浸液控制系統(tǒng)中通信方案的設計與實現(xiàn).pdf

1、浸沒式光刻通過投影物鏡和硅片之間填充高折射率液體，利用液體折射率遠高于氣體的優(yōu)點來提高光刻的分辨率，由于浸沒式光刻對于干式光刻技術(shù)的繼承性最好，從而受到半導體行業(yè)的高度關(guān)注。在浸沒式光刻機中，浸液控制系統(tǒng)是一個非常重要的分系統(tǒng)，其主要功能是實現(xiàn)浸沒液體的制備以及注入和回收，并將浸沒液體限定在物鏡和硅片之間，維持穩(wěn)定流動和高度潔凈的浸沒流場。浸液控制系統(tǒng)的功能由超純水分系統(tǒng)、傳輸控制分系統(tǒng)和位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)分別完成，當浸液控制系統(tǒng)集成到浸沒

2、式光刻機主機中時，由總控分系統(tǒng)接收光刻機主機的信息并控制三個分系統(tǒng)按照一定時序要求工作。而通信則是實現(xiàn)控制的前提，高效可靠的通信是浸液控制系統(tǒng)實現(xiàn)集成最重要的因素之一。
　　本文主要以實現(xiàn)浸沒液體制備、控制與穩(wěn)定浸沒流場形成的浸液控制系統(tǒng)為研究對象，對浸液控制系統(tǒng)中的通信方案進行了設計和實現(xiàn)，具體完成的工作主要有以下幾點:
　　1.根據(jù)浸液控制系統(tǒng)對通信的需求，分析了各分系統(tǒng)的軟硬件環(huán)境，在此基礎上分析了工業(yè)以太網(wǎng)的可行性。

3、進一步地，在以太網(wǎng)的基礎上設計了浸液控制系統(tǒng)中通信的軟硬件架構(gòu)，并提出了幾種提高通信可靠性的方案。
　　2.分析了浸液控制系統(tǒng)中各分系統(tǒng)的工況，進行了六種系統(tǒng)狀態(tài)的定義，在此基礎上設計了浸液控制系統(tǒng)內(nèi)部的通信協(xié)議，實現(xiàn)了浸液控制系統(tǒng)內(nèi)部信息流的具體化。同時，根據(jù)浸液控制系統(tǒng)對消息優(yōu)先級調(diào)度的需求，設計了靜態(tài)優(yōu)先級與動態(tài)優(yōu)先級混合的消息調(diào)度機制，提高了總控分系統(tǒng)控制的靈活性與消息傳遞的實時性。
　　3.在通信框架與通信協(xié)議設計