In摻雜的ZnO納米棒乙醇?xì)饷籼匦匝芯?pdf

1、ZnO材料是應(yīng)用最廣泛的氣敏材料，由于其比較常見(jiàn)，儲(chǔ)量豐富，無(wú)毒無(wú)害，因此是比較理想的氣敏材料。但是傳統(tǒng)的ZnO氣敏材料具有靈敏度低、選擇性差、工作溫度高等缺點(diǎn)。通常采用改變形貌和摻雜改性來(lái)改善其氣敏性能。
　　本文中通過(guò)溶膠凝膠法制備ZnO納米棒并對(duì)其進(jìn)行適量的In摻雜，以此來(lái)提高ZnO材料對(duì)乙醇的氣敏性能。首先采用溶膠凝膠法制備ZnO溶膠和In摻雜含量為2at.％、3at.％、4at.％的ZnO溶膠，采用旋涂法將溶膠涂在叉指電

2、極上，經(jīng)過(guò)干燥預(yù)處理和高溫退火，制備出不同ZnO材料的氣敏元件。然后通過(guò)自己搭建測(cè)試系統(tǒng)對(duì)薄膜樣品進(jìn)行氣敏性能測(cè)試。
　　工作溫度為300℃時(shí)，ZnO納米棒對(duì)相同濃度乙醇?xì)怏w的靈敏度高于傳統(tǒng)的ZnO薄膜材料。In摻雜含量為3at.％的ZnO納米棒薄膜對(duì)乙醇?xì)怏w的靈敏度高于無(wú)摻雜和摻雜含量為2at.％和4at.％的ZnO納米棒薄膜。說(shuō)明棒狀結(jié)構(gòu)的ZnO材料氣敏性能高于傳統(tǒng)ZnO材料，也說(shuō)明In的引入成功地提高了對(duì)乙醇的靈敏度，且In