30v，2.4ghzsoildmos設計

1、東南大學碩士學位論文30V，2.4GHz SOI-LDMOS設計姓名：俞軍軍申請學位級別：碩士專業(yè)：微電子學與固體電子學指導教師：陸生禮20060315A b s t r a c tW i t h t h ed e v e l o p m e n to f t h et e l e c o m m u n i c a t i o n , R F p o w e r a m p l i f i e r h a sap r o m i s

2、i n g f u t u r e ．A n df o rh i g hp e r f o r m a n c e i n t e g r a t e dR F c i r c u i t s , t h i n - f i l m S O l t e c h n o l o g y i sa b e s t c h o i c e ．A st h el a s t l e v e lp o w e rM O S P ' E T

3、 o ft h eR F p o w e ra m p l i f i e r , S O I - L D M O S a f f e c t st h ea m p l i f i e r ’sp e r f o r m a n c e e v e nt h ew h o l ec i r c u i t ’sp e r f o r m a u e e ．R Fc i r c u i t s n e e dS O I - L D M

4、O S t o h a v eh i g hb r e a k d o w nv o l t a g eO O V ) a n d h i g hc u t - o f f f r e q u e n c y ( 2 ．4 G H z ) ．B u t t h e t e c h n o l o g y o f h i g h f r e q u e n c y d e v i c et h a t 啪w i t h s t a n d

5、 h i g hb r e a k d o w n v o l t a g ei sc o m p l e x a n dd i f f i c u l tt ob e c o m p a t i b l ew i t hs t a n d a r d S O I - C M O S t e c h n o l o g y ．T h i si sa l s oo l ℃o f t h er & l $ o o $ o f t h

6、 e1 1 i g h c o s t ．T h u si t i s i m p o r t a n tt od e s i g nap o w e rd e v i c ew h i c hh a sh i g hb r e a k d o w nv o l t a g e , h i g h c a t - o f ff r e q u e n c y a n d s a t i s l y t h e d e m a n d a

7、 n di 摹c o m p a t i b l e w i t h s t a n d a r dS O I - C M O S ．S O I - L D M O S i s a d o p t e db y R Fp o w e ra m p l i f i e rb e c a u s eo fi t se x c e l l e n ti s o l a t i o np e r f o r m a n c ea n ds m

8、a l lp a r a s i t i c a le f f e c t ．I nt h i s t h e s i s 。aR F R E S U R FS O I - L D M O S w h i c hh a s h i g hb r e a k d o w nv o l t a g e( m o r e t h a n3 0 V ) a n d h i g hc u t - o f ff r e q u e n c y (

9、n m x e t h a n2 ．4 G H z ) i sd e s i g n e d ．F i r s t l y , i nt h ei n t r o d u c t i o ns e c t i o n , t h eh i s t o r yo fi n v e n t i o no f t h eR E S U R F S O I - L D M O S a n dt h ea p p l i c a t i o nm

10、 i n t r o d u c e d ．T h e ni nt h ef ' w s t c h a p t e r , t h ed e v i c e i sm o d e l e d t o g e ta p p r o x i n m e v a l u eo f e a c hp a r a m e t 口．I n t h es e c o n dc h a p t e r ,T s n p r e m 4a n

11、dM e d i c i a r eu s e d t oo p t i m i z e t h ev a l u e s g o ti n t h e f i r s t c h a p t e r ．T h ep a r a 呦o f t h eS O I - L D M O S i s e x t r a c t e di nt h e t h i r dc h a p t e r , s o m ee f f e c t ss

12、u c h a sK i r k e f f e c t , f l o a t i n g b o d ye f f e c t ,s e l f - h e a t i n ge f f e c ta n d h o tc a r r i e r e f f e c t e t c ．，a r ei n t r o d u c e da n dm e t h o d t op r e v e n tt h e m i s a l s

13、 os h o w e d i nt h i sc h a p t e r ．T h e S O I - L D M O Sd e s i g n e d i n t h i s t h e s i s h a s a7 0 Vb r e a k d o w n v o l t a g e i n o f f s t a t e a n d5 0 Vb r e a k d o w n v o l t a g ei no n s t a

14、t e , 1 3 ．6 G H zc u t - o f f f r e q u e n c y ．A n d i t i sc o m p a t i b l ew i t hs t a n d a r d S O I - C M O $ ．S o i t s a t i s f i e s t h ed e m a n d ．K e y w o r d s ：R F p o w e r a m p l i f i e r , S