【8a版】iso14644-3檢測方法

1、【MeiWei81優(yōu)質(zhì)實(shí)用版文檔】【MeiWei81優(yōu)質(zhì)實(shí)用版文檔】潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第3部分：…..檢測方法潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法部分：檢測方法目次前言引言1范圍2引用標(biāo)準(zhǔn)3術(shù)語與定義3.1概述3.2空氣懸浮粒子測量3.3空氣過濾器與系統(tǒng)3.4氣流3.5靜電測量3.6測量儀器與測量條件ISO146443第一版20XX1215ReferencenumberISO146443:20XX(E)國際標(biāo)

2、準(zhǔn)INTERNATIONALSTARDCopyrightInternationalganizationfStardizationProvidedbyIHSunderlicensewithISONoreproductionwkingpermittedwithoutlicensefromIHS【MeiWei81優(yōu)質(zhì)實(shí)用版文檔】【MeiWei81優(yōu)質(zhì)實(shí)用版文檔】引言潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境須將空氣懸浮粒子控制在合適的水平，以完成相關(guān)的、對污染敏感

3、的活動。下述行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均受益于對空氣懸浮污染物的控制：航天、微電子、制藥、醫(yī)療器械、食品和醫(yī)療。本部分ISO14644說明的檢測方法，可用于說明ISO14644其它部分中所述的潔凈室的特性。注：本部分ISO14644并未包括所有潔凈室參數(shù)的檢測方法。ISOTC209編制的其他文件中討論了有特定產(chǎn)品或工藝的潔凈室和潔凈區(qū)的其他參數(shù)進(jìn)行檢測時所使用的方法和儀器（例如ISO14698中對活物質(zhì)的控制和測量方法，ISO146444中的潔凈

4、室功能性檢測，ISO146447中的隔離裝置檢測）。此外還可以考慮其他的適用標(biāo)準(zhǔn)。本部分ISO14644中的陳述參照了ASTM，CEN，DIN，IEST，JACA，JIS和SEMI等標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法部分：檢測方法注意–本部分ISO14644的應(yīng)用可能涉及有害的材料、作業(yè)和設(shè)備。本部分ISO14644未提及所有與其使用有關(guān)的安全性問題。因此，使用本標(biāo)準(zhǔn)時，客戶應(yīng)負(fù)責(zé)制定適當(dāng)?shù)陌踩托l(wèi)生準(zhǔn)則，

5、及在使用前確定規(guī)程性限制的適用性。1范圍本部分ISO14644規(guī)定了指定級別的空氣懸浮微粒潔凈度的檢測方法和測定潔凈室和潔凈區(qū)性能特性的檢測方法。這種特性檢測可用在3種狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)）下的、單向流和非單向流這兩種類型的潔凈室和潔凈區(qū)。檢測方法中有檢測儀器和檢測方法方面的建議。如果潔凈室和潔凈區(qū)的類型影響到檢測方法，則有其他檢測方法的建議。其中的某些檢測，則建議了幾種不同的方法和儀器，以便適合于不同的最終使用要求。如果客戶與建造商

6、一致同意的話，可以使用本部分的ISO14644中未包括的方法。替代方法不一定會提供等效的測量結(jié)果。本部分ISO14644不適用對潔凈室或隔離裝置內(nèi)產(chǎn)品或工藝進(jìn)行的測量。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列引用標(biāo)準(zhǔn)對本文件的使用是不可或缺的。標(biāo)有日期的引用標(biāo)準(zhǔn)，只有該引用的版本適用。沒標(biāo)有日期的引用標(biāo)準(zhǔn)，則其最新版本的規(guī)范性文件（包括任何修正版）適用。ISO7726:1998，熱環(huán)境人機(jī)工程學(xué)物理量測量儀ISO146441:1999，潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部