液晶面板制作工藝

1、一工藝流程簡(jiǎn)述：前段工位：ITO玻璃的投入（grading）——玻璃清洗與干燥（CLEANING）——涂光刻膠（PRCOAT）——前烘烤（PREBREAK）——曝光（DEVELOP）顯影（MAINCURE）——蝕刻（ETCHING）——去膜（STRIPCLEAN）——圖檢（INSP）——清洗干燥（CLEAN）——TOP涂布（TOPCOAT）——UV烘烤（UVCURE）——固化（MAINCURE）——清洗（CLEAN）——涂取向劑（PIP

2、RINT）——固化（MAINCURE）——清洗（CLEAN）——絲網(wǎng)印刷（SEALSHTPRINTING）——烘烤（CUPINGFURNACE）——噴襯墊料（SPACERSPRAY）——對(duì)位壓合（ASSEMBLY）——固化（SEALMAINCURING）1ITO圖形的蝕刻：（ITO玻璃的投入到圖檢完成）AITO玻璃的投入：根據(jù)產(chǎn)品的要求，選擇合適的ITO玻璃裝入傳遞籃具中，要求ITO玻璃的規(guī)格型號(hào)符合產(chǎn)品要求，切記ITO層面一定要向上插

3、入籃具中。B玻璃的清洗與干燥：將用清洗劑以及去離子水（DI水）等洗凈ITO玻璃，并用物理或者化學(xué)的方法將ITO表面的雜質(zhì)和油污洗凈，然后把水除去并干燥，保證下道工藝的加工質(zhì)量。C涂光刻膠：在ITO玻璃的導(dǎo)電層面上均勻涂上一層光刻膠，涂過(guò)光刻膠的玻璃要在一定的溫度下作預(yù)處理：（如下圖）D前烘：在一定的溫度下將涂有光刻膠的玻璃烘烤一段時(shí)間，以使光刻膠中的溶劑揮發(fā)，增加與玻璃表面的粘附性。E曝光：用紫外光（UV）通過(guò)預(yù)先制作好的電極圖形掩模版

4、照射光刻膠表面，使被照光刻膠層發(fā)生反應(yīng)，在涂有光刻膠的玻璃上覆蓋光刻掩模版在紫外燈下對(duì)光刻膠進(jìn)行選擇性曝光：（如圖所示）F顯影：用顯影液處理玻璃表面，將經(jīng)過(guò)光照分解的光刻膠層除去，保留未曝光部分的光刻膠層，用化學(xué)方法使受UV光照射部分的光刻膠溶于顯影液中，顯影后的玻璃要經(jīng)過(guò)一定的溫度的堅(jiān)膜處理G堅(jiān)膜：將玻璃再經(jīng)過(guò)一次高溫處理，使光刻膠更加堅(jiān)固。H刻蝕：用適當(dāng)?shù)乃峥桃簩o(wú)光刻膠覆蓋的ITO膜蝕掉，這樣就得到了所需要的ITO電極圖形，注：I

5、TO玻璃為（In2O3與SnO2）的導(dǎo)電玻璃，此易與酸發(fā)生反應(yīng)，而用于蝕刻掉多余的ITO，從而得到相應(yīng)的拉線(xiàn)電極。I去膜：用高濃度的堿液（NaOH溶液）作脫膜液，將玻璃上余下的光刻膠剝離掉，從而使ITO玻璃上形成與光刻掩模版完全一致的ITO圖形。（即按客戶(hù)要求進(jìn)行顯示的部分拉線(xiàn)蝕刻完成，如圖）J清洗干燥：用高純水沖洗余下的堿液和殘留的光刻膠以及其它的雜質(zhì)。2特殊制程：（TOP膜的涂布到固化后清洗）一般的TN與STN產(chǎn)品不要求此步驟，TO

6、P膜的涂布工藝是在光刻工藝之后再做一次SiO2的涂布，以此把刻蝕區(qū)與非刻蝕區(qū)之間的溝槽填平并把電極覆蓋住，這既可以起到絕緣層的作用，又能有效地消除非顯示狀態(tài)下的電極底影，還有助于改善視角特性等等，因此大部分的高檔次產(chǎn)品要求有TOP涂布。3取向涂布（涂取向劑到清洗完成）此步工藝為在蝕刻完成的ITO玻璃表面涂覆取向?qū)?，并用特定的方法?duì)限向?qū)舆M(jìn)行處理，以使液晶分子能夠在取向?qū)颖砻嫜靥囟ǖ姆较蛉∠颍ㄅ帕校?，此步驟是液晶顯示器生產(chǎn)的特有技術(shù)。A涂

