基于運(yùn)動(dòng)特征分析的精密主軸回轉(zhuǎn)誤差檢測方法研究.pdf

1、隨著超精密加工技術(shù)的發(fā)展,人們對(duì)測量儀器的制造精度要求越來越高,尤其是高精度回轉(zhuǎn)體部件,這就使得提高軸系的回轉(zhuǎn)精度以滿足極限狀態(tài)下的零件加工要求和確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性,成為一項(xiàng)極具挑戰(zhàn)的課題。此外,由于精密軸系組成部件本身的制造也處于極限精度狀態(tài)下,單純僅靠提高軸系部件的加工精度來保證是難奏效的。精密軸系,特別是靜壓氣浮軸系的回轉(zhuǎn)誤差在一定的工作條件下是較為恒定的系統(tǒng)誤差,這就使得精密軸系的回轉(zhuǎn)誤差納米級(jí)精度檢測問題,成為確保實(shí)現(xiàn)回轉(zhuǎn)誤

2、差分離與補(bǔ)償、提高軸系回轉(zhuǎn)精度的關(guān)鍵。
　　針對(duì)靜壓氣浮主軸,本文提出一種新的回轉(zhuǎn)誤差測量方法,并建立了兩種計(jì)算模型。通過傳感器采集到的測試樣件端面形貌數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)特征分析,對(duì)主軸軸心軌跡進(jìn)行評(píng)價(jià),從而計(jì)算出回轉(zhuǎn)誤差數(shù)據(jù)。
　　研宄了主軸回轉(zhuǎn)誤差信號(hào)組成的理論。針對(duì)回轉(zhuǎn)誤差中的周期信號(hào),運(yùn)用傅里葉多項(xiàng)式對(duì)其進(jìn)行數(shù)學(xué)描述。
　　采用微粒群算法求解本文中回轉(zhuǎn)軸線多參數(shù)的最優(yōu)化問題,并編制了計(jì)算回轉(zhuǎn)中心的軟件。結(jié)合圖像處理的