0.5umotp工藝開發(fā)與器件特性研究

1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文0.5um OTP工藝開發(fā)與器件特性研究姓名：馬春霞申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：軟件工程指導(dǎo)教師：李冰;房世林20081230A b s t r a c tA d o u b l ep o l yN M O S - b a s e d O T P ( O n e T i m eP r o g r a m M e m o r y ) c e l lf u l l yc o m p a t i b l e 謝t h s t

2、a n d a r dC M O S f a b r i c a t i o n p r o c e s s e si s p r e s e n t e d ．E m b e d d e dm e m o r y i s t h eb e s t s d c c to fe l e c t r o n i ce n g i n e e rd u e t os o m ea d v a n t a g e o fl o wy i e l

3、 da n dg o o d r e l i a b i l i t yp e r f o r m a n c e ．T h eO T P p r o c e s sc o u l dc o m p a t i b l ew i t h l o g i cp r o c e s s a n d r e q u i r e b e u e rd a t a r e t e n t i o n p e r f o r m a n c e a

4、 sc o r ec e l lo f e m b e d d e d m e m o r y ．I n o r d e rt o g e td a t ar e t e n t i o nt a r g e t ，s o m ee s p e c i a l l yp r o c e s si s n e c e s s a r y , s u c h a sO N O ( O x i d e - S I N - O x i d e

5、) ，c e l ls i d e w a l l a n d l i n e r - S I Np r o t e c t i o n ．T h ec e l l s w e r ef a b r i c a t e du s i n g a O ．5 u m s t a n d a r dC M O S p r o c e s so fC S M C F A B ．1 ．T h i sp a p e r r e s e a r c

6、h0 ．5 u r nO T P p r o c e s sa n dd e v i c ec h a r a c t e r i s t i c ．F i r s ti n t r o d u c e N V M ( N o n - v o l a t i l eM e m o r y ) d e v e l o p m e n t , r e l i a b i l i t ya n dO T P a p p l i e da r

7、e a ．T h e ni n t r o d u c eO T P w o r k t h e o r ya n d a d j u s t m e n to f c e l la n d p e r i p h e r yd e v i c e p a r a m e t e r s ．T h r o u g hp r o c e s st u n i n g ，s u c ha s O N O f o r m a t i o n

8、a n de t c h ，U V S I Nd e p o s i t i o n ，g a t e - o x i d eb r e a k d o w nv o l t a g ei m p r o v e m e n t ，d e v i c ep a r a m e t e r sa n d c h a r a c t e r i s t i cm e e t d e s i g nt a r g e t ．D e v i c

9、 e c h a r a c t e r i s t i c i n c l u d ec e l l o u t p u tc h a r a c t e r i s t i c ，c e l l p r o g r a ms p e e d ，c e l l d i s t u r b ．L a s ti n t r o d u c ep e n p h e r y d e v i c et h r e s h o l d v o

10、l t a g er e l i a b i l i t y f a i l u r ea n a l y s i sa n di m p r o v e m e n t ．T h e O T P p r o c e s sa c c e p t0 ．5 a ml o g i cp r o c e s s ．t h r o u g hp r o c e s si m p r o v e m e n t ，C e l ld e v i c

11、 e c h a r a c t e r i s t i c ，d a t ar e t e n t i o n a n dp e r i p h e r a ld e v i c et h r e s h o l d v o l t a g er e l i a b i l i t y p e r f o r m a n c e c o u l d r e a c hd e s i g nt a r g e t ．K e y w o