7、取向劑：將有機(jī)高分子取向材料涂布在玻璃的表面，即采用選擇涂覆的方法，在ITO玻璃上2)要使玻璃基板鍍上金屬薄膜需先將金屬材料放在真空室內(nèi)讓金屬上面的特殊氣體產(chǎn)生電漿后金屬上的原子就會(huì)被撞向玻璃然后就形成一層層的金屬薄膜了.3)鍍完金屬膜后，我們還要鍍上一層不導(dǎo)電層與半導(dǎo)電層，在真空室內(nèi)，先將玻璃板加溫，然后由高壓電的噴灑器噴灑特殊氣體，讓電子與氣體產(chǎn)生電漿，經(jīng)過(guò)化學(xué)反應(yīng)后，玻璃上就形成了不導(dǎo)電層與半導(dǎo)體層。4)薄膜形成后，我們要在玻璃上

8、制作電晶體的圖案。首先，要進(jìn)入黃光室噴上感光極強(qiáng)的光阻液，然后套上光罩照射藍(lán)紫光進(jìn)行曝光，最后送到顯影區(qū)噴灑顯影液，這樣可以去除照光后的光阻，還可以讓光阻層定型哦。5)光阻定型后，我們可用蝕刻進(jìn)行濕式蝕刻，將沒(méi)有用的薄膜露出，也可用電漿的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行干式蝕刻，蝕刻后再將留下的光阻以溜液去除，最后就產(chǎn)生電晶體所需要的電路圖案了。6)要形成可用的薄膜電晶體，需要重復(fù)清洗，鍍膜，上光阻，曝光，顯影，蝕刻，去光阻等過(guò)程，一般來(lái)說(shuō)，要制造TFTL

9、CD，就要重復(fù)5到7次。2組立制程1)完成薄膜電晶體玻璃基板后，我們就要進(jìn)行液晶面板的組合了，液晶面板是由電晶體玻璃基板與彩色濾光片組合而成，首先，我們要先將玻璃洗干凈，再進(jìn)行下一個(gè)步驟。TFTLCD的整個(gè)制造過(guò)程都必須在無(wú)塵室內(nèi)，這樣才不會(huì)有雜質(zhì)在顯示器里面。2)彩色濾光片是以化學(xué)涂布的方式，在玻璃上形成紅、綠、藍(lán)的顏色，整齊排列后再覆蓋一層會(huì)導(dǎo)電的薄膜即完成。3)在整個(gè)組合的過(guò)程中，首先我們要為布滿(mǎn)電晶體的玻璃和彩色濾光片涂上一層化

10、學(xué)薄膜，然后再進(jìn)行配向的動(dòng)作。4)在組合二片玻璃板之前，我們要先平均布滿(mǎn)類(lèi)似球狀的隙子固定間隔，以免液晶面板組合后，二片玻璃向內(nèi)凹曲。通常液晶面板在組合時(shí)，會(huì)留下一個(gè)或二個(gè)缺口，以利后續(xù)灌入液晶，接著就以框膠及導(dǎo)電膠封在二片玻璃邊緣，如此就完成玻璃的組合了。5)封完邊框之后，就將液晶面板放到真空室，透過(guò)剛才預(yù)留的缺口把液晶面板的空氣抽掉，然后籍助大氣壓力灌入液晶，再將缺口封閉，而液晶是一種介于固體和液體之間的化合物質(zhì)，具有規(guī)則分子排列的

11、特性。6)最后再貼上二片垂直方向的偏光片，整片液晶面板即算完成。3)在整個(gè)組合的過(guò)程中，首先我們要為布滿(mǎn)電晶體的玻璃和彩色濾光片涂上一層化學(xué)薄膜，然后再進(jìn)行配向的動(dòng)作。4)在組合二片玻璃板之前，我們要先平均布滿(mǎn)類(lèi)似球狀的隙子固定間隔，以免液晶面板組合后，二片玻璃向內(nèi)凹曲。通常液晶面板在組合時(shí)，會(huì)留下一個(gè)或二個(gè)缺口，以利后續(xù)灌入液晶，接著就以框膠及導(dǎo)電膠封在二片玻璃邊緣，如此就完成玻璃的組合了。5)封完邊框之后，就將液晶面板放到真空室，透