氧化鋅薄膜電學(xué)特性的研究

1、學(xué)校代碼：! 旦2 嫂分類號：業(yè)研究生學(xué)號：密 級：⑧Y8 8 8 2 9 11 2 2 1 2 0 3 0 1 9直東北埽殖史莩碩士學(xué)位論文氧化鋅薄膜電掌特性的研究T h e E l e c t r i c a IP r o p e r t i e sO f Z n o T h i n F i l m s指導(dǎo)教師學(xué)科專業(yè)研究方向?qū)W位類啦作者：李炳輝劉益春教授理論物理低維量子體系及物性研究學(xué)歷碩士東北師范大學(xué)學(xué)位評定委員會2 0 0 6

2、 年6 月A b s t r a c tR e c e n t l ym u c ha t t c n t i o nh a sb e e np a i dt os h o r tw a v e l e n g t l ll a 吲‘sf o ru s ei nh i g l ld e r l s i t y i n f o m a t i o n s t o r a g e ， i n f o m a t i o n d i s p

3、l a 弘 U Vc o m m 疵c a t i o n ，m e d i c a lt r e 鋤e n t ＆d i a g n i s i s ，a n ds oo n ，w h i c h m a ：k ei tb e c o m e a ni 瑚l p o r t a l l _ tb a s a l r e s e a r c h謝t l l e x t e n s i v e a p p l i c a t i o n

4、．I t i s 晰d e l y a c c e p t e d t 1 1 a t z n O i s o n e o f t l l e m 6 s tp r o m i s i I 培m a t e r i a l sf o rp r o d u c i I l ga nu 1 廿a V i O l e tl 醛e ra tr o o m t e m p e r a t u r ed u et oi t sw i d ed i

5、r c c t b 趾dg 印( E g = 3 ．3 e V ) a n d1 a r g e e x c i t o 血c b i n d i n g e n e r g yo f6 0m e V ’w h i c hw a S t e s t i f i e db y t h er e s u l t so f o p t i c a l l yp u m p e ds t i m u l a t e de m i s s i o

6、 n 鋤d l a s i I 培丘o mZ n O t m n f i l m s ．L i k eG a N c o m p o u n d ，t t l er e a s e a r c h a b o u t Z n O h a sb 啪e d w I l i t eh o t i n t l l e 瑚g e o fw i d e b a l l d g ?。甁 印a 1 1 e s e s c i e n t i s t s

7、 ，C h j n e s e s c i e n t i s t s 缸dA I n e r i c a ns c i c n t i g t sh a v ef a b r i c a t e dL E D b a s e do nZ n O 矗l m ，h o w e v e r ，d e v e l o p m e n to fL D h a sb e e nl i m i t e db yt h e l a c ko ft h

8、 eh i 曲e rq u l i t y n - t y p ea n dr e l i a b l ep - t y p eZ n O ．．A c c o r d i n g t o m ep r c s e n t r e s e a r c h h o t s p o t s a n d d i 幣c u l t i e s o n z n 0 ，w ei n v c r S t i g a t e d 也ee l e 確c p

9、 r o p e m e s o f Z n O 也協(xié)f i l m s ．T h ed “l(fā) s a r e a s f o l l o w ：1 ．I n v e s t i g a t e d 吼c l o p e dZ n 0 t } 1 i n f i l m sw h i c h w e r ep f e p a r e db y P —M B E ．F o u n dm a t也e 瑚t №f i l m s p o s

10、s e s t h eb e s te l e c 缸cp r o p e n i e sp r e p 齟c da t6 5 0 ℃b y 樅le 岱。c t ．．N —d o p e d Z i n co x i d e M e t a l c o n d u t i o nb e h a v i o re m e r g e d ， w h e nZ n Ot h i nf i l m s h a v eg r o w no nc

11、 —A 1 2 m s u b s t r a t e i n Z n —r i c h c o n d u c t i o n a n dl o w s u b s t r a t e t e m p e r a t u r e ．‘2 ． T h e r c a s o n sf o ru I l s t a b l ep - t y p eZ n O w e r ed i s c u s s e d ．T h ep —t y p

12、eZ n O 血i nf i l mc o n v e r t st oH —t y p ea f b e ri l l u m i n a t i o nb y b l u el i g h to f p h o t o ne n e r g yo V e r t h a 芏l2 ．6 7e V ．C 0 n s i d e r i n gt h ee 拜b c to f n o n e q u i l i b r i 啪一一t y

13、p ec o n d u c t i o ni np ·t y p eZ n O ，ad e e p c rl e V e l t r a ps t a t e sm o d e lw a s s u p p o s e d ．3 ． P r e p a r e dA u ，I na 1 1 dN i ／A uc o n t a c t s o np —t y p eZ n 0 t m n f i l m s ．C o m p

14、 a r e dd i 仃b r e n ta n n e a l i n gc o n d i t i O n s ，f o u n d N i ／A uc o n t a c t g i v e s ab e t t e ro h m i c c h a r a c t e r i s t i cK e y w o r d s ：Z r l O ； p - t y p e ； n —t y p e ； H a l l e 飪b c