原子層沉積技術制備氧化鋅薄膜及其性能的研究.pdf_第1頁
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1、劣拿京交碩士專業(yè)學位論文原子層沉積技術制備氧化鋅薄膜及其性能的研究StudyonPr印arationandPropertiesofZnOfilmbyAtomicLayerD印ositionTechnique作者：龍嫂嫂導師：徐敘珞北京交通大學2015年6月學校代碼：l0004北京交通大學碩士專業(yè)學位論文密級：公開原子層沉積技術制備氧化鋅薄膜及其性能的研究StudyonPreparationandPropertiesofZn0filmby

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