空氣氧化法制備VO2及摻鎢氧化釩薄膜的研究.pdf

1、VO2是一種相變型氧化物，具有金屬-半導體轉變的相變特性，其相變時具有電學和光學突變性質，這一特性使VO2薄膜在眾多領域，如自動調節(jié)溫度的智能窗、激光防護薄膜、紅外探測儀、光學數(shù)據(jù)存儲材料等具有好的應用前景。釩可以處于相鄰的價態(tài)且價態(tài)多達十幾種，這使得VO2薄膜的制備對工藝要求比較苛刻，以目前的制備手段來看，VO2的應用僅僅局限于少數(shù)領域，并且成本昂貴。因此，如何進一步降低其工藝難度和制備成本是人們所關心的。
　　 純VO2的相

2、變溫度點位于68℃附近，這個溫度點略高于室溫，也局限了它的應用范圍。大量研究表明，通過摻雜手段可以降低其相變溫度點，因此，在發(fā)展VO2制備工藝的時候，人們也會關心這種工藝是否能適用于摻雜。
　　 本文利用空氣對金屬釩薄膜進行氧化，通過控制溫度和氧化時間，制備出了高純度VO2薄膜。同時為了證明這種制備工藝對摻雜有效，我們用金屬鎢對薄膜進行摻雜實驗，獲得了較好的效果，同時通過分析得出了一些有意義的摻雜手段。
　　 第二章主要

3、討論了在重復傳統(tǒng)濺射法實驗時遇到的問題，并提出本文的技術路線。
　　 第三章主要介紹空氣氧化法制備VO2薄膜，分析了其氧化過程，尋求到了適合制備VO2薄膜的氧化溫度范圍，并介紹了如何控制氧化時間。另外，對金屬釩薄膜的致密度如何影響VO2薄膜的性能做了些研究。
　　 第四章主要介紹摻鎢實驗，在金屬釩薄膜中加入單層鎢膜制備出鎢釩合金膜，然后通過氧化使鎢原子在薄膜中進行熱擴散，從而達到摻雜目的。通過分析單層雜質膜對摻雜量的局限