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文檔簡介
1、本文針對ABO3型氧化物薄膜，從理論模擬和實驗研究兩個方面對其生長機制進(jìn)行了比較深入的研究。文章針對多元金屬反應(yīng)共沉積法，提出了一種基于蒙特卡羅方法的模擬多元氧化物薄膜生長的原子層次的三維模型及模擬算法，模擬了PbTiO3薄膜生長初始階段的表面形貌。針對分子級的薄膜沉積，采用蒙特卡羅方法發(fā)展了模擬ABO3型多元氧化物薄膜同質(zhì)外延生長的三維模型及模擬算法。模擬了不同沉積速率和不同沉積溫度下的生長形貌、生長模式、RHEED曲線和RMS曲線、
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