平面三自由度并聯(lián)微操作平臺的設計與分析.pdf

1、微納操作技術是結合了精密儀器技術、控制工程、計算機技術的一門綜合性很強的學科，而微納操作平臺的設計與研究又是微納操作技術的基礎之一。近年來，微操作平臺的研究成為了國內外學者研究的熱點，已有各種類型的微操作平臺被相繼設計出來，而且有很多都成功的應用到了微裝配工程、生物工程等領域。
　　本文基于杠桿放大機構設計了一種末端工作空間較大的平面三自由度柔性并聯(lián)微操作平臺，所設計的微操作平臺主要有兩個特點，一是整體尺寸??；二是末端運動平臺工作

2、空間大。本文先介紹了三自由柔性并聯(lián)微操作平臺的設計過程，然后對其進行了運動學分析，并建立了基于位置水平的雅克比矩陣，最后得到了壓電陶瓷驅動器的輸入位移和末端運動平臺輸出位姿的關系。
　　同時，用MATLAB/SimMechanics工具箱仿真得到了該柔性機構的可達工作空間，為柔性并聯(lián)機器人的工作空間分析提供了一種新方法。先基于偽剛體(PRB)法，用SimMechanics模塊建立了柔性鉸鏈的模型，基于此建立整個三自由度柔性平臺的模