材料化學(xué)專業(yè)外文翻譯--合成β-mo2c薄膜（譯文）

1、中文 中文 4220 字畢業(yè)論文外文資料翻 畢業(yè)論文外文資料翻譯題 目 合成β-Mo2C 薄膜 和電子場(chǎng)發(fā)射[13]我們目的是用價(jià)格低廉的材料替代鉑族金屬來表面氫分離。這種材料合成的薄膜將有利于催化劑性能的基礎(chǔ)研究。許多技術(shù)已被用于沉積碳化鉬薄膜，包括化學(xué)氣相沉積（CVD） ，[8 14]，物理氣相沉積（PVD） ，[9，11]和電化學(xué)沉積。[15]Mo-C 是相當(dāng)復(fù)雜的，它有眾多的穩(wěn)定和亞穩(wěn)化

2、合物和晶相。[14 16]，相純度的控制一直是個(gè)難題，CVD 和PVD 兩種方法的制備中，薄膜通常包含混合富含碳的產(chǎn)物，它是一個(gè)復(fù)雜的依賴具體操作條件選測(cè)的過程。[8，11，14]與此相反，它的催化應(yīng)用制備所需的粉末狀β-Mo2C 相。[1-4]，后來 Boudart 和他的同事[1 2]開發(fā)出一種方法，加入 H2 稀釋的碳?xì)浠衔锊⒉捎贸绦蛏郎胤磻?yīng)或 TPR 的混合物轉(zhuǎn)換成高表面積Mo2C 密集的氧化鉬粉。 MoO3 轉(zhuǎn)變?yōu)?Mo

3、2C 方法涉及 MoO3 的晶格中的氧碳替代，在反應(yīng)過程中有 Mo 原子的微小位移。因?yàn)?Mo2C 的摩爾體積比 MoO3 的摩爾體積小，微孔狀的氧化物轉(zhuǎn)換成碳化物。在適當(dāng)條件下的氧化鉬被轉(zhuǎn)換成Mo2C 過程中沒有形成金屬鉬作為反應(yīng)中間體。金屬燒結(jié)，避免使用這種方法，在物催化劑催化劑條件下，它可以準(zhǔn)備具有很高的表面積（50-90 平方米/克） 。Rebrov et al.[5]采用這方法，形成催化劑通過預(yù)氧化的鉬片滲碳涂料把它們應(yīng)用到水

4、煤氣變換反應(yīng)。本實(shí)驗(yàn)是合成純相的β-Mo2C 未來研究模型催化劑層薄膜。下面我們介紹一個(gè)兩步合成方法。首先，采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）在MoF6/H2/O2 混合物中使密集的氧化鉬薄膜沉積在硅片上。MoF6 在這種化學(xué)反應(yīng)中是很獨(dú)特，以前的含鉬的化合物的反應(yīng)是用 Mo（CO）的[17 18]或MoCl5[14，19]來化學(xué)氣相沉積。用 PECVD 參數(shù)來描述氧化物的增長速度和質(zhì)量。使用的 PECVD 形成氧化物將產(chǎn)生

5、在更廣泛的承印物上。薄膜通過 TPR 的催化條件轉(zhuǎn)化為β-Mo2C 相。使用一套分析技術(shù)可將整個(gè)過程中膜的組成和結(jié)構(gòu)的演變進(jìn)行了量化。2 試驗(yàn)一氧化氮合成 在 MoF6/H2/O2 混合在一個(gè)電容耦合的 PECVD 系統(tǒng)中使氧化鉬薄膜沉積。采用類似 PECVD 反應(yīng)的化學(xué)的方法，用類似的氣體混合物（WF6/H2/O2）[17，20]已成功地應(yīng)用于合成的電致變色 WO3 的薄膜。鉬六氟化硫(Acros Organic, 99.5 vol