微波氫等離子體發(fā)射光譜診斷.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、氫等離子體在功能材料的化學氣相沉積、等離子體刻蝕和新的含氫化合物的化學合成等方面具有重要應用.在這些工藝過程中,氫原子被認為起到了非常關鍵的作用.因此,對氫原子濃度的原位診斷是研究和改進上述等離子體工藝過程的重點也是難點之一.該文在分析了多種等離子體診斷方法后,采用了裝置簡單、對等離子體沒有擾動的發(fā)射光譜技術,通過Actinometry方法(以Ar做內標氣體),對ASTeX型微波放電氫等離子體中的氫原子濃度進行了原位測定.詳細研究了氫原

2、子譜線(Balmer線系)和氬原子譜線(750.4nm)的相對強度與氫氣流量、微波輸入功率以及放電氣壓之間的關系;同時對可視等離子體球的空間分布進行了測量.該文在考慮電子直接激發(fā)和激發(fā)態(tài)氫原子和氬原子被氫分子淬滅的條件下,首次對較高氣壓下微波氫等離子體中氫氣的解離率做了計算.結果顯示,在微波輸入功率密度為13.5W/cm<'3>,氣體壓力從5~25torr變化的條件下,氫氣的解離率從0.11降低到0.04.另外,該文還討論了碰撞截面數(shù)據(jù)

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