常壓射頻冷等離子體噴槍及其電源的研制.pdf

1、碩士學(xué)位論文A B S T R A C TA n e w a t m o s p h e d cp r e s s u r e R Fm i c r o ．p l a s m a p l u m e d e v i c e W a Sp r e s e n t e d ，a n di t W a s d e s c r i b e dt o a p p l yi t t or e m o v ep h o t o r e s i s t

2、 ，i n t h i sp a p c r ．1 K Sd e v i c e i sm a d e u p o fa t a i l o r - m a d e s e l f - e x c i t a t i o nR F p o w e r a n da s i m i l a r l yp e n o f p l a s m a r e a c t o r ．A r ／0 2 P l a s m ap l u m e w a

3、 s e a s i l yg e n e r a t e db vR F s e l f - e x c i t a t i o nd i s c h a r g e ．a(chǎn) n di t c a nb el O m m l o n g , i n5 0 W ：A r ／0 2P l a s m a p l u m e W a s u s e d t oc l c a n i n g 9 9 1 2 p h o t o r e s i

4、s t ．w h i c h W a S c o a t e do n aS i l i c o n ．T h ee x p e r i m e n ts h o w e d t h ef a s t e s te t c h i n gr a t ei s 9 0 0 n m ／m i n ．T h i st e c h n o l o g ya n dp r o c e s s i n gg i v ear e l i a b l

5、ew a yf o r l o c a l i z e dr e m o v a lo fp h o t o r e s i s ti n m i c r o e l e c t r o n i c sm a n u f a c t u r e ．A s e l f - e x c i t a t i o nR F p o w e rw a s a l s od e v e l e p p e di nt h i sp a p e r

6、．I nt h i sp o w e r , a c r y s t a l O S c i l l a t o r ( 1 3 ．5 6 M H z ) c o m e i n t o b e i n g R Fs i g n a l b ys e l f - e x c i t a t i o n o s c i l l a t i o n ，a n d t h i s s i g n a l W a S o u t p u t t

7、 e d b y s t e p - u pt r a n s f o f i n e r ，a f t e rp o w e ra m p l i f i c a t i o n ．B e ￡．．a(chǎn) u s et h i sp o w e rh a ss m a l lb u l k ,s i m p l ef r a m e w o r k a n d l e s sp o w e r c o n s u m p t i o n ，

8、i t m e e t s t h er e q u i r e m e n t so fa p p a r a t u s ’Sm i n i a t u r i z a t i o na n d l e s sp o w e rc o n s u m p t i o n ．K e y w o r d s ：p l a s m a s e l f - e x c i t a t i o n R F c l e a n i n g p