微電子廠反滲透濃水回收利用研究.pdf

1、在微電子生產(chǎn)廠商的生產(chǎn)工藝中，以城市自來(lái)水為原水的反滲透/去離子(RO/DI)超純水已經(jīng)成為一種消耗量極大的重要的原材料。由于用水成本已成為微電子生產(chǎn)廠商生產(chǎn)成本控制的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，故須考慮將每天產(chǎn)生的大量的且絕大部分都是未加任何處理而直接排放的反滲透濃水進(jìn)行回收利用。
　　 本研究課題通過(guò)對(duì)該微電子廠商反滲透濃水中污染物進(jìn)行檢測(cè)分析，以及對(duì)不同類型的反滲透濃水回流阻垢藥劑的性能進(jìn)行對(duì)比測(cè)試，并通過(guò)梯度膜試驗(yàn)與濃水回流試驗(yàn)，進(jìn)而

2、提出該企業(yè)反滲透濃水回收利用的實(shí)用技術(shù)與最佳工藝流程參數(shù)，最終達(dá)到節(jié)約企業(yè)用水成本與減少水體環(huán)境污染的根本目的。經(jīng)過(guò)一年多的試驗(yàn)得到以下結(jié)論：
　　 (1)當(dāng)梯度膜濃水回收利用試驗(yàn)裝置的反滲透膜梯級(jí)增加時(shí)，反滲透膜的初始?jí)勖杆傧陆?。在梯?jí)為二級(jí)時(shí)，反滲透膜的初始?jí)勖陆捣容^小，故具有較佳的技術(shù)經(jīng)濟(jì)表現(xiàn)。
　　 (2)對(duì)于二級(jí)梯度膜試驗(yàn)裝置，穩(wěn)定的運(yùn)行條件下，酸型阻垢劑與堿型阻垢劑兩者的作用基本相當(dāng)。在濃度約7.0 p

3、pm時(shí)，阻垢效果達(dá)到最佳；
　　 (3)對(duì)于二級(jí)梯度膜試驗(yàn)裝置，在不使用阻垢劑的運(yùn)行條件下，濃水最佳回流比為55％；在使用阻垢劑條件下，阻垢劑濃度約7.0 ppm時(shí)，濃水最佳回流比達(dá)到60％；此時(shí)，反滲透膜的初始?jí)勖陆捣容^小，故具有較佳的技術(shù)經(jīng)濟(jì)表現(xiàn)。
　　 (4)通過(guò)使用二級(jí)梯度膜試驗(yàn)裝置進(jìn)行反滲透濃水回收利用，在阻垢劑濃度約7.0ppm，濃水回流比60％條件下，該微電子廠商可每年節(jié)約用水成本約30萬(wàn)元，在年度節(jié)約