平行光束干涉投影的微小零件形貌測量技術.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、中圖分類號：TH741論文編號：HBLG2016388UDC：密級：公開碩士學位論文碩士學位論文平行光束干涉投影的微小零件形貌測量技術平行光束干涉投影的微小零件形貌測量技術作者姓名：王祎澤作者姓名：王祎澤學科名稱：控制工程學科名稱：控制工程研究方向：檢測技術及智能裝置研究方向：檢測技術及智能裝置學習單位：華北理工大學學習單位：華北理工大學學制學制:2.5年提交日期提交日期:2015年11月30日申請學位類別：工程碩士申請學位類別：工程碩

2、士導師姓名：張湧濤教授導師姓名：張湧濤教授單位：華北理工大學電氣工程學院單位：華北理工大學電氣工程學院薛貴軍高工薛貴軍高工單位：河北理工大學智能儀器廠單位：河北理工大學智能儀器廠論文評閱人：匿名論文評閱人：匿名單位：單位：匿名匿名單位：單位：論文答辯日期：論文答辯日期：2016年01月13日答辯委員會主席：阮堃正高工答辯委員會主席：阮堃正高工關鍵詞：形貌測量；干涉條紋；光學相控陣；相位調(diào)制；移相精度關鍵詞：形貌測量；干涉條紋；光學相控陣

3、；相位調(diào)制；移相精度唐山華北理工大學唐山華北理工大學2016年3月ProfileMeasurementTechniquesofSmallPartsBasedonParallelBeamInterferenceProjectionDissertationSubmittedtoNthChinaUniversityofScienceTechnologyinpartialfulfillmentoftherequirementfthedegree

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