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1、I C S 7 7 . 0 4 0 . 0 1 H 1 7 瀝H中 華 人 民 共 和 國 國 家 標(biāo) 準(zhǔn)GB / T 1 9 9 2 2 - 2 0 0 5硅片局部平整度非接觸式標(biāo)準(zhǔn)測試 方法S t a n d a r d t e s t m e t h o d s f o r m e a s u r i n g s i t e f l a t n e s s o n s i l i c o n w a f e
2、 r s b y n o n c o n t a c ts c a n n i n g2 0 0 5 - 0 9 - 1 9 發(fā)布 2 0 0 6 - 0 4 - 0 1 實施中 華人民 共和國 國 家質(zhì)量 監(jiān)督 檢驗檢 疫總 局 中 國 國 家 標(biāo) 準(zhǔn) 化 管 理 委 員 會 發(fā) 布G B / T 1 9 9 2 2 - 2 0 0 5引 言硅片的局部平整度是直接影響到集成電路光刻等工藝線寬的質(zhì)量、 成品率和可靠性的重要參數(shù)之一
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