高頻超聲靜電噴霧法制備AG-AG摻ZNO導(dǎo)電薄膜.pdf

1、獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝之處外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過(guò)的研究成果，也不包含為獲得丞鎏王業(yè)太堂或其他教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書(shū)而使用過(guò)的材料。與我一同工作的同志對(duì)本研宄所做的任何貢獻(xiàn)均己在論文中作了明確的說(shuō)明并表示了謝意。學(xué)位論文作者簽名：趙遇玉簽字日期：冽7年z月巧曰學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書(shū)本學(xué)位論文作者完全了解丞蓬王些太堂有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的

2、規(guī)定。特授權(quán)丞洼王些太堂可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，并采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編以供查閱和借閱。同意學(xué)校向國(guó)家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁盤。(保密的學(xué)位論文在解密后適用本授權(quán)說(shuō)明)學(xué)位論文作者簽名：缸渴五導(dǎo)師簽名：簽字日期：b昨1月巧日簽字日期：加17年Z月巧日摘要眾所周知銀有著最低的電阻率(超導(dǎo)除外)和在可見(jiàn)光區(qū)的高反射性，以及良好的可摻雜性，在光電子器件與近年來(lái)發(fā)展的智能可穿戴設(shè)備中有

3、著廣泛的應(yīng)用。磁控濺射法是銀薄膜制備常用的方法，然而此方法成本較高，制備過(guò)程中會(huì)不可避免的造成資源浪費(fèi)，也會(huì)出現(xiàn)顆粒凝聚現(xiàn)象，降低了銀薄膜與基材的附著力，也影響了它的光電性質(zhì)，以致降低了銀良好的導(dǎo)電性。超聲噴霧熱解法因工藝簡(jiǎn)單、成本較低、容易實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，有著良好的發(fā)展前景。本課題在研究國(guó)內(nèi)外超聲噴霧熱裝置的基礎(chǔ)上，自行設(shè)計(jì)超聲噴霧熱解制膜儀器，在使用過(guò)程中根據(jù)工藝的需要對(duì)該儀器不斷的改進(jìn)。采用該超聲噴霧熱解制膜儀器，重點(diǎn)分析了襯底溫

4、度、前驅(qū)液體濃度、電壓大小等工藝參數(shù)對(duì)Ag薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響，分析了成膜機(jī)理，并通過(guò)嘗試Ag與ZnO的摻雜來(lái)改變薄膜的光電學(xué)性能。實(shí)驗(yàn)以硝酸銀為前驅(qū)體溶液，聚酰亞胺為襯底來(lái)制備銀薄膜，并且通過(guò)硝酸鋅六水化合物(Zn(N03)26H20)來(lái)提供鋅，制備銀摻氧化鋅薄膜。利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察薄膜的表面形貌；采用X射線衍射儀(XRD)對(duì)物質(zhì)內(nèi)部原子空間分布狀況的結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析；借助光致發(fā)光光譜儀(PL譜)測(cè)量薄膜的帶隙寬度。最后利用

5、紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)(UV光譜)和電阻測(cè)試儀對(duì)薄膜的光電性能進(jìn)行分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：前驅(qū)體溶液濃度為O2mol／L，載氣流量為150mL／min，襯底溫度為300℃，電壓20kv，噴嘴距離為4cm，噴涂時(shí)間為10min時(shí)能制備出最佳的Ag薄膜；在硝酸鋅六水化合物的濃度為02mol／L時(shí)，硝酸銀的濃度為0004mol／L，即摻雜比例為Zn：Ag=l：002，襯底溫度為300℃，噴嘴到沉底的距離為4cm，電壓20kv，氧氣通量為150mL／m