基于蒙特卡羅法的光固化建模研究.pdf

1、光固化成型技術(shù)是利用光束與液態(tài)光敏樹脂之間的光化學(xué)反應(yīng)，使其固化成所需實(shí)體模型的先進(jìn)制造技術(shù)。其中光與樹脂的作用過程對(duì)光固化加工分辨率有著直接影響，隨著光成型技術(shù)不斷向微納加工方向進(jìn)展，提高固化成型分辨率成為光固化研究的關(guān)鍵。 光固化成型技術(shù)由于采用的曝光光源與樹脂材料不同，加工工藝各不相同。為了研究不同固化工藝對(duì)加工分辨率的影響，本文基于蒙特卡羅方法，建立了一種通用的光固化作用模型，模擬曝光光子與液態(tài)樹脂的復(fù)雜作用過程，主要工

2、作歸納如下： 1.基于光子輸運(yùn)理論，采用蒙特卡羅方法，建立光固化過程的一般模型。首先通過隨機(jī)變量的抽樣算法模擬曝光光子入射和光子在樹脂中的傳輸過程，然后統(tǒng)計(jì)樹脂中能量的吸收分布，最后模擬計(jì)算固化物的形貌和大??； 2.采用遺傳算法，并結(jié)合自由深度曝光實(shí)驗(yàn)結(jié)果，獲得模型中所需的樹脂光學(xué)參數(shù)如吸收系數(shù)，散射系數(shù)，散射方向因子，樹脂的臨界固化能量等； 3.根據(jù)模擬算法，計(jì)算了紫外微細(xì)光束固化過程和飛秒激光雙光子固化過程，