Wire bonder生產數據自動化收集系統(tǒng)的設計與實現.pdf

1、近年來，半導體制造工廠出于對成本、管理、效率等方面的考慮，對于生產過程的自動化的需求越來越強烈，要求也越來越高。工廠管控系統(tǒng)期望從半導體制造設備獲取實際生產過程中的大量生產數據來用于生產管控，這對半導體制造設備的制造商來說，除了提高自身的生產能力以外，需要滿足工廠這方面的需求。本文基于韓國Hynix客戶提出對于焊線機生產過程中物料相關數據的收集需求，結合了焊線機自身的系統(tǒng)特點，設計了滿足客戶需求的生產數據自動化收集系統(tǒng)。
　　客戶

2、對于數據的需求特點是量多，零散。焊線機基于客戶的數據的類型，將數據本身劃分為料盒數據，物料數據;并且按照數據的定義，劃分為幾個階段的數據需求:進料盒退出階段，物料準備階段、物料生產階段、物料生產完成階段、出料盒退出階段。在不同的階段將相關的數據發(fā)送給工廠的主機系統(tǒng)。這樣在滿足客戶基本需求的基礎上，保證了數據的系統(tǒng)性，也保證了焊線機自身生產系統(tǒng)的可控性，系統(tǒng)也易于維護。
　　本設計系統(tǒng)基于半導體行業(yè)SECS/GEM協(xié)議中E39對于對

3、象服務標準的定義，E90中對于物料跟蹤的定義，以及S14F1/S14F2消息機制，將系統(tǒng)按照內部數據接收模塊、數據收集整理模塊、數據打包模塊、內部數據上傳/外部數據接收模塊。最終實現自動化的數據收集上傳，保證了數據的完整性、同一性。
　　本文最后按照上述的方法設計實現生產數據自動收集上傳系統(tǒng)。該系統(tǒng)最終交由客戶使用。通過客戶的反饋，該系統(tǒng)實現了客戶原始需求中各種數據的收集，從而驗證了本系統(tǒng)的實用性。最后對系統(tǒng)的功能擴展進行了展望。