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1、靜電放電(ESD)及防護(hù)基礎(chǔ)知識術(shù)語及定義1.靜電:物體表面過?;虿蛔愕撵o止的電荷2.靜電場:靜電在其周圍形成的電場3靜電放電:兩個具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或靜電場感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移。靜電電場的能量達(dá)到一定程度后,擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象就是靜電放電。4.靜電敏感度:元器件所能承受的靜電放電電壓5.靜電敏感器件:對靜電放電敏感的器件6.接地:電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體,如大地,船等.7中和:利用異
2、性電荷使靜電消失8防靜電工作區(qū):配備各種防靜電設(shè)備和器材,能限制靜電電位,具有明確的區(qū)域界限和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場地二、靜電的產(chǎn)生:1.摩擦:在日常生活中,任何兩個不同材質(zhì)的物體接觸后再分離,即可產(chǎn)生靜電,而產(chǎn)生靜電的最普通方法,就是摩擦生電。材料的絕緣性越好,越容易是使用摩擦生電。另外,任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離,也能產(chǎn)生靜電;。2.感應(yīng):針對導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動,如將其置于一電場中,由于
3、同性相斥,異性相吸,正負(fù)離子就會轉(zhuǎn)移。3.傳導(dǎo):針對導(dǎo)電材料而言,因電子能在它的表面自由流動,如與帶電物體接觸,將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。三、靜電對電子工業(yè)的影響集成電路元器件的線路縮小,耐壓降低,線路面積減小,使得器件耐靜電沖擊能力的減弱,靜電電場(StaticElectricField)和靜電電流(ESDcurrent)成為這些高密度元器件的致命殺手。同時大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用,導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會大增。日常生活中如走動,空氣流動
4、,搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認(rèn)為只有CMOS類的晶片才對靜電敏感,實(shí)際上,集成度高的元器件電路都很敏感。A靜電對電子元件的影響A)靜電吸附灰塵,改變線路間的阻抗,影響產(chǎn)品的功能與壽命。B)因電場或電流破壞元件的絕緣或?qū)w,使元件不能工作(完全破壞)。C)因瞬間的電場或電流產(chǎn)生的熱,元件受傷,仍能工作,壽命受損。B、靜電損傷的特點(diǎn):1.隱蔽性人體不能直接感知靜電,除非發(fā)生靜電放電,但發(fā)生靜電放電,人體也不一定能有電擊的感覺。這是因?yàn)槿梭w
5、感知的靜電放電電壓為23KV。2.潛伏性有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒有明顯的下降,但多次累加放電會給器件造成內(nèi)傷而形成隱患,而且增加了器件對靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問題并無任何方法可治愈。3.隨機(jī)性電子元件什么情況下會遭受到靜電破壞呢?可以這么說,從一個元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的,及難預(yù)測和防護(hù)。4.復(fù)雜性靜電放電損傷分板工作,因電子產(chǎn)品的精
6、細(xì),微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時、費(fèi)事、費(fèi)錢,要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器,即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別,使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效,這是對靜電放電損害未充分認(rèn)識之前,常常歸咎于早期失效或情況不明的失效,從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。5.嚴(yán)重性ESD問題表面上看來只影響了制成品的用家,但實(shí)際上亦影響了各層次的制造商,如:保用費(fèi)、維修及公司的聲譽(yù)等等。四、ESD三種型式1.人體型式即指當(dāng)人
7、體活動時身體和衣服之間的摩擦產(chǎn)生摩擦電荷。當(dāng)人們手持ESD敏感的裝置而不先拽放電荷到地,摩擦電荷將會移向ESD敏感的裝置而造成損壞。2微電子器件帶電型式既指這些ESD敏感的裝置,尤其對朔料件,當(dāng)在自動化生產(chǎn)過程中,會產(chǎn)生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過低電阻的線路非常迅速地瀉放到高度導(dǎo)電的牢固接地表面,因此造成損壞;或者通過感應(yīng)使ESD敏感的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。3場感類型式即有強(qiáng)電場圍繞,這可能來之于塑性材料或人的衣服,會發(fā)生電子
8、轉(zhuǎn)化跨過氧化層。若電位差超過氧化層的介電常數(shù),側(cè)會產(chǎn)生電弧以破壞氧化層,其結(jié)果為短路。4其它還有:機(jī)器模式、場增強(qiáng)模型、人體金屬模型、電容耦合模型、懸浮器件模型。五、靜電防護(hù)1.接地接地就是直接將靜電過一條線的連接泄放到大地,這是防靜電措施中最直接最有效的,對于導(dǎo)體通常用接地的方法,峰焊接時,焊料和傳遞系統(tǒng)必須接地。B、在防靜電要求嚴(yán)格的場合,下列防靜電工藝要求也是常常需要的。1、凡ESD敏感型整機(jī)進(jìn)行高低溫試驗(yàn)或老化試驗(yàn)時,必須先對工
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