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文檔簡介
1、本文在概述了ZAO(摻鋁氧化鋅)薄膜的性能、制備技術、應用前景和國內外研究發(fā)展概況的基礎上,以二水合乙酸鋅(Zn(CH<,3>COO)<,2<2H<,2>O)為前驅體,異丙醇(isopropanol)或乙二醇甲醚(2-methoxyethanol)為有機溶劑,單乙醇胺(monoethanolamine)為穩(wěn)定劑,六水合三氯化鋁(AlCl<,3>.6H<,2>O)為摻雜劑,采用溶膠一凝膠浸涂法在石英玻璃襯底上制備了ZAO薄膜。文章分別采用
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