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文檔簡介
1、本文以激光-感應(yīng)復(fù)合加熱法制備的納米ZnO粉末為基礎(chǔ),通過采用降低燒結(jié)溫度、使用新的燒結(jié)熱源(激光燒結(jié))研究不同的工藝參數(shù)對元件氣敏性能的影響,以及使用以不同摻雜ZnO為元件組成的傳感器陣列對VOCs氣體進行分類識別.通過激光-感應(yīng)復(fù)合加熱法制備的納米ZnO顆粒.顆粒形貌具有針狀特征.對比針狀ZnO,具有多種形態(tài)的ZnO以及市售顆粒ZnO的氣敏特性,發(fā)現(xiàn)針狀ZnO表現(xiàn)出最好的氣敏特性,其次是多種形態(tài)的納米ZnO,市售的ZnO敏感度最低.
2、敏感性能與原始粉末的形態(tài)、大小、團聚程度以及燒結(jié)而成的厚膜的顯微結(jié)構(gòu)密切相關(guān).對納米ZnO粉末進行了低溫?zé)Y(jié)和采用激光作為燒結(jié)熱源進行了燒結(jié).在200℃-550℃低溫?zé)Y(jié)范圍內(nèi),隨燒結(jié)溫度提高,納米ZnO晶粒尺寸增大,敏感度下降,300℃時有最高的敏感度.其電阻隨燒結(jié)溫度升高而增大.以激光為熱源燒結(jié)純ZnO厚膜中.當(dāng)激光功率為60W和70W時,隨掃描時間延長晶粒長大,厚膜致密化,其敏感度逐步下降.相同掃描時間下,70W激光燒結(jié)厚膜的敏感
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