基于SU-8膠的UV-LIGA技術(shù)及其應(yīng)用研究.pdf

1、研究工作的主要內(nèi)容分以下幾部分:(1)基于SU-8膠的UV-LIGA技術(shù)研究:◆SU-8膠的光刻技術(shù)研究 該文從SU-8膠與基底的浸潤(rùn)性、基底表面粗糙度以及基底對(duì)近紫外光的折射特性對(duì)SU-8膠與基底的結(jié)合力進(jìn)行分析.指出在近紫外光的折射率高的基底與SU-8膠有很好的結(jié)合性.經(jīng)實(shí)驗(yàn)得出經(jīng)過(guò)氧化處理的Ti片與SU-8膠結(jié)合性強(qiáng).這有利于為微系統(tǒng)提供低成本的高深寬比金屬微結(jié)構(gòu).對(duì)SU-8膠光刻失敗的圖形進(jìn)行分析,以供參考.◆電鑄和模壓技術(shù)

2、 利于電鑄技術(shù)可以在光刻出的圖形基礎(chǔ)上,形成金屬微結(jié)構(gòu)或金屬模具.通過(guò)微模壓技術(shù),利用電鑄的金屬模具可實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的復(fù)制.以得到低價(jià)、大批量的微結(jié)構(gòu),這是UV-LIGA技術(shù)的可貴之處.微電鑄和微模壓技術(shù)相對(duì)比較成熟.(2)微機(jī)械光纖定位器 該文提出一種新型的光纖定位器.用SU-8膠一豎直壁與基底形成的直角V型槽定位,并利用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)片狀彈簧夾緊光纖.利用光纖圓截面的特性,將夾緊點(diǎn)設(shè)在光纖的上面半圓周.該機(jī)構(gòu)便于與其它光器件系統(tǒng)集成,而