半導體生產(chǎn)線多批處理機流水車間調度方法研究.pdf

1、分類號——UDC密級——學校代碼!Q壘窆2武多凄理歹大署學位論文題目主昱堡生芒繕量墊叢墨扭速坐圭閨調廛壅溘盟窺英文R曼墨曼gI絲h曼墨Q塾塵曼S堡h曼亟墜!i壁g叁焦星魚Q亟墨／、，’———————————————————————————————————————————r—————————一一題ofFlowShopofBatchProcessingMachine——一墨曼堡!堡Qn血曼!Q!壘叢壘鯉主壘魚地Ⅱ塾g墜!塾曼__l_____

2、___●______—————____l_—_l——————●_____——————————————————————一一研究生姓名至超一指導教師姓名—重焦旦L職稱—型絲撞一學位—盟二單位名稱自動垡鱟瞳郵編壘三QQ2Q申請學位級別亟學科專業(yè)名稱墊三壟逾魚塹墊盔論文提交日期學位授予單位答辯委員會主201104——論文答辯日期2Q!!：Q2011年04月武漢理工大學碩士學位論文摘要隨著全球經(jīng)濟的快速發(fā)展，用戶對產(chǎn)品要求變化速度越來越快，多品種

3、，小批量生產(chǎn)越來越普遍，這種生產(chǎn)方式使得生產(chǎn)環(huán)境越來越復雜。如何降低生產(chǎn)成本、提高生產(chǎn)效率和簡化流程對于企業(yè)來說至關重要，要使生產(chǎn)效率能夠有較大的提升，根據(jù)經(jīng)驗的管理模式很難有所提高，只能在其他方面尋找突破，即有效的生產(chǎn)調度。隨著在生產(chǎn)過程中的逐步應用，生產(chǎn)調度技術對于企業(yè)生存與發(fā)展越來越重要。在半導體制造系統(tǒng)中，設備一般都很昂貴，一臺設備不止加工固定工藝流程中的某一道工序，而是工藝流程中大量存在相同工序重復訪問同一臺機器。如何合理分配

4、和利用系統(tǒng)中有限的設備和資源，這正是其調度的目的。本文基于集成的方法把批處理機調度問題的兩個子問題：工件分批和批調度，作為整體進行研究，提出了幾種有效的調度算法，并通過仿真實驗驗證了算法的各項性能指標。首先利用禁忌搜索來研究了多批處理機流水車間調度問題以最小化最大完成時間，利用啟發(fā)式方法給定初始解，根據(jù)加工容量進行分批，并通過NEH對批次進行批調度。然后，通過互換方式獲得新的鄰域解，并決定是否接受新解。并和其他算法比較。計算結果驗證了禁

5、忌搜索在批處理調度方面具有良好的搜索性能。其次針對目標函數(shù)為延遲時間的多批處理機流水車間調度問題進行研究。提出了一種有效的鄰域搜索算法，通過工件互換和批互換直接得到了兩個子問題的解。首先通過鄰域搜索產(chǎn)生初始解，然后運用兩種鄰域操作來獲得調度問題的解。通過仿真實驗測試，計算結果顯示針對多批處理機流水車間調度問題的求解該算法性能優(yōu)越。最后研究了多目標批處理機流水車間調度問題，集合了上述研究的兩個目標函數(shù)：延遲時間和最大完成時間。利用獲得的非