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1、本文對(duì)全息干涉計(jì)量的應(yīng)用進(jìn)行了研究。文章應(yīng)用全息單次曝光干涉法,對(duì)物體轉(zhuǎn)動(dòng)前的位置進(jìn)行曝光,獲得一塊全息光柵。利用讀數(shù)顯微鏡測(cè)得這塊光柵的空間周期。在相同光路中,還原這塊光柵。物體轉(zhuǎn)動(dòng)前后的位置就分別與這塊光柵形成莫爾條紋圖象,應(yīng)用CCD攝像機(jī)采集,應(yīng)用計(jì)算機(jī)自動(dòng)處理數(shù)據(jù),就可求得微小轉(zhuǎn)角。由于莫爾條紋具有放大作用,采用對(duì)莫爾條紋光電信號(hào)的細(xì)分技術(shù),測(cè)量精度可以做得較高。實(shí)驗(yàn)表明,角度測(cè)量分辨率可達(dá)0.01度以上。該方法具有測(cè)量原理簡(jiǎn)單
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