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文檔簡介
1、原子發(fā)射光譜儀主要用于成分檢測。激發(fā)源是其重要部件。電感耦合等離子體（ICP）激發(fā)源因諸多優(yōu)點得到廣泛應用。激發(fā)源微型化對研發(fā)微型光譜儀至關重要。新型微型ICP激發(fā)源功耗、氬氣消耗量、體積、重量僅為常壓普通ICP激發(fā)源的數(shù)百分之一。因此，研究激發(fā)源參數(shù)優(yōu)化具有較重要的應用前景。
本文對各種原子發(fā)射光譜儀常用的火花、電弧、輝光等離子體、ICP等激發(fā)源的裝置和原理做了綜述。介紹了國內(nèi)外微型ICP激發(fā)源的研究及應用現(xiàn)狀。重點圍繞
2、微型ICP激發(fā)源的參數(shù)優(yōu)化開展了一些研究，設計加工了48種不同參數(shù)的微電路組件以及配套的等離子體放電室。針對微電路組件平面螺旋線圈和交指電容的匝數(shù)、匝寬、匝間距等微結(jié)構(gòu)參數(shù)與最小啟燃功率的關系進行了實驗測試。在射頻13.56MHz，氬氣氣壓100Pa條件下，實驗得出微電路組件易于啟燃的最佳優(yōu)化參數(shù)為：平面螺旋線圈外徑為10mm、匝數(shù)為3匝、匝間距為300μm、匝寬為400μm；諧振、匹配交指電容交指線長為15mm、指間間距和交指線寬為2
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