磁強(qiáng)計(jì)中Sigma-Delta DAC的設(shè)計(jì).pdf_第1頁(yè)
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1、微機(jī)電系統(tǒng)MEMS(Micro ElectromechanicalSystem)自身存在高集成度、高可靠性、低成本等固有特點(diǎn)，自出現(xiàn)以來(lái)，得到了不斷的發(fā)展。由于數(shù)字化進(jìn)程的不斷深入，MEMS傳感器集成電路的數(shù)字化也讓其性能在理論上得到了大幅度提升。對(duì)磁強(qiáng)計(jì)等MEMS領(lǐng)域的傳感器而言，其數(shù)字結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)架構(gòu)中都要使用到高精度的sigma-delta DAC。因此設(shè)計(jì)一款適用于磁強(qiáng)計(jì)等傳感器數(shù)字結(jié)構(gòu)中的sigma-delta DAC，不論在理

2、論上還是應(yīng)用上都具有重要意義。本課題來(lái)源于哈爾濱工業(yè)大學(xué)MEMS中心。本課題研究的sigma-delta DAC作為磁傳感器數(shù)字化的一個(gè)重要做成部分，將來(lái)還要進(jìn)行改進(jìn)改良，以適用于微機(jī)械陀螺等傳感器電路的需要。
　　本文首先介紹了整個(gè)sigma-delta DAC的工作原理及各個(gè)模塊的結(jié)構(gòu)組成，而后又對(duì)各個(gè)模塊的原理進(jìn)行了基本的闡述。主要對(duì)數(shù)字插值濾波器原理、數(shù)字調(diào)制器原理以及模擬部分的原理做了簡(jiǎn)要說(shuō)明。在此之后，本文分別設(shè)計(jì)si

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