不確定環(huán)境下半導(dǎo)體生產(chǎn)線關(guān)鍵參數(shù)預(yù)測與調(diào)度方法研究.pdf

1、隨著信息技術(shù)與產(chǎn)業(yè)在經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展中的地位日益加強(qiáng)及“互聯(lián)網(wǎng)+”理念在各行業(yè)生態(tài)中的普及，使作為信息基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的半導(dǎo)體制造業(yè)顯得尤為重要。而半導(dǎo)體生產(chǎn)線存在諸多不確定的動態(tài)生產(chǎn)因素，在需求快速變化及市場競爭加劇的背景下，如何有效提升調(diào)度算法柔性已成為亟待解決的問題。瓶頸設(shè)備和工件加工周期等參數(shù)是影響調(diào)度算法性能的關(guān)鍵因子，目前現(xiàn)有識別和預(yù)測方法均難以適應(yīng)動態(tài)生產(chǎn)環(huán)境。因此，本課題針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線動態(tài)特性，以瓶頸設(shè)備為核心，重點研究瓶頸和工件

2、加工周期的預(yù)測及動態(tài)調(diào)度方法設(shè)計問題，為解決半導(dǎo)體生產(chǎn)線調(diào)度優(yōu)化提供新思路。本文具體研究內(nèi)容如下:
　　1、針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線中不確定因素所帶來的動態(tài)特性及其導(dǎo)致的以瓶頸設(shè)備控制為核心的調(diào)度算法缺乏柔性問題，研究一種基于傅立葉變換的敏感度分析方法以優(yōu)化神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型結(jié)構(gòu)來預(yù)測瓶頸，使得模型能夠自動調(diào)整適應(yīng)動態(tài)生產(chǎn)環(huán)境，并結(jié)合預(yù)測結(jié)果利用單因子分析方法研究瓶頸設(shè)備漂移趨勢。
　　2、針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線海量的冗余生產(chǎn)數(shù)據(jù)及制造企業(yè)準(zhǔn)時