semis2半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-----傾情為你奉上專心---專注---專業(yè)SEMI S2 半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則2003 年 9 月 29 日Content: 1. 目的；2. 范圍；3. 注意事項；4. 參考標(biāo)準(zhǔn)；5. 術(shù)語；6. 安全理念；7. 一般準(zhǔn)則；8. 評估過程； 9. 提供給使用者的文件；10. 危險性警告標(biāo)志；11. 安全連鎖裝置；12. 緊急停機； 13. 電氣安全；14. 消防安

2、全；15. 化學(xué)物質(zhì)加熱槽；16. 人體工學(xué)；17. 危險能量隔離；18. 機械設(shè)計安全； 19. 地震保護；20. 自動機械設(shè)備；21. 環(huán)境因素；22. 排氣；23. 化學(xué)品安全；24. 游離輻射安全；25. 非游離輻射安全；26. 激光安全；27. 噪音1. 目的 (PURPOSE)為半導(dǎo)體制程設(shè)備提供一套實用的環(huán)保、安全和衛(wèi)生準(zhǔn)則。2. 范圍 (SCOPE)適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設(shè)備。3. 注意事項(LIM

3、ITATIONS)3.1 不可作為檢驗是否符合本地法規(guī)要求的依據(jù)；3.2 沒有提供非常詳細(xì)的半導(dǎo)體制程設(shè)備 ESH 準(zhǔn)則；3.3 參考了眾多的國際性法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)等。但只是被引用的條文適用于此標(biāo)準(zhǔn)，并不是被引用的標(biāo)準(zhǔn)或法規(guī)等所有條文都適用。4. 參考標(biāo)準(zhǔn)(REFERENCED STANDARDS)4.1 SEMI Standards4.2 ANSI Standards (Radio Frequency)4.3 CEN/CENELEC Sta

4、ndards (Explosion)4.4 IEC Standards (Electrical) 4.5 ISO Standards (Robot manipulation)4.6 NFPA Standards4.7 ACGIH (Industrial Ventilation Manual)5. 術(shù)語(TERMINOLOGIES)5.1 不可燃物質(zhì)（Non-combustible material）：在一般條件（anticipated

5、conditions）下，受熱或在火焰中不可燃燒，也不支持燃燒或遇熱不可釋放出易燃蒸汽之物質(zhì)。典型不可燃物質(zhì)有金屬、陶瓷、石英等。5.2 可燃物質(zhì)(Combustible material)：具有火焰?zhèn)鞑ツ芰虿粷M足上述“不可燃物質(zhì)”定義之物質(zhì)。5.3 易燃?xì)怏w(Flammable gas)：在 101.3KPa 和 20℃下，可以和空氣形成可被點燃的混精選優(yōu)質(zhì)文檔-----傾情為你奉上專心---專注---專業(yè)新帶來的破壞性后果。6.3

6、 必須考慮合乎工業(yè)、建筑、電氣、消防標(biāo)準(zhǔn)及政府法規(guī)之需要。6.4 設(shè)備設(shè)計時應(yīng)該符合規(guī)范要求、工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、本標(biāo)準(zhǔn)以及良好的工程和制造規(guī)范。6.5 任何可預(yù)見的失效或操作錯誤而導(dǎo)致人員危害曝露、廠務(wù)設(shè)施危害曝露或社區(qū)危害曝露危害，以及導(dǎo)致死亡、重大傷害或重大設(shè)備損失的現(xiàn)象都是絕對不允許的。6.6 設(shè)備必須有“失效也安全”(FAIL-SAFE)或“故障容許度”(FAULT-TOLERANT)之設(shè)計。6.7 設(shè)備組件及配件都應(yīng)該符合設(shè)備

7、制造商提供的等級級別或標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。6.8 設(shè)備設(shè)計初期，為鑒別和評估潛在危害，應(yīng)該進行危害分析。當(dāng)設(shè)計成熟后，危害分析結(jié)果應(yīng)該更新。6.9 危害分析應(yīng)該考量：設(shè)備制程或應(yīng)用、各個制程的危害、可能的失效模式、災(zāi)害發(fā)生的可能性以及嚴(yán)重性、危害曝露人員的專業(yè)水平和曝露頻率、操作和保養(yǎng)的頻率與復(fù)雜性、關(guān)鍵安全部件6.10 控制危害的各種方法的選擇順序如下：設(shè)計時將之消除危害 使用安全設(shè)施進行防護-工程控制提供安全警告設(shè)施-工程控制提供危害警告標(biāo)簽

8、-管理控制訓(xùn)練-管理控制其他管理控制以上所有方法的組合 6.11 此準(zhǔn)則只是半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計時的最低考量。7. 一般準(zhǔn)則 (GENERAL PROVISIONS)7.1 設(shè)備應(yīng)符合一般安全規(guī)范，此準(zhǔn)則只是設(shè)備之采購標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。次標(biāo)準(zhǔn)只是提供給用戶采購符合 SEMI S2 的設(shè)備規(guī)范。若需要超出此準(zhǔn)則，則由使用者與廠商另行書面訂定之。7.2 設(shè)備制造商應(yīng)保證設(shè)備符合當(dāng)?shù)刂行Х杉耙?guī)定。需要經(jīng)政府機構(gòu)許可的設(shè)備，必須通過當(dāng)?shù)卣k理許可

9、證。 7.3 設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)該提供給用戶指定的代表來及時更新有關(guān)設(shè)備最新發(fā)現(xiàn)之危害因子或安全防護措施升級方案。7.4 設(shè)備操作、維護使用的工具及附件必須由設(shè)備供應(yīng)商提供給用戶或者明確其規(guī)格。8. 評估過程(EVALUATION PROCESS))8.1 評估方應(yīng)該按照此標(biāo)準(zhǔn)對設(shè)備進行評估并寫出書面 報告。內(nèi)容包括手冊（9.6 部分）和具體設(shè)計部分（本標(biāo)準(zhǔn)第 10 至第 27 部分）。只有當(dāng)使用到附錄時，附錄才算作報告的一部分。8.2 對于