2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩59頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、集成電路已經(jīng)在各行各業(yè)中發(fā)揮著非常重要的作用,是現(xiàn)代信息社會(huì)不可或缺的。在集成電路的生產(chǎn)過程中,晶圓的加工是其關(guān)鍵,處于整個(gè)過程中的上游。為了有更好的控制質(zhì)量和縮短生產(chǎn)周期,組合設(shè)備廣泛應(yīng)用在晶圓加工過程中。組合設(shè)備是一種自動(dòng)化的集成設(shè)備,它由若干個(gè)加工模塊,一個(gè)機(jī)械手(單臂或雙臂)和兩個(gè)放置晶圓的緩沖區(qū)組成。由于該設(shè)備非常昂貴并在生產(chǎn)過程中具有舉足輕重的作用,它的調(diào)度對(duì)晶圓的加工過程影響巨大。本文研究的問題是具有晶圓重入和晶圓逗留時(shí)間

2、約束的單臂組合設(shè)備調(diào)度分析。
  在晶圓制造過程中,一些晶圓制造過程,如低壓化學(xué)氣相沉積具有逗留時(shí)間約束,它要求加工完成后的晶圓,需要在有限的時(shí)間內(nèi)卸載。否則,它將由于在加工模塊中殘留氣體的熱量而被損害。由于每個(gè)加工模塊之間沒有中間的緩沖區(qū),使得具有晶圓逗留時(shí)間約束的問題處理非常復(fù)雜。此外,一些晶圓制造過程,如原子層沉積,晶圓需要對(duì)同一個(gè)加工步驟重復(fù)一次或多次。這樣的過程稱為具有重入的過程。此時(shí)組合設(shè)備不再是流水線,而且系統(tǒng)在重入

3、過程容易發(fā)生死鎖。因此,那些沒有考慮重入過程得到的調(diào)度方法不能應(yīng)用于具有重入的加工過程。因此,相應(yīng)的控制策略要改變,增加了其調(diào)度和控制的復(fù)雜性。對(duì)于單臂組合設(shè)備,同時(shí)考慮晶圓逗留時(shí)間約束和重入過程的調(diào)度是非常具有挑戰(zhàn)性的研究問題。
  針對(duì)這一問題,本文采取偽拉式調(diào)度的策略。首先建立一個(gè)Petri網(wǎng)模型描述晶圓重入的過程,并同時(shí)采取控制策略解決死鎖問題。接下來對(duì)系統(tǒng)的生產(chǎn)節(jié)拍進(jìn)行分析,這個(gè)節(jié)拍包括機(jī)械手的節(jié)拍和各個(gè)加工步驟的節(jié)拍。

4、基于節(jié)拍分析,提出了系統(tǒng)可行調(diào)度與不可行調(diào)度的充分必要條件(可行調(diào)度有3種情況),提出有效的調(diào)度算法,并對(duì)此給予了證明。接下來對(duì)提出的調(diào)度算法進(jìn)行了最優(yōu)性證明,證明了它的系統(tǒng)節(jié)拍最短。最后,給出了3個(gè)例子,對(duì)上述提到3種可行調(diào)度的情況驗(yàn)證了本文所提到的調(diào)度算法。同時(shí)為了易于理解,針對(duì)每個(gè)例子都給出相應(yīng)的甘特圖,清晰說明了在系統(tǒng)運(yùn)行的一個(gè)周期里機(jī)械手的運(yùn)行操作以及各個(gè)加工步驟所處于的狀態(tài)。
  針對(duì)本文給出的調(diào)度方法,首先判斷系統(tǒng)的

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論