QCM氣體傳感器的研究及其在安全檢測(cè)中的應(yīng)用.pdf

1、石英晶體微天平（Quartz Crystal Microbalance，QCM）氣體傳感器以壓電石英晶片對(duì)質(zhì)量的敏感性為基礎(chǔ)，利用修飾在石英晶片表面的敏感膜捕捉待測(cè)氣體，在薄膜吸附待測(cè)氣體后通過(guò)測(cè)量石英晶體頻率的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)氣體的檢測(cè)。由于具有靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可以在常溫下使用等優(yōu)點(diǎn)，QCM氣體傳感器很好的彌補(bǔ)了傳統(tǒng)氣體傳感器的不足，作為一種新型的氣體檢測(cè)儀器，近幾年得到了很快的發(fā)展。
　　 本文以作業(yè)場(chǎng)所空氣質(zhì)量問(wèn)題為研

2、究的出發(fā)點(diǎn)，以壓電石英晶體作為為傳感器件，在其表面修飾不同的材料作為敏感薄膜，對(duì)不同涂膜方法進(jìn)行了比較，總結(jié)了敏感薄膜的制備工藝。以甲苯作為目標(biāo)檢測(cè)氣體，乙醇、正己烷作為干擾氣體，用不同濃度的甲苯、乙醇和正己烷待測(cè)氣體分別對(duì)不同種類(lèi)的敏感膜進(jìn)行測(cè)試，利用課題組自主編制的基于LabVIEW平臺(tái)的石英晶體微天平氣體傳感器頻率測(cè)試程序?qū)y(cè)試結(jié)果進(jìn)行記錄。通過(guò)對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)二氧化鈦敏感薄膜對(duì)甲苯的響應(yīng)情況較好，從敏感膜對(duì)甲苯的響應(yīng)-恢