UV-LIGA技術制備微小金結構工藝研究.pdf

1、金是一種昂貴的金屬，由于其具有耐蝕性、耐熱性、可焊性及導電性等優(yōu)良性能，因此，微小金結構或者鍍金產品被應用于航空精密儀器儀表、電子電路(包括印刷電路板、集成電路、引線框)等要求電學性能參數(shù)長期穩(wěn)定的場合。由于金硬度太低，在一些領域厚度要求為幾十到幾百微米的微小金結構難以用常規(guī)機加工方法加工。因此，使用UV-LIGA加工這些微小結構成為研究的熱點。
　　 UV-LIGA加工技術無應力變形，材料的增加是以離子的形式進行，因此其在微細

2、制造領域有著很大的發(fā)展?jié)摿?。研究UV-LIGA加工技術，具有重要的現(xiàn)實意義。
　　 本文開展了UV-LIGA技術加工微小金結構的研究，主要的工作如下：
　　 (1)通過有限元電場仿真分析了光刻膠溝槽的電場分布。通過改善電場分布的均勻性提高了電鑄微小金結構的表面平整度。
　　 (2)研究了SU-8光刻膠的熱溶脹性，優(yōu)化光刻工藝參數(shù)，降低光刻膠的溶脹量，提高了加工尺寸精度。
　　 (3)采用沖液電鑄，加快了溶