（Ti）-Fe-Ti納米薄膜的制備、微結構和磁特性研究.pdf

1、磁性薄膜的研究，是磁學領域的研究熱點。其研究成果不僅可以直接應用于磁記錄、傳感器等領域，同時又可以豐富和完善微磁學理論。 本論文應用對靶磁控濺射法制備了一系列Ti/Fe/Ti和Fe/Ti磁性納米薄膜，并利用VSM、SPM和XRD等對材料的磁特性和微結構進行了研究。分析、討論了Ti層厚度(x)、退火溫度(T<,a>)以及基底溫度(T<,s>)對薄膜微結構與磁特性的影響。 實驗發(fā)現(xiàn)Ti層厚度(x)、退火溫度(T<,a>)以及

2、基底溫度(T<,s>)對類三明治結構Ti/Fe/Ti納米薄膜的微結構和磁特性有很大影響。XRD結果表明，所有薄膜樣品均呈現(xiàn)體心立方(BCC)織構；VSM測量結果顯示，所有樣品均顯示較強的垂直各向異性，對500℃退火30分鐘后的Ti(56 nm)/Fe(45nm)/Ti(56nm)樣品，磁性能最好，垂直矯頑力最大為3.4 kOe；AFM圖表明此時樣品的形狀各向異性表現(xiàn)更為明顯，而高的矯頑力主要是由于樣品的形狀各向異性引起。 另外，