φ1.1m平面鏡的瑞奇康芒檢驗方法研究

1、研究生簽名： 蘊(yùn)杰 ．學(xué)位論文使用授權(quán)聲明南京理工大學(xué)有權(quán)保存本學(xué)位論文的電子和紙質(zhì)文檔，可以借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部內(nèi)容，可以向有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交并授權(quán)其保存、借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部內(nèi)容。對于保密論文，按保密的有關(guān)規(guī)定和程序處理。研究生簽名： 遂盔； 沙。1 年弓月) 多日卜碩士論文 ①1 ．1 m 甲面鏡的瑞奇一康芒檢驗研究摘要隨著光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，高精度、大口徑光學(xué)平面鏡在空間光學(xué)、強(qiáng)激光等光學(xué)領(lǐng)域得到

2、了廣泛的應(yīng)用。大口徑光學(xué)平面鏡的加工需要有相應(yīng)的高精度檢驗方法。 本論文基于“①1 ．1 m 平面鏡的瑞奇一康芒檢驗“ 的研究課題，研究了大口徑光學(xué)平面鏡的瑞奇一康芒檢驗方法。根據(jù)瑞奇一康芒檢驗的原理，對瑞奇角、平面面形偏差與系統(tǒng)波像差之間的關(guān)系進(jìn)行了詳細(xì)的推導(dǎo)。利用Z E M A X 光學(xué)設(shè)計軟件構(gòu)建了①1 ．1 m 平面鏡瑞奇一康芒檢驗的仿真實驗裝置，并模擬了常見的幾種平面鏡面形偏差對平面鏡檢測結(jié)果的影響，模擬了不同瑞奇角下的檢測結(jié)

3、果。在Z y g o 干涉儀上完成了一個①7 5 m m 平面鏡瑞奇一康芒檢驗的實驗，擬合后的平面鏡面形與干涉儀直接測量的結(jié)果基本一致，驗證了該方法的可行性。用4 D 動態(tài)干涉儀分別在4 0 。和5 2 。的瑞奇角下測得了①1 ．1 m 平面鏡的波面，根據(jù)R i t c h e y ．C o m m o n 算法還原了平面鏡的真實面形，檢測結(jié)果中平面鏡面形峰谷值( P V ) 為0 ．2 7 3 ) ＼, ，均方根值( R _ M S