(guān)充氣閥。6.16、

65、取出鏡片。6.17、若繼續(xù)操作，則重復(fù)6.4—6.16步驟操作。6.18、關(guān)門(mén)、開(kāi)機(jī)械泵、開(kāi)預(yù)抽閥約15分鐘左右可關(guān)預(yù)抽閥、關(guān)機(jī)械泵。6.19、停維持泵、停機(jī)組電源，停電、停氣。6.20、在擴(kuò)散泵停止工作2小時(shí)以后，停水。（因循環(huán)水管道已改為金屬管道，且為了縮短開(kāi)機(jī)員工作時(shí)間，允許晚班不停水直接下班。但如第二天為休息日，則開(kāi)機(jī)員應(yīng)在第二天上午到廠關(guān)閉循環(huán)水。）七、注意事項(xiàng)：7.1、真空室內(nèi)嚴(yán)禁任何油污染，任何油類物品及含油類

66、的物品、工具、紗布進(jìn)入。7.2、機(jī)組在蒸鍍了30罩左右（紅膜）或累計(jì)200層膜左右時(shí)，必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。7.3、機(jī)組在冷鍍過(guò)鏡片后，無(wú)論真空室部件是否干凈，都必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。,,7.4、保持機(jī)組正常工作，一旦有異常應(yīng)停機(jī)，排除故障后再啟動(dòng)。7.5、烘烤燈管兩頭的管腳緊固螺絲每個(gè)星期一全部緊一遍，避免接觸不良產(chǎn)生打火。 7.6、機(jī)組一旦停電，應(yīng)切斷總電源及各按鈕，來(lái)電后逐步啟動(dòng)。7.7、機(jī)組—旦停水，應(yīng)切斷

67、擴(kuò)散泵，停止正常蒸鍍操作，關(guān)閉烘烤，約10分鐘后若仍停水則用備用水冷卻擴(kuò)散泵。7.8、應(yīng)隨時(shí)注意循環(huán)冷卻水供給情況。7.9、執(zhí)行技術(shù)文件規(guī)定的其他事項(xiàng)。7.10、根據(jù)專用工作記錄表，做好各罩記錄。 記錄表應(yīng)記錄下列內(nèi)容：蒸鍍起止時(shí)間、膜系名稱、晶片壽命、工具因子值、設(shè)定基片溫度、蒸鍍時(shí)真空度、關(guān)門(mén)至開(kāi)門(mén)時(shí)間、零件名稱、鍍件數(shù)量等。車間可結(jié)合生產(chǎn)記錄設(shè)計(jì)表格，報(bào)工程科審核后投入使用。7.11、做好機(jī)組異常情況、故障及維修記

68、錄。（專用記錄本，保存10年。）記錄內(nèi)容包括：異常情況、故障發(fā)生及排除日期、時(shí)間；異常情況及故障現(xiàn)象；自我分析；實(shí)際維修、排除記錄及說(shuō)明；作業(yè)員、維修員簽名。,HVC1200A鍍膜機(jī)操作手順書(shū),一、開(kāi)機(jī)1、打開(kāi)電源箱總電源；2、打開(kāi)冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門(mén)；(先開(kāi)出水，后開(kāi)進(jìn)水)3、打開(kāi)氣動(dòng)氣源閥門(mén)（或氣泵電源）；4、打開(kāi)機(jī)組電源，按紅色“CONTROL POWER”按鈕；5、啟動(dòng)黃色“START”按鈕，機(jī)組自動(dòng)開(kāi)啟機(jī)械泵(RP