納米三坐標測量機驅動與控制系統(tǒng)設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、納米三坐標測量機(Nano-CMM)是對微型機械器具如MEMS器件,微齒輪等器件的幾何量測量,不可或缺的工具。驅動與控制系統(tǒng)作為納米三坐標測量機一個重要的子系統(tǒng),有特別要求,例如納米尺寸的分辨率,低熱效應,低振動以及快速移動等等。
　　 納米三坐標測量機是一個復雜的設備,包括機械系統(tǒng),精密的信號處理系統(tǒng),驅動系統(tǒng),測頭系統(tǒng)等。其中驅動與控制系統(tǒng)是一個綜合性的系統(tǒng),包含機械平臺,測頭反饋裝置,驅動設備等。
　　 本論文介紹

2、了納米三坐標測量機驅動與控制系統(tǒng)的構建以及相關研究。本系統(tǒng)中,基于DVD讀取頭的新型測頭系統(tǒng),被應用于三維測量以及定位。德國PI公司生產(chǎn)的N-310型壓電線性電機作為納米三坐標測量機的驅動電機。運動平臺按照特殊的原理設計,可以最大化的消除阿貝誤差。激光回饋干涉儀是一種新型的位移傳感器,并且是首次用作位置測量裝置。
　　 本論文提出了新的驅動與控制策略,可以實現(xiàn)長距離納米級精度的快速精密驅動以及定位。X、Y、Z三個方向上的行程為5

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