面形精度評價方法研究.pdf

1、對光學(xué)元件進(jìn)行面形精度的分析，以評價它是否滿足使用要求，這是光學(xué)面形檢測的重要組成部分。光學(xué)元件根據(jù)它的不同用途，需要選擇合理的評價指標(biāo)對其面形誤差進(jìn)行分析?！　鹘y(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)的面形評價指標(biāo)主要有峰谷值、均方根值以及中心點亮度等。本文深入研究了這些面形評價指標(biāo)及它們之間的聯(lián)系。對峰谷值和均方根值之間存在的比例關(guān)系在理論上和統(tǒng)計上進(jìn)行了研究，得到：拋光后的光學(xué)表面，由干涉儀測得的面形數(shù)據(jù)經(jīng)澤尼克多項式擬合后，其峰谷值與均方根值大約是3～

2、5倍的關(guān)系，而由位相法得到的實測值經(jīng)統(tǒng)計分析發(fā)現(xiàn)兩者更多的表現(xiàn)出7～10倍的關(guān)系。利用計算機(jī)優(yōu)化方法得到了中心點亮度和均方根值的極限曲線，并模擬出了同一均方根值對應(yīng)的中心點亮度為最小和最大兩種極限情況下及極限情況之間的面形，通過對它們面形特征的比較分析，得到：均方根誤差一定的表面，其中心點亮度位于極限曲線之間，它的高低將由面形誤差的空間頻率分布決定。若面形誤差的中高頻分量較高，它的中心點亮度將較低?！　τ糜谠u價中頻段面形誤差的功率譜