ICP快速拋光系統(tǒng)的搭建和保形工藝研究.pdf

1、非接觸式大氣等離子體加工是一種適用于難加工硬脆材料的加工方法。用于空間、地面望遠鏡以及大口徑強激光光學組件的光學元件的加工。這種方法具有較高的材料去除效率且不引入亞表層損傷，能夠有效提升激光慣性約束聚變光學系統(tǒng)中的光學元件的使用壽命，降低成本。
　　本文提出了ICP(inductively coupled plasma)大氣等離子體加工系統(tǒng)的總體設計方法和搭建過程中主要的問題。并對等離子體系統(tǒng)的設計和搭建以及加工系統(tǒng)的集成工作做了

2、大量工作并進行詳細的闡述。總結了大氣等離子體加工的快速保形去除工藝出現的問題并給出有效的解決辦法。首先介紹了等離子體的概念，并根據大氣壓下的等離子體放電方式對等離子體進行了分類，簡述了電感耦合等離子體的產生條件以及大氣壓下等離子體加工的去除機理。應用上述原理，對即將進行搭建的加工系統(tǒng)進行總體設計和規(guī)劃。加工系統(tǒng)主要由機床本體和等離子體系統(tǒng)兩大子系統(tǒng)構成，本文指出子系統(tǒng)搭建過程以及集成過程中需要關注基本功能、系統(tǒng)兼容、人機交互和現場集成四

3、方面要求并對每方面需要關注的具體問題進行詳細闡述。然后，根據加工系統(tǒng)的總體設計，對兩大子系統(tǒng)之一的等離子體系統(tǒng)進行系統(tǒng)設計及加工系統(tǒng)的集成。等離子體系統(tǒng)的每個模塊的設計和搭建均滿足加工系統(tǒng)對于基本功能、系統(tǒng)兼容、人機交互和現場集成這四個方面的要求。加工系統(tǒng)的集成部分主要針對等離子體系統(tǒng)的內部集成、等離子體系統(tǒng)與機床本體的集成和加工系統(tǒng)的現場集成三個層次，并針對這三個層次做了較為詳細的介紹。最后，論述了大氣等離子體射流加工的局部不均勻刻蝕