微型ICP激發(fā)源對(duì)CO2、SO2、NO2定性檢測(cè)研究.pdf

1、本課題組前期研制了一種基于PCB工藝的新型低氣壓放電微型 ICP激發(fā)源，并將該微型ICP激發(fā)源與愛(ài)萬(wàn)提斯微型光纖光譜儀配合，研究探索該微型ICP激發(fā)源的激發(fā)能力及可激發(fā)檢測(cè)的樣品。前期已成功激發(fā)了甲烷、乙炔、氨氣、氮?dú)獾葮悠贰１狙芯康哪康脑谟谔剿髟撐⑿图ぐl(fā)源對(duì)更多的新的氣體樣品檢測(cè)能力。本文所做的主要工作如下：
　　首次采用微型ICP激發(fā)源樣機(jī)對(duì)CO2、SO2和NO2氣體樣品做了激發(fā)性能測(cè)試探索。試驗(yàn)在氬氣做載氣的情況下成功的將此

2、3種氣體激發(fā)成等離子體，利用微型光纖光譜儀測(cè)試得到其譜線圖。經(jīng)Sepcline軟件的數(shù)據(jù)庫(kù)辨識(shí)出C+398.30 nm、O+379.45 nm、CO394.6 nm等譜線20條，S675.72 nm、O794.75 nm等譜線9條，N+545.21 nm、O+432.86 nm、NO2+ nm等譜線22條。實(shí)驗(yàn)表明，該新型微型ICP激發(fā)源具有激發(fā)CO2、SO2及NO2的能力，可用于此三種氣體的定性分析。實(shí)驗(yàn)使用的三種樣品均為氣體，其中兩

3、種(CO2、SO2)為自制，一種(NO2)為專(zhuān)業(yè)廠家生產(chǎn)。CO2氣體樣品利用石灰石與稀鹽酸反應(yīng)制??；SO2氣體利用濃硫酸和亞硫酸鈉反應(yīng)制取。
　　以CO2氣體為激發(fā)樣品，研究了激發(fā)源微電路組件的最佳工作參數(shù)。采用3種匝數(shù)、2種匝間距、2種外徑組合得到的12種平面螺旋線圈的微電路組件進(jìn)行測(cè)試研究。實(shí)驗(yàn)表明，匝數(shù)為3匝、外徑為10 mm的微電路組件激發(fā)效果最好。
　　以CO2氣體為激發(fā)樣品，研究了射頻功率、氣壓對(duì)光譜強(qiáng)度及電子溫