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1、光柵刻劃?rùn)C(jī)歷來在精密機(jī)械領(lǐng)域內(nèi)稱之為“精密機(jī)械之王”,自第一臺(tái)光柵刻劃?rùn)C(jī)問世后在相當(dāng)長(zhǎng)的歷史時(shí)期內(nèi),光柵刻劃?rùn)C(jī)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與技術(shù)進(jìn)步始終標(biāo)志著精密機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展與進(jìn)步。為達(dá)到高精度定位和高精度的分辨力,并考慮國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的加工和檢測(cè)技術(shù),驅(qū)動(dòng)方式選為摩擦驅(qū)動(dòng)。
摩擦驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是由驅(qū)動(dòng)軸和從動(dòng)桿間的壓緊力所產(chǎn)生的摩擦力使從動(dòng)桿產(chǎn)生運(yùn)動(dòng),連續(xù)的展成從動(dòng)桿的直線運(yùn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)和動(dòng)力的傳遞。傳統(tǒng)的絲杠螺母機(jī)構(gòu)、齒輪齒條機(jī)構(gòu)與摩擦傳動(dòng)相
2、比,有很多不足之處,主要是在當(dāng)前技術(shù)條件下,運(yùn)動(dòng)精度無法達(dá)到要求,如絲杠螺距誤差、齒輪的齒距誤差等都是影響傳動(dòng)精度的重要因素。此外,傳動(dòng)中的間隙、摩擦發(fā)熱等也是造成傳動(dòng)誤差不可忽視的因素。摩擦傳動(dòng)則可以克服上述傳動(dòng)中的不足,因其元件形狀簡(jiǎn)單,易于保證加工精度,傳動(dòng)無間隙,因而能降低電機(jī)及測(cè)速機(jī)的頻率波動(dòng)。所以在超精密機(jī)床中采用摩擦傳動(dòng),能較好地實(shí)現(xiàn)高精度傳動(dòng)[38]。
但摩擦驅(qū)動(dòng)自身的驅(qū)動(dòng)方式也有不足之處,在運(yùn)動(dòng)過程中會(huì)出現(xiàn)爬
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