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文檔簡介
1、微波產(chǎn)生等離子體的技術(shù)很早就應(yīng)用在工業(yè)生產(chǎn)中，近年來人們對(duì)脈沖式微波產(chǎn)生的大面積均勻等離子體的興趣越來越濃厚。本文主要針對(duì)微波脈沖式放電產(chǎn)生氮?dú)獾入x子體的發(fā)射光譜進(jìn)行研究，其目的是為了得到不同放電條件（不同的脈寬和放電壓強(qiáng)）下，氮?dú)獾入x子體中各種溫度（轉(zhuǎn)動(dòng)溫度、振動(dòng)溫度以及電子激發(fā)溫度）變化，并嘗試解釋各溫度隨放電條件變化的關(guān)系。由于光譜儀的分辨率無法分辨轉(zhuǎn)動(dòng)峰，所以對(duì)于振動(dòng)溫度和轉(zhuǎn)動(dòng)溫度的研究主要采用擬合的方式。而電子激發(fā)溫度依賴于放
